应用于水平区熔法生长超高纯锗单晶的设备的制作方法

文档序号:18064871发布日期:2019-07-03 03:19阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种应用于水平区熔法生长超高纯锗单晶的设备,其特征在于该设备包括石英舟(1)、石英管(2)、高频感应加热线圈(3)、支架(4)、丝杆(5)以及区熔小车(6),石英舟(1)放置在石英管(2)内,石英管(2)固定在支架(4)上方;高频感应加热线圈(3)设置在区熔小车(6)上,且区熔线圈套装在石英管(2)外;丝杠固定在支架(4)底部,且与石英管(2)平行;区熔小车(6)设置在丝杠上,且沿丝杠滑动;石英舟(1)内壁上涂有硅涂层。

2.如权利要求1所述的应用于水平区熔法生长超高纯锗单晶的设备,其特征在于所述的区熔小车(6)底部设置有伸缩杆(7),伸缩杆(7)底部设置有螺母,螺母的螺纹与丝杠螺纹匹配。

3.如权利要求1所述的应用于水平区熔法生长超高纯锗单晶的设备,其特征在于所述的石英管(2)两端分别设置有进气口(8)和排气口(9)。

4.如权利要求1所述的应用于水平区熔法生长超高纯锗单晶的设备,其特征在于所述的支架(4)一端的底部还设置有升降装置(10),升降装置(10)包括固定块和收缩杆,固定块放置在台面上,收缩杆顶部与丝杠一端连接,底部固定在固定块上。

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