1.一种高纯sic粉料的快速合成方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)选择高纯c粉与si粉按1:1.05的摩尔比进行均匀混合,c粉与si粉的纯度均大于99.998%;
(2)选择高纯聚碳硅烷(pcs)粉末与步骤(1)混合后的碳硅粉按质量比1:100的比例均匀混合;聚碳硅烷的纯度优于99.99%;
(3)将步骤(2)中混好的粉末放入高纯石墨坩埚中将坩埚置于中频感应加热炉中,并抽真空;
(4)反应室内充入惰性气体至100mbar,缓慢加热至500-700度,反复充抽3次;
(5)在腔室中通入高纯氩气、或氩气和氢气的混合物,加热至1100-1300进行合成反应,反应时间3-5h;
(6)按90:10的流量比在腔室内充入高纯氩气与氢气,充压至600mbar,快速升温至1900-2100℃进行合成转化反应,合成时间持续10-15h以促进颗粒长大并达到进一步提纯目的;
(7)在氩气与氢气保护下缓慢降至室温。
2.根据权利要求1所述的高纯sic粉料的快速合成方法,其特征在于,步骤(3)中,坩埚上盖设有孔。
3.根据权利要求1所述的高纯sic粉料的快速合成方法,其特征在于,步骤(3)中,抽真空至5x10-6mbar。
4.根据权利要求1所述的高纯sic粉料的快速合成方法,其特征在于,步骤(4)中,惰性气体为h2。