技术总结
本实用新型提供一种VB/VGF法晶体生长用石英管及装置，涉及化合物晶体生长技术领域，采用的技术方案是：一种VB/VGF法晶体生长用石英管，包括石英管体和石英帽，关键在于，所述石英管体上部沿周向设置开口向上的支撑槽，所述石英帽插入支撑槽内，并借助设置在下端的通孔实现石英管内外连通。有益效果是：本VB/VGF法晶体生长用石英管结构简单实用，不用焊接封管，避免了压差造成的“炸管”，可重复实用，节省成本；VB/VGF法晶体生长用装置可直接实现炉体内、石英管内统一抽真空，后续借助密封剂受热状态变化使石英管密封，保证了晶体生长压力。
技术研发人员：邵会民;孙聂枫;孙同年;刘惠生;王书杰;史艳磊;康永;姜剑;付莉杰;张晓丹
受保护的技术使用者：中国电子科技集团公司第十三研究所
技术研发日：2018.12.14
技术公布日：2019.08.16