一种籽晶托及其制备方法与流程

文档序号:16595019发布日期:2019-01-14 19:31阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种籽晶托及其制备方法,涉及晶体制备技术领域。一种籽晶托,包括相互连接的底座和夹持组件,底座与夹持组件共同限定形成用于夹持籽晶的籽晶夹持槽。籽晶固定后位于底座与夹持组件之间,且籽晶远离底座的一侧能与夹持组件共同限定形成空腔。籽晶靠近底座的一侧能从底座露出以供晶体生长。由于籽晶与籽晶托的直接接触面积较小,籽晶也不与坩埚直接接触,使得获得的晶体各部分质量更为均一,获得的晶体的开裂几率更小。一种籽晶托的制备方法,包括:对表面带有二氧化硅的底座、夹持组件依次进行表面活化处理、亲水处理。表面活化处理的功率为60‑100w,氧气流量为60‑100ml/min,活化时间为20‑40分钟。

技术研发人员:樊龙;彭丽萍;王雪敏;吴卫东;蒋涛;沈昌乐;湛治强;张颖娟;李佳
受保护的技术使用者:中国工程物理研究院激光聚变研究中心
技术研发日:2018.11.14
技术公布日:2019.01.11
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