本发明涉及石墨烯制造设备技术领域，尤其是一种石墨烯薄膜刻蚀装置。
背景技术：
石墨烯是一种由碳原子以sp²杂化轨道组成六角型呈蜂巢晶格的二维碳纳米材料，石墨烯具有优异的光学、电学、力学特性，在材料学、微纳加工、能源、生物医学和药物传递等方面具有重要的应用前景，被认为是一种未来革命性的材料，英国曼彻斯特大学物理学家安德烈·盖姆和康斯坦丁·诺沃肖洛夫，用微机械剥离法成功从石墨中分离出石墨烯，因此共同获得2010年诺贝尔物理学奖，石墨烯常见的粉体生产的方法为机械剥离法、氧化还原法、sic外延生长法，薄膜生产方法为化学气相沉积法（cvd）。
目前实验室主要采用化学气相沉积方法在催化基底上制备石墨烯薄膜，将薄膜放入刻蚀液中进行反应的过程中需要辅助夹具对薄膜进行固定，否则薄膜容易触碰到刻蚀槽内壁或是发生变形，影响刻蚀效果，例如申请号为cn201420776038.3，申请日为2014年12月11日，专利名称为“一种用于转移石墨烯薄膜的工装装置”的专利，该工装装置通过在底板的固定柱上套设垫片的方式对薄膜进行支撑，比较麻烦，且底板放置在刻蚀槽底部，反应完成后要取出也比较麻烦，满足不了日益增长的使用需求。
技术实现要素：
为了克服现有的工装难从刻蚀槽内取出的不足，本发明提供了一种石墨烯薄膜刻蚀装置，通过将装夹薄膜的夹具架设在刻蚀槽上方来解决问题。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种石墨烯薄膜刻蚀装置，包括刻蚀槽和用于装夹薄膜的夹具，夹具架设在刻蚀槽上方，夹具由外框、条形滑槽和用于装夹薄膜的夹子构成，条形滑槽平行焊接固定在外框内，夹子嵌设在条形滑槽内，通过架设在刻蚀槽上方的夹具进行薄膜刻蚀和转移。
进一步的，包括每个条形滑槽被其底部的隔板分隔成若干独立的夹持区域，避免石墨烯薄膜粘结或是偏向一边放置。
进一步的，包括隔板与条形滑槽垂直设置，且隔板与条形滑槽焊接固定，对薄膜进行分区隔离。
进一步的，包括夹子由上端的t型块和下端的夹持块构成，t型块和夹持块通过侧面的连杆固定连接。
进一步的，包括外框为方形，且外框四周设置有与其垂直的折边，防止夹具从刻蚀槽上滑下。
本发明的有益效果是，通过将夹持有薄膜的夹具架设在刻蚀槽体上方的方式取代传统的直接将夹具放置在槽体内，更加方便夹具的取放和转移，夹子和滑槽的配合对薄膜进行调节，隔板对薄膜进行分区隔离，使得薄膜刻蚀更完全，提高后期使用效率。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是本发明的主视图；
图2是本发明的侧视图；
图3是本发明的俯视图。
图中1.刻蚀槽，2.夹具，21.外框，22.条形滑槽，23.夹子，231.t型块，232.夹持块，233.连杆，3.隔板，4.折边。
具体实施方式
如图1~3所示，一种石墨烯薄膜刻蚀装置，包括刻蚀槽1和用于装夹薄膜的夹具2，夹具2架设在刻蚀槽1上方，夹具2由外框21、条形滑槽22和用于装夹薄膜的夹子23构成，条形滑槽22平行焊接固定在外框21内，夹子23嵌设在条形滑槽22内，每个所述条形滑槽22被其底部的隔板3分隔成若干独立的夹持区域，隔板3与条形滑槽22垂直设置，且隔板3与条形滑槽22焊接固定，夹子23由上端的t型块231和下端的夹持块232构成，t型块231和夹持块232通过侧面的连杆233固定连接，外框21为方形，且外框21四周设置有与其垂直的折边4。
安装使用时，将条形滑槽22焊接固定在外框21内，条形滑槽22平行设置，隔板3焊接固定在条形滑槽22底部，并与条形滑槽22垂直设置，从而将刻蚀槽1分隔成若干个区域，将夹子23嵌设固定在条形滑槽22内，夹子23可以在滑槽22内滑移调整位置，被隔板3分隔成的每个区域内设置有一到两个夹子，以避免石墨烯薄膜挤粘结在一起，薄膜通过夹子23设置在夹具2下方，并与隔板3平行设置，夹具2四周设置有防止外框21从刻蚀槽1上滑落的折边4，折边4垂直焊接固定在外框21底部四周。其中，夹子由嵌设在条形滑槽22内的t型块231和用于夹持固定薄膜的夹持块232构成，夹持块232采用普遍能从市场上购得的由两块夹板和中部扭簧构成的固定夹，t型块231和夹持块232通过外部的连杆233固定连接，连杆233可以通过销轴活动设置在t型块231和夹持块232上，也可以通过定位螺栓固定设置在t型块231和夹持块232上，从而实现薄膜夹具更快更高效的取用和转移。
以上说明对本发明而言只是说明性的，而非限制性的，本领域普通技术人员理解，在不脱离所附权利要求所限定的精神和范围的情况下，可做出许多修改、变化或等效，但都将落入本发明的保护范围内。