一种用于颗粒多晶硅的制备装置及方法与流程

文档序号:17936957发布日期:2019-06-15 01:49阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种用于颗粒多晶硅的制备装置及方法,涉及晶体硅制备技术领域,该装置设置有微波加热装置、晶种加入管、旋风分离器、水平晃动器、进料混合器、旋转电机、成品出口、反应旋转盘;该方法采用上述装置加入晶种后加热至反应温度,通入反应气体,反应生成的高纯硅沉积在预先加入的晶种表面,最后生成粒度、纯度等均符合要求的颗粒状多晶硅,在反应旋转盘旋转力的作用下,达到一定粒度的颗粒硅被甩出并收集。本发明的有益效果在于:本发明提供的装置及方法克服流化床沸腾时颗粒与反应器内壁之间产生的磨损,防止反应器内壁破损,有利于实现产业化生产;减少颗粒多晶硅之间的磨损,提高产品的品质;减少硅粉末的产生,提高成品率。

技术研发人员:高志明;甘易武;韩成福;闫晓英;郑连基;王体虎
受保护的技术使用者:亚洲硅业(青海)有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司
技术研发日:2019.04.11
技术公布日:2019.06.14
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