掺杂剂掺杂装置的制作方法

本实用新型涉及直拉法生产单晶硅设备技术领域，特别涉及一种掺杂剂掺杂装置。

背景技术：

目前，拉单晶掺杂时需将整个装籽晶夹头取下，然后再将掺杂工装挂至重锤上，进行掺杂。因硅料化完后温度很高，籽晶夹头的温度随之很高，人员操作时需佩戴耐高温手套，很不方便，并且掺杂结束后，需重复操作将籽晶装入重锤上，二次反复操作对籽晶造成很大的破坏，增加了籽晶破裂的几率，从而影响拉晶。

技术实现要素：

有鉴于此，针对上述不足，有必要提出一种操作安全、不需要反复拆卸掺杂工装的掺杂剂掺杂装置。

一种掺杂剂掺杂装置，所述掺杂剂掺杂装置与籽晶夹头可拆卸连接，籽晶夹头的一端与重锤螺纹连接，籽晶夹头的另一端夹持有籽晶，重锤通过拉绳悬吊在位于单晶炉副炉室上方的提拉机构上，在籽晶夹头的上设有水平的第一通孔，所述掺杂剂掺杂装置包括掺杂工装、掺杂单元，掺杂工装由钼材料制成，所述掺杂工装包括第一支撑杆、第一钩环、第二钩环、第一连接机构、第二连接机构、第三钩环、第四钩环、第二支撑杆、第五吊钩，第一支撑杆穿过第一通孔，并与第一通孔螺纹配合，以使第一支撑杆相对籽晶夹头位置固定，第一支撑杆的两端分别固定安装有第一钩环、第二钩环，第一连接机构包括第一吊钩、第一钼绳、第二吊钩，第一钼绳两端分别与第一吊钩、第二吊钩的连接端连接，第二连接机构包括第三吊钩、第二钼绳、第四吊钩，第二钼绳两端分别与第三吊钩、第四吊钩的连接端连接，第二支撑杆的两端分别固定安装有第三钩环、第四钩环，第二支撑杆中部具有一个向下弯曲段，在弯曲段钩挂第五吊钩，第一吊钩、第二吊钩、第三吊钩、第四吊钩分别钩挂第一钩环、第三钩环、第二钩环、第四钩环上，以将第二支撑杆吊装在籽晶夹头的下方，所述掺杂单元的顶部与第五吊钩的连接端连接，以将掺杂单元吊装在第二支撑杆的下方。

优选的，所述掺杂单元包括石英钟罩、第六吊钩、内筒，石英钟罩为圆顶状，石英钟罩中空，且底部开口，石英钟罩的外侧顶部中心安装有突出端，该突出端与第五吊钩的连接端铰接，第六吊钩的连接端与石英钟罩的内侧顶部中心固定连接，内筒的上端部具有一个吊耳，吊耳套入第六吊钩，以将内筒吊装在石英钟罩内腔中，内筒的内腔中盛装有掺杂元素。

优选的，所述弯曲段包括左倾斜段、右倾斜段，所述左倾斜段、右倾斜段与水平面之间均成第一角度设置，所述第五吊钩包括吊钩本体，所述吊钩本体具有两个夹持部，以及连接连接两个夹持部的弯曲部，所述弯曲部由弹性材料制成，其中一个夹持部具有一个自由端，另一个夹持部具有一个与石英钟罩的突出端连接的连接端，在两个夹持部相向内侧个各设置有第一加紧棒、第二加紧棒、第三加紧棒、第四加紧棒，第一加紧棒、第二加紧棒相互平行设置，第一加紧棒、第二加紧之间的距离小于第二支撑杆的直径，第一加紧棒与水平面之间成第一角度设置，第一加紧棒、第二加紧棒与第三加紧棒、第四加紧棒相对对称设置。

本实用新型中，第一支撑杆插装在籽晶夹头的第一通孔中，整个掺杂工装利用第一支撑杆悬挂固定，掺杂时，不用再将籽晶取下，避免了重复操作将籽晶装入籽晶夹头上，提高了工作效率和安全性，并且保证了籽晶不会因二次装入而造成的磨损；第一支撑杆和第二支撑杆的两端分别通过第一连接机构、第二连接机构吊装连接，第五吊钩吊装于第二支撑杆上，掺杂工装这种分体设计还能避免局部损坏后需要整体更换，而增加成本，拉晶炉内环境要求严格，整个掺杂工装采用钼材料制成，能防止污染，整个掺杂工装轻巧，使用方便。

附图说明

图1为所述掺杂剂掺杂装置的主视图。

图2为所述掺杂剂掺杂装置的右视图。

图3为显示第五吊钩与第二支撑杆弯曲段连接关系的局部视图。

图4为图3中第五吊钩与第二支撑杆弯曲段沿A-A方向剖视图。

图中：掺杂剂掺杂装置10、掺杂工装11、第一支撑杆111、第一钩环112、第二钩环113、第一连接机构114、第一吊钩1141、第一钼绳1142、第二吊钩1143、第二连接机构115、第三吊钩1151、第二钼绳1152、第四吊钩1153、第三钩环116、第四钩环117、第二支撑杆118、弯曲段1181、左倾斜段11811、右倾斜段11812、第五吊钩119、吊钩本体1191、夹持部11911、弯曲部11912、第一加紧棒1192、第二加紧棒1193、第三加紧棒1194、第四加紧棒1195、掺杂单元12、石英钟罩121、第六吊钩122、内筒123、籽晶夹头20、重锤30、籽晶40。

