一种环保型退火炉的制作方法

[0001]
本实用新型涉及退火炉技术领域，特别涉及一种环保型退火炉。


背景技术：

[0002]
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，现有的退火炉采用直火加热方式，即空气和煤气直接混合燃烧生成明火，产生的高温烟气直接排出，影响周围环境。
[0003]
专利号cn201721105042.7的公布了一种环保型退火炉，退火炉采用天然气加热，利用尾气的余热对预燃空气进行余热，提高尾气的利用率，减少尾气排放，减少污染，过滤箱中三个所述折弯部向下折弯处分别设置有除油装置、除水装置和除氧分子筛净化装置，起到良好的净化效果，尾气内杂质除尽，防止杂质进入退火炉中。
[0004]
上述环保型退火炉不足之处在于：1、结构复杂，不能对煤气燃烧产生的烟气进行有效过滤，2、防护性能较差，辅助功能较少，为此，我们提出一种环保型退火炉。


技术实现要素：

[0005]
本实用新型的主要目的在于提供一种环保型退火炉，可以有效解决背景技术中的问题。
[0006]
为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：
[0007]
一种环保型退火炉，包括退火炉本体、过滤箱和储杂箱，所述退火炉本体顶部通过法兰连接有单向阀，所述退火炉本体一侧通过螺栓固定有过滤箱，所述过滤箱一侧通过螺栓固定有储杂箱，所述过滤箱内部通过卡槽固定有过滤网板，所述过滤箱内底部通过螺栓固定有二号过滤板，且二号过滤板顶部通过螺栓固定有一号过滤板，所述过滤箱底部通过法兰连接有流量计，所述流量计底部通过螺纹槽连接有排气管，所述排气管一端通过螺纹槽连接有进气阀，且进气阀一端通过管道连接于退火炉本体的进气端，所述排气管另一端通过螺纹槽连接有排气阀，所述过滤箱和储杂箱外表面均胶合有隔热层。
[0008]
进一步地，所述单向阀顶部通过螺纹槽连接有连接管，且连接管另一侧通过螺纹槽固定于过滤箱顶部。
[0009]
进一步地，所述储杂箱一侧通过转轴连接有储杂箱门，所述储杂箱顶部一端通过安装槽安装有插板，所述储杂箱和过滤箱相连通，所述过滤网板一端位于储杂箱内部。
[0010]
进一步地，所述过滤箱一端通过安装座安装有温度表，且温度表的检测端位于过滤箱内部，所述流量计的检测端位于排气管内部。
[0011]
进一步地，所述一号过滤板为陶瓷蜂窝过滤网制成，所述二号过滤板位于活性炭材料制成，所述隔热层为岩棉材料制成。
[0012]
与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：
[0013]
1.通过设置过滤箱、储杂箱和单向阀，在退火炉本体工作时，产生的烟气从单向阀经连接管流进过滤箱内部，单向阀可以防止进入过滤箱内的烟气回流至退火炉本体内部，
过滤箱内的过滤网板对烟气进行初步过滤，将烟气中的杂物、固体颗粒物等过滤下来，因过滤网板的倾斜角度，过滤下的杂物、固体颗粒物滚落至储杂箱内，人员下压插板，可以将储杂箱和过滤箱之间阻隔，打开储杂箱门可以对储杂箱内的杂质进行清理，经过滤网板过滤后的烟气向下流动，被一号过滤板和二号过滤板进行再次过滤，陶瓷蜂窝过滤网制成的一号过滤板，可以过滤掉烟气中的杂质、油污，活性炭材料制成的二号过滤板，可以过滤、吸附掉烟气中的有害物质。
[0014]
2.通过设置温度表、流量计和隔热层，温度表可以检测出过滤箱内烟气的温度，并显示出来，流量计可以检测、显示出过滤后烟气的流量，岩棉材料制成的隔热层，可以阻隔储杂箱和过滤箱内部的热量传导出去，降低烟气流动过程中的热量流失。
附图说明
[0015]
图1为本实用新型一种环保型退火炉的整体结构示意图。
[0016]
图2为本实用新型一种环保型退火炉的过滤箱和储杂箱内部结构示意图。
[0017]
图3为本实用新型一种环保型退火炉的过滤箱和储杂箱外部材料剖面图。
[0018]
