1.一种VB/VGF法晶体生长用石英管,包括石英管体(8)和石英帽(10),其特征在于,所述石英管体(8)上部沿周向设置开口向上的支撑槽(9),所述石英帽(10)插入支撑槽(9)内,并借助设置在下端的通孔(12)实现石英管内外连通。
2.根据权利要求1所述的石英管,其特征在于,所述石英帽(10)下端的通孔(12)设有一个以上。
3.根据权利要求1所述的石英管,其特征在于,所述支撑槽(9)为U型槽或V型槽。
4.根据权利要求1-3任一所述的石英管,其特征在于,所述支撑槽(9)内设有受热变为液态形成密封的固体颗粒密封剂。
5.根据权利要求1-3任一所述的石英管,其特征在于,所述支撑槽(9)下方设有接漏槽(13)。
6.一种VB/VGF法晶体生长用装置,包括设有抽真空管道(14)的炉体(1)、炉体(1)内的加热器(2)、借助支撑体(3)限位在炉体(1)底部的石英管及石英管内部的坩埚(7),石英管结构中包括石英管体(8)和石英帽(10),其特征在于,所述石英管体(8)上部沿周向设置开口向上的支撑槽(9),支撑槽(9)内设有受热变为液态形成密封的固体颗粒密封剂,所述石英帽(10)插入支撑槽(9)内,并借助设置在下端的通孔(12)实现石英管内外连通。
7.根据权利要求6所述的装置,其特征在于,所述石英帽(10)下端的通孔(12)设有一个以上。
8.根据权利要求6所述的装置,其特征在于,所述支撑槽(9)为U型槽或V型槽。
9.根据权利要求6-8任一所述的装置,其特征在于,所述支撑槽(9)下方设有接漏槽(13)。