技术总结
本实用新型公开了一种臭氧浓度可变的简易臭氧发生装置，包括有质量流量控制器、传感器组、臭氧发生腔体和控制器，质量流量控制器的输出端接出两路，分别为臭氧支路和混合支路，臭氧支路接入传感器组，然后再接入臭氧发生腔体；混合支路接入阻流器，通过该阻流器后与臭氧发生腔体的出口汇合。本实用新型采用两路分开再合并的结构，通过改变紫外灯光强实现产生不同的臭氧浓度，可实现精确度高、重现性好的臭氧浓度；而通过控制器与传感器组配合实时获取影响臭氧发生浓度的参数值，经PID动态调整，用来修正补偿紫外灯光强，可实现产生精确稳定的臭氧浓度气体。同时整个装置非常简单，其成本低，易于操作和维护。
技术研发人员：宾泽明;王连振;邱致刚;吴瑜笋;刘燕晓
受保护的技术使用者：中兴仪器（深圳）有限公司
技术研发日：2018.07.30
技术公布日：2019.04.12