用于铸造倒角G7多晶硅的石墨加热器装置的制作方法

文档序号:14322661阅读:来源:国知局
用于铸造倒角G7多晶硅的石墨加热器装置的制作方法

技术特征:

1.一种用于铸造倒角G7多晶硅的石墨加热器装置,包括铜电极,其特征在于:还包括侧加热器、顶加热器和电联组件,所述电联组件将侧加热器、顶加热器分别与铜电极电连接并形成两条电流回路,所述侧加热器包括呈矩形分布的侧前加热板(1)、侧左加热板(2)、侧后加热板(3)和侧右加热板(4),还包括设于矩形四角位置并将侧前加热板(1)、侧左加热板(2)、侧后加热板(3)和侧右加热板(4)两两连接的侧连接板(5),所述顶加热器包括U型加热板(6)、两块顶部小加热板(7)和两块顶部大加热板(8),还包括将U型加热板(6)、顶部小加热板(7)和顶部大加热板(8)两两连接的连接块组件,两块所述顶部小加热板(7)对称设置且其一端分别连接U型加热板(6)的两开口端,两块所述顶部大加热板(8)对称设置且其一端相互连接,其另一端分别连接顶部小加热板(7)的另一端。

2.根据权利要求1所述的用于铸造倒角G7多晶硅的石墨加热器装置,其特征在于:所述侧前加热板(1)、侧左加热板(2)、侧后加热板(3)、侧右加热板(4)和侧连接板(5)均采用蛇形板,所述侧连接板(5)与侧前加热板(1)、侧左加热板(2)、侧后加热板(3)、侧右加热板(4)之间通过螺母和螺杆固定。

3.根据权利要求1所述的用于铸造倒角G7多晶硅的石墨加热器装置,其特征在于:所述顶部小加热板(7)、顶部大加热板(8)均具有U型部,所述连接块组件包括第一连接块(9)和第二连接块(10),所述第一连接块(9)连接U型加热板(6U)和顶部小加热板(7),所述第二连接块(10)连接顶部小加热板(7)和顶部大加热板(8)以及顶部大加热板(8)彼此相连部位。

4.根据权利要求1所述的用于铸造倒角G7多晶硅的石墨加热器装置,其特征在于:所述电联组件包括若干石墨电极(11)和若干直角型的石墨吊臂(12),所述石墨吊臂(12)的竖直段位于水平段下方且竖直段的底端与侧加热器固定,石墨吊臂(12)的水平段的前端均设置石墨电极(11),剩余的所述石墨电极(11)设于顶部小加热板(7)与顶部大加热板(8)以及顶部大加热板(8)彼此相连部位。

5.根据权利要求4所述的用于铸造倒角G7多晶硅的石墨加热器装置,其特征在于:所述石墨电极(11)包括连接小圆柱段(1102)和大圆柱段(1101),所述小圆柱段(1102)设于大圆柱段(1101)上方且其长度比大圆柱段(1101)长度大,所述小圆柱段(1102)侧面包裹有大陶瓷垫片(14),所述大圆柱段(1101)顶部设有衔接大陶瓷垫片(14)的小陶瓷垫片(13),所述大陶瓷垫片(14)和小陶瓷垫片(13)均为环形两半式结构。

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