掺杂剂掺杂装置的制作方法

文档序号:17631894发布日期:2019-05-11 00:10阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种掺杂剂掺杂装置,其特征在于:所述掺杂剂掺杂装置与籽晶夹头可拆卸连接,籽晶夹头的一端与重锤螺纹连接,籽晶夹头的另一端夹持有籽晶,重锤通过拉绳悬吊在位于单晶炉副炉室上方的提拉机构上,在籽晶夹头的上设有水平的第一通孔,所述掺杂剂掺杂装置包括掺杂工装、掺杂单元,掺杂工装由钼材料制成,所述掺杂工装包括第一支撑杆、第一钩环、第二钩环、第一连接机构、第二连接机构、第三钩环、第四钩环、第二支撑杆、第五吊钩,第一支撑杆穿过第一通孔,并与第一通孔螺纹配合,以使第一支撑杆相对籽晶夹头位置固定,第一支撑杆的两端分别固定安装有第一钩环、第二钩环,第一连接机构包括第一吊钩、第一钼绳、第二吊钩,第一钼绳两端分别与第一吊钩、第二吊钩的连接端连接,第二连接机构包括第三吊钩、第二钼绳、第四吊钩,第二钼绳两端分别与第三吊钩、第四吊钩的连接端连接,第二支撑杆的两端分别固定安装有第三钩环、第四钩环,第二支撑杆中部具有一个向下弯曲段,在弯曲段钩挂第五吊钩,第一吊钩、第二吊钩、第三吊钩、第四吊钩分别钩挂第一钩环、第三钩环、第二钩环、第四钩环上,以将第二支撑杆吊装在籽晶夹头的下方,所述掺杂单元的顶部与第五吊钩的连接端连接,以将掺杂单元吊装在第二支撑杆的下方。

2.如权利要求1所述的掺杂剂掺杂装置,其特征在于:所述掺杂单元包括石英钟罩、第六吊钩、内筒,石英钟罩为圆顶状,石英钟罩中空,且底部开口,石英钟罩的外侧顶部中心安装有突出端,该突出端与第五吊钩的连接端铰接,第六吊钩的连接端与石英钟罩的内侧顶部中心固定连接,内筒的上端部具有一个吊耳,吊耳套入第六吊钩,以将内筒吊装在石英钟罩内腔中,内筒的内腔中盛装有掺杂元素。

3.如权利要求1或2所述的掺杂剂掺杂装置,其特征在于:所述弯曲段包括左倾斜段、右倾斜段,所述左倾斜段、右倾斜段与水平面之间均成第一角度设置,所述第五吊钩包括吊钩本体,所述吊钩本体具有两个夹持部,以及连接连接两个夹持部的弯曲部,所述弯曲部由弹性材料制成,其中一个夹持部具有一个自由端,另一个夹持部具有一个与石英钟罩的突出端连接的连接端,在两个夹持部相向内侧个各设置有第一加紧棒、第二加紧棒、第三加紧棒、第四加紧棒,第一加紧棒、第二加紧棒相互平行设置,第一加紧棒、第二加紧之间的距离小于第二支撑杆的直径,第一加紧棒与水平面之间成第一角度设置,第一加紧棒、第二加紧棒与第三加紧棒、第四加紧棒相对对称设置。

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