晶体生长安瓿位置调节装置及系统的制作方法

文档序号:17989435发布日期:2019-06-22 00:40阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型提供了一种晶体生长安瓿位置调节装置及系统,涉及安瓿位置调节技术领域。一种晶体生长安瓿位置调节装置,包括支撑组件、热电偶和位置调节组件。位置调节组件通过支撑杆与支撑组件连接,用于在水平和竖直方向移动和定位支撑组件。支撑组件包括套筒、热电偶杆、陶瓷杆以及固定塞,套筒的两端设有开口,开口设有固定塞,陶瓷杆的一端穿过固定塞设置于套筒的内部,热电偶杆穿设于陶瓷杆内。热电偶设置于套筒内。实现了安瓿在径向温度场中的位置调节,避免不对称径向温度场对晶体生长的影响,避免了安瓿与发热体直接接触,提高晶体质量和产率。该装置结构简单、安装调试方便,并可对生长过程中安瓿温度进行实时监控。

技术研发人员:樊龙;肖婷婷;彭丽萍;黎维华;阎大伟;吴卫东;沈昌乐;蒋涛;湛治强
受保护的技术使用者:中国工程物理研究院激光聚变研究中心
技术研发日:2018.11.14
技术公布日:2019.06.21

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