图中：1、退火炉本体；2、过滤箱；3、储杂箱；4、单向阀； 5、连接管；6、流量计；7、进气阀；8、排气阀；9、温度表；10、过滤网板；11、一号过滤板；12、二号过滤板；13、储杂箱门； 14、插板；15、隔热层；16、排气管。
具体实施方式
[0019]
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
[0020]
如图1-3所示，一种环保型退火炉，包括退火炉本体1、过滤箱2和储杂箱3，所述退火炉本体1顶部通过法兰连接有单向阀4，所述退火炉本体1一侧通过螺栓固定有过滤箱2，所述过滤箱2一侧通过螺栓固定有储杂箱3，所述过滤箱2内部通过卡槽固定有过滤网板10，所述过滤箱2内底部通过螺栓固定有二号过滤板12，且二号过滤板12顶部通过螺栓固定有一号过滤板11，所述过滤箱2底部通过法兰连接有流量计6，所述流量计6底部通过螺纹槽连接有排气管16，所述排气管16一端通过螺纹槽连接有进气阀7，且进气阀7一端通过管道连接于退火炉本体1的进气端，所述排气管16另一端通过螺纹槽连接有排气阀8，所述过滤箱2和储杂箱3外表面均胶合有隔热层15。
[0021]
其中，所述单向阀4顶部通过螺纹槽连接有连接管5，且连接管5另一侧通过螺纹槽固定于过滤箱2顶部。
[0022]
本实施例中如图1所示。
[0023]
其中，所述储杂箱3一侧通过转轴连接有储杂箱门13，所述储杂箱3顶部一端通过安装槽安装有插板14，所述储杂箱3和过滤箱2相连通，所述过滤网板10一端位于储杂箱3内部。
[0024]
本实施例中如图2所示，过滤网板10一端位于储杂箱3内，因其倾斜角度，过滤下的杂物、固体颗粒物滚落至储杂箱3内部，人员下移插板14，使其插入储杂箱3和过滤箱2之间，将储杂箱3和过滤箱2之间阻隔，打开储杂箱门13可以对储杂箱3内部进行清理。
[0025]
其中，所述过滤箱2一端通过安装座安装有温度表9，且温度表9的检测端位于过滤
箱2内部，所述流量计6的检测端位于排气管16内部。
[0026]
本实施例中如图1所示，温度表9可以检测出过滤箱2内烟气的温度，并显示出来，流量计6可以检测、显示出过滤后烟气的流量。
[0027]
其中，所述一号过滤板11为陶瓷蜂窝过滤网制成，所述二号过滤板12位于活性炭材料制成，所述隔热层15为岩棉材料制成。
[0028]
本实施例中如图2和图3所示，瓷蜂窝过滤网制成的一号过滤板11，可以过滤掉烟气中的杂质、油污，活性炭材料制成的二号过滤板12，可以过滤、吸附掉烟气中的有害物质，岩棉材料制成的隔热层15，可以阻隔储杂箱3和过滤箱2内部的热量传导出去，降低烟气流动过程中的热量流失。
[0029]
需要说明的是，本实用新型为一种环保型退火炉，工作时，在退火炉本体1工作时，产生的烟气从单向阀4经连接管5流进过滤箱2内部，单向阀4可以防止进入过滤箱2内的烟气回流至退火炉本体1内部，过滤箱2内的过滤网板10对烟气进行初步过滤，将烟气中的杂物、固体颗粒物等过滤下来，因过滤网板10 的倾斜角度，过滤下的杂物、固体颗粒物滚落至储杂箱3内，人员下压插板14，可以将储杂箱3和过滤箱2之间阻隔，打开储杂箱门13可以对储杂箱3内的杂质进行清理，经过滤网板10过滤后的烟气向下流动，被一号过滤板11和二号过滤板12进行再次过滤，陶瓷蜂窝过滤网制成的一号过滤板11，可以过滤掉烟气中的杂质、油污，活性炭材料制成的二号过滤板12，可以过滤、吸附掉烟气中的有害物质，过滤后的烟气流进排气管16内，人员关闭排气阀8打开进气阀7，过滤后的烟气进入退火炉本体1内部，给予退火炉本体1内部加热，降低退火炉本体1的能耗，人员关闭进气阀7，打开排气阀8，可以将过滤后的烟气排出，避免影响周围空气环境，温度表9可以检测出过滤箱2内烟气的温度，并显示出来，流量计6可以检测、显示出过滤后烟气的流量，岩棉材料制成的隔热层15，可以阻隔储杂箱3和过滤箱2内部的热量传导出去，降低烟气流动过程中的热量流失。
[0030]
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。