具体实施方式

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

参见图1和图2，本实用新型实施例提供了一种掺杂剂掺杂装置，掺杂剂掺杂装置10与籽晶夹头20可拆卸连接，籽晶夹头20的一端与重锤30螺纹连接，籽晶夹头20的另一端夹持有籽晶40，重锤30通过拉绳悬吊在位于单晶炉副炉室上方的提拉机构上，在籽晶夹头20的上设有水平的第一通孔，掺杂剂掺杂装置10包括掺杂工装11、掺杂单元12，掺杂工装11由钼材料制成，掺杂工装11包括第一支撑杆111、第一钩环112、第二钩环113、第一连接机构114、第二连接机构115、第三钩环116、第四钩环117、第二支撑杆118、第五吊钩119，第一支撑杆111穿过第一通孔，并与第一通孔螺纹配合，以使第一支撑杆111相对籽晶夹头20位置固定，第一支撑杆111的两端分别固定安装有第一钩环112、第二钩环113，第一连接机构114包括第一吊钩1141、第一钼绳1142、第二吊钩1143，第一钼绳1142两端分别与第一吊钩1141、第二吊钩1143的连接端连接，第二连接机构115包括第三吊钩1151、第二钼绳1152、第四吊钩1153，第二钼绳1152两端分别与第三吊钩1151、第四吊钩1153的连接端连接，第二支撑杆118的两端分别固定安装有第三钩环116、第四钩环117，第二支撑杆118中部具有一个向下弯曲段1181，在弯曲段1181钩挂第五吊钩119，第一吊钩1141、第二吊钩1143、第三吊钩1151、第四吊钩1153分别钩挂第一钩环112、第三钩环116、第二钩环113、第四钩环117上，以将第二支撑杆118吊装在籽晶夹头20的下方，掺杂单元12的顶部与第五吊钩119的连接端连接，以将掺杂单元12吊装在第二支撑杆118的下方。

本实用新型中，第一支撑杆111插装在籽晶夹头20的第一通孔中，整个掺杂工装11利用第一支撑杆111悬挂固定，掺杂时，不用再将籽晶40取下，避免了重复操作将籽晶40装入籽晶夹头20上，提高了工作效率和安全性，并且保证了籽晶40不会因二次装入而造成的磨损；第一支撑杆111和第二支撑杆118的两端分别通过第一连接机构114、第二连接机构115吊装连接，第五吊钩119吊装于第二支撑杆118上，掺杂工装11这种分体设计还能避免局部损坏后需要整体更换，而增加成本，掺杂单元12通过第一连接机构114、第二连接机构115与第一支撑杆111连接，第一连接机构114中的第一钼绳1142、第二连接机构115中的第二钼绳1152根据需要调整长度，在保证掺杂正常进行的同时，避免了籽晶40距离溶液表面太近。拉晶炉内环境要求严格，整个掺杂工装11采用钼材料制成，能防止污染，整个掺杂工装11轻巧，使用方便。

参见图1和图2，进一步，掺杂单元12包括石英钟罩121、第六吊钩122、内筒123，石英钟罩121为圆顶状，石英钟罩121中空，且底部开口，石英钟罩121的外侧顶部中心安装有突出端，该突出端与第五吊钩119的连接端铰接，第六吊钩122的连接端与石英钟罩121的内侧顶部中心固定连接，内筒123的上端部具有一个吊耳，吊耳套入第六吊钩122，以将内筒123吊装在石英钟罩121内腔中，内筒123的内腔中盛装有掺杂元素。

参见图1至图4，进一步，弯曲段1181包括左倾斜段11811、右倾斜段11812，左倾斜段11811、右倾斜段11812与水平面之间均成第一角度设置，第五吊钩119包括吊钩本体1191，吊钩本体1191具有两个夹持部11911，以及连接连接两个夹持部11911的弯曲部11912，弯曲部11912由弹性材料制成，其中一个夹持部11911具有一个自由端，另一个夹持部11911具有一个与石英钟罩121的突出端连接的连接端，在两个夹持部11911相向内侧个各设置有第一加紧棒1192、第二加紧棒1193、第三加紧棒1194、第四加紧棒1195，第一加紧棒1192、第二加紧棒1193相互平行设置，第一加紧棒1192、第二加紧之间的距离小于第二支撑杆118的直径，第一加紧棒1192与水平面之间成第一角度设置，第一加紧棒1192、第二加紧棒1193与第三加紧棒1194、第四加紧棒1195相对对称设置。

本实施方式中，两个夹持部11911的第一加紧棒1192、第二加紧棒1193和第三加紧棒1194、第四加紧棒1195分别卡入第二支撑杆118弯曲段1181的左倾斜段11811、右倾斜段11812，弯曲部11912的弹性力的作用，保证第五吊钩119不脱出第二支撑杆118，同时阻止第五吊钩119沿第二支撑杆118轴向运动。此外，第一加紧棒1192、第二加紧棒1193、第三加紧棒1194、第四加紧棒1195与第二支撑杆118为线性接触，能阻止第五吊钩119自转。

上述内筒123的吊耳也可采用第二支撑杆118的结构，第六吊钩122也可采用第五吊钩119的结构。

本实用新型实施例装置中的模块或单元可以根据实际需要进行合并、划分和删减。

以上所揭露的仅为本实用新型较佳实施例而已，当然不能以此来限定本实用新型之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本实用新型权利要求所作的等同变化，仍属于实用新型所涵盖的范围。