石墨加热器加工旋转平台的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种石墨加热器加工旋转平台，涉及硅晶体生长设备技术领域。本实用新型包括旋转平台、固定底座、支撑管、两套轴承、支撑架，支撑管与固定底座固定相连，两套轴承分别固定于支撑管外上端和中部，两套轴承的内圈与支撑管的外壁固定相连，旋转平台与上端轴承的外圈固定相连，旋转平台上设有两个用于固定石墨加热器的长条孔，支撑架为两个，呈对称分设于支撑管的两侧，每个支撑架的上端与旋转平台的下表面固定相连，其下端与中部的轴承的外圈固定相连。其结构简单、操作方便，利于提高石墨加热器的加工精度。
【专利说明】
石墨加热器加工旋转平台
技术领域
[0001]本实用新型涉及硅晶体生长设备技术领域，尤其是一种石墨加热器加工旋转平台O
【背景技术】
[0002]石墨加热器是单晶炉的加热装置，石墨加热器采用等静压石墨电热体，具有耐高温、容易加工，价格比钨、钼便宜的优点。石墨加热器的电阻率虽然比纯金属高，但出于强度方面的考虑，截面积不能太小，因此整个石墨加热器的电阻很小，所以采用低电压、大电流的加热方式。石墨的性能差别很大，而总的电阻值又很小，因此常将石墨加热器进行再加工，已达到电阻要求。由于石墨加热器采用大电流、低电压，电流密度大，因此需要在圆筒形的石墨加热器的筒壁上开若干竖槽，并进行清扫和打磨。目前，对石墨加热器的清扫、打磨及开槽大多是在临时的操作平台上，加工不便，加工效率低，费时费力，且影响石墨加热器开槽的精确度和打磨效果。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型所要解决的技术问题是提供一种石墨加热器加工旋转平台，其结构简单、操作方便，利于提高石墨加热器的加工精度。
[0004]为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案是:一种石墨加热器加工旋转平台，包括旋转平台、固定底座、支撑管、两套轴承、支撑架，支撑管与固定底座固定相连，两套轴承分别固定于支撑管外上端和中部，两套轴承的内圈与支撑管的外壁固定相连，旋转平台与上端轴承的外圈固定相连，旋转平台上设有两个用于固定石墨加热器的长条孔，支撑架为两个，呈对称分设于支撑管的两侧，每个支撑架的上端与旋转平台的下表面固定相连，其下端与中部的轴承的外圈固定相连。
[0005]进一步的技术方案，所述的旋转平台采用两块钢板制成，两块钢板对称分设于支撑管的两侧，两钢板相对的一端设有与轴承外圈配合的弧度;两个长条孔对称分设于两钢板上。
[0006]进一步的技术方案，所述的固定底座为法兰盘，法兰盘的内孔与支撑管的外壁固定相连。
[0007]进一步的技术方案，所述的支撑管为不锈钢管。
[0008]进一步的技术方案，所述的支撑架为不锈钢圆管或圆钢。
[0009]采用上述技术方案所产生的有益效果在于:利用本旋转平台对石墨加热器进行清扫、打磨、开槽，能够避免石墨加热器因固定不稳固而造成损坏的问题，增加石墨加热器的安全性，利用旋转平台，能够提高工作效率，使用便捷，清扫更全面，降低劳动强度;本技术方案中的旋转平台与轴承外圈固定在一起，采用钢管、钢板、及轴承制成，其中各部件可用废I日材料，结构简单、选材容易、制作成本低廉。
【附图说明】
[0010]图1是本实用新型一个实施例的结构示意图；
[0011 ]图2是石墨加热器与旋转平台装配图；
[0012]图中:1、旋转平台；2、长条孔;3、螺栓;4、支撑架;5、固定底座;6、支撑管;7、轴承。
【具体实施方式】
[0013]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细的说明。
[0014]单晶硅生长过程中使用的石墨加热器，为了满足电阻、强度和过载能力的要求，需要对石墨加热器进行清扫、打磨、开槽，然后使用，本实用新型是对石墨加热器进行清扫、打磨、开槽操作时使用的旋转平台。
