技术特征：
技术总结
本发明的一种圆台形冷却夹套的甲硅烷热分解炉由钟罩、底板、气体进出管、石墨电极、圆台形冷却夹套和硅棒构成。本发明的一种圆台形冷却夹套的甲硅烷热分解炉通过在硅棒外侧套圆台形冷却夹套，使得夹套下端气体流速慢且硅棒与冷却夹套之间的空间大，有利于保温和提高反应气体的停留时间，加快下端生长速率，使得夹套上端气体流速快且硅棒与冷却夹套之间的空间小，有利于散热和减小反应气体的停留时间，减小下端生长速率，进而保证了硅棒上下端生长的均匀性；采用特殊设计的气体进出管有利于原料气体SiH4的均匀分布，降低SiH4局部浓度过高的风险，减少夹套外的均相分解，减少无定型硅的生成。
技术研发人员：沈剑
受保护的技术使用者：宁波工程学院
技术研发日：2018.05.20
技术公布日：2018.08.14