一种高效节能还原炉底盘和多晶硅还原炉的制作方法

文档序号:17331204发布日期:2019-04-05 22:05阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种高效节能还原炉底盘,包括底盘本体,其特征在于,所述底盘本体上设有中心进料口、n个电极圈层和n-1个进料圈层,其中n≥4且n为正整数;所述电极圈层和进料圈层以中心进料口为圆心间隔设置;

每个所述进料圈层设有不少于4个进料口;

所述电极圈层从内向外计数,第一电极圈层设有4对电极,第二电极圈层设有8对电极,第三电极圈层设有12对电极……第n电极圈层设有4n对电极;同一电极圈层内相邻两个电极之间等间距设置;

第n个所述电极圈层外设有出料圈层,所述出料圈层设有至少两个出料口,所述出料口等间距设置在出料圈层上。

2.如权利要求1所述的高效节能还原炉底盘,其特征在于,第n电极圈层包括第一电极组和第二电极组,所述第一电极组和第二电极组分别包括2n对电极;所述第一电极组和第二电极组轴对称设置;所述第一电极组和第二电极组接入不同的供电电源。

3.如权利要求2所述的高效节能还原炉底盘,其特征在于,第n-1电极圈层包括第三电极组和第四电极组,所述第三电极组和第四电极组分别包括2(n-1)对电极;所述第三电极组和第四电极组呈轴对称设置;所述第三电极组和第四电极组接入不同的供电电源。

4.如权利要求1所述的高效节能还原炉底盘,其特征在于,所述进料圈层上的进料口的内径相同且小于中心进料口的内径。

5.如权利要求1所述的高效节能还原炉底盘,其特征在于,所述出料圈层上出料口的数量为2x个,其中x≥2且x为正整数。

6.如权利要求1所述的高效节能还原炉底盘,其特征在于,在所述底盘本体上以所述中心进料口为极点,过所述第三电极圈层上任意一个电极引射线为极轴,建立极坐标系;第3y电极圈层上至少有一个电极位于极轴上,第3y-1电极圈层的电极和第3y-2电极圈层的电极对称分布在极轴两侧,其中y为正整数且3y≤n。

7.如权利要求6所述的高效节能还原炉底盘,其特征在于,n=4,第一电极圈层上初始电极的极坐标角度为22.5°,第二电极圈层上初始电极的极坐标角度为11.25°,第四电极圈层上初始电极的极坐标角度为5.625°。

8.如权利要求6所述的高效节能还原炉底盘,其特征在于,所述进料圈层从内向外依次包括第一进料圈层、第二进料圈层和第三进料圈层;

所述第一进料圈层等间距设有4个内圈进料口,所述内圈进料口的初始进料口的极坐标角度为45°;

所述第二进料圈层等间距设有12个中圈进料口,所述中圈进料口的初始进料口的极坐标角度为0°;

所述第三进料圈层设有8个外圈进料口,所述外圈进料口的极坐标角度分别为15°、75°、105°、165°、195°、255°、285°、345°。

9.一种多晶硅还原炉,包括如权利要求1-8任意一项所述的高效节能还原炉底盘,其特征在于,所述底盘本体外设有钟罩形炉壁,所述钟罩形炉壁包括分离设置的外炉壁和内炉壁;所述内炉壁为低辐射系数的材质制备的炉壁,所述外炉壁和内炉壁之间通有冷却水。

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