一种模块化的复合晶体制备系统的制作方法

文档序号:15892618发布日期:2018-11-09 20:33阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种模块化的复合晶体制备系统,其特征是:包括炉架、炉腔、晶体生长温场模块、旋转提拉称重单元和升降机构,炉腔设置在炉架上,炉腔前侧设置有前门,炉腔侧面设有通光窗口,晶体生长温场模块设置于炉腔内,旋转提拉称重单元设置在炉腔的上部,旋转提拉称重单元的下部连接提拉杆,晶体生长温场模块为微下拉法模块、提拉法模块和激光基座加热法模块之一。

2.根据权利要求1所述的模块化的复合晶体制备系统,其特征是:所述炉架带有减震功能的地脚。

3.根据权利要求1所述的模块化的复合晶体制备系统,其特征是:所述炉腔为真空炉腔,炉腔上部和下部分别设有出气孔和进气孔。

4.根据权利要求1所述的模块化的复合晶体制备系统,其特征是:所述炉腔上部设有视频图像监控系统。

5.根据权利要求1所述的模块化的复合晶体制备系统,其特征是:所述微下拉法模块包括坩埚、坩埚支座、保温层和籽晶托杆,坩埚设置在坩埚支座上,坩埚外围设置有保温层,坩埚下方设置有籽晶托杆,坩埚的外部设置有电磁感应线圈。

6.根据权利要求1所述的模块化的复合晶体制备系统,其特征是:所述提拉法模块包括坩埚、保温层和坩埚支座,坩埚设置在坩埚支座上,坩埚外围设置有保温层,坩埚外部设置有电磁感应线圈。

7.根据权利要求1所述的模块化的复合晶体制备系统,其特征是:所述激光加热基座法模块包括籽晶夹持器、料棒夹持器和激光光源,籽晶夹持器和料棒夹持器分别与与提拉杆和升降机构连接,激光光源与炉腔侧面的通光窗口对应。

8.根据权利要求1所述的模块化的复合晶体制备系统,其特征是:所述升降机构设置于与炉架分离的独立底座上。

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