[0015]参见图1所示，本实用新型包括旋转平台1、固定底座5、支撑管6、两套轴承7、支撑架4，支撑管6与固定底座5固定相连，两套轴承7分别固定于支撑管6外上端和中部，两套轴承7的内圈与支撑管6的外壁固定相连，旋转平台I与上端轴承7的外圈固定相连，旋转平台I上设有两个用于固定石墨加热器的长条孔2，支撑架4为两个，呈对称分设于支撑管6的两侧，每个支撑架4的上端与旋转平台I的下表面固定相连，其下端与中部的轴承7的外圈固定相连。
[0016]其中，在材料的选择上，尽量选用现有的钢管、板材，或利用废旧钢材、下脚料即可制作，轴承7可选用替换下来的废旧轴承7。例如，旋转平台I采用两块钢板制成，两块钢板对称分设于支撑管6的两侧，两钢板相对的一端设有与轴承7外圈配合的弧度;两个长条孔2对称分设于两钢板上，采用长条孔2，可以固定不同孔距的石墨加热器，使本实用新型具有通用性，应用范围的广阔性，同时也利于对正安装；固定底座5为法兰盘，法兰盘的内孔与支撑管6的外壁固定相连，法兰盘上自带有螺栓连接孔，可固定在其他的辅助支撑平台或地面上;支撑管6为不锈钢管，这里的不锈钢管可以采用一个，或选用两段，即两轴承7之间为一段，下轴承7和法兰盘之间为一段，即可以根据实际现有的材料制备，也需要根据整体使用的高度选择;支撑架4为不锈钢圆管或圆钢，或者角钢，支撑架4不仅起到加强支撑的作用，还把上下两套轴承7连接起来，使上下两轴承7能够同时旋转，减少阻力。
[0017]本平台制备的具体选材如下:轴承2个(7224C)、法兰I个(8寸)、150mm长不锈钢管2个(6寸)、300111111\200\1.5角铁2个、160111111长不锈钢圆管2个(0 7)。使用时，把法兰盘通过螺栓3固定在地面上，石墨加热器的两个电极脚通过螺栓固定在旋转平台I上，如图2所示。
[0018]利用本旋转平台对石墨加热器进行清扫、打磨、开槽，能够避免石墨加热器因固定不稳固而造成损坏的问题，同时利于提高石墨加热器的加工精度;利用旋转平台，能够提高工作效率，使用便捷，清扫更全面，降低劳动强度;本技术方案中的旋转平台与轴承外圈固定在一起，采用钢管、钢板、及轴承制成，其中各部件可用废旧材料，结构简单、选材容易、制作成本低廉。
【主权项】
1.一种石墨加热器加工旋转平台，其特征在于，包括旋转平台(1)、固定底座(5)、支撑管(6)、两套轴承(7)、支撑架(4)，支撑管(6)与固定底座(5)固定相连，两套轴承(7)分别固定于支撑管(6)外上端和中部，两套轴承(7)的内圈与支撑管(6)的外壁固定相连，旋转平台(I)与上端的轴承(7)的外圈固定相连，旋转平台(I)上设有两个用于固定石墨加热器的长条孔(2)，支撑架(4)为两个，呈对称分设于支撑管(6)的两侧，每个支撑架(4)的上端与旋转平台(I)的下表面固定相连，其下端与中部的轴承(7)的外圈固定相连。2.根据权利要求1所述的石墨加热器加工旋转平台，其特征在于，所述的旋转平台(I)采用两块钢板制成，两块钢板对称分设于支撑管(6)的两侧，两钢板相对的一端设有与轴承(7)外圈配合的弧度;两个长条孔(2)对称分设于两钢板上。3.根据权利要求1所述的石墨加热器加工旋转平台，其特征在于，所述的固定底座(5)为法兰盘，法兰盘的内孔与支撑管(6)的外壁固定相连。4.根据权利要求1所述的石墨加热器加工旋转平台，其特征在于，所述的支撑管(6)为不锈钢管。5.根据权利要求1所述的石墨加热器加工旋转平台，其特征在于，所述的支撑架(4)为不锈钢圆管或圆钢。
【文档编号】B25H1/08GK205466065SQ201620186746
【公开日】2016年8月17日
【申请日】2016年3月11日
【发明人】王会敏, 何京辉, 曹祥瑞, 颜超, 程志, 陈二星
【申请人】邢台晶龙电子材料有限公司