技术总结
本发明实施例提供一种陶瓷件制作方法及陶瓷件，该陶瓷件制作方法，包括：对陶瓷生胚进行烧结，形成陶瓷件；对陶瓷件进行加工，使陶瓷件形成指定形状；按指定温度曲线对陶瓷件进行退火工艺；其中，指定温度曲线包括至少八个变温时段，每个变温时段均包括变温子时段和保温子时段；并且，通过设定各个变温时段中的变温子时段的时间范围、退火温度变化范围和变温速率值以及保温子时段的时长，来减小陶瓷件的微裂纹长度，并减少陶瓷件的颗粒数，本发明实施例提供的陶瓷件制作方法及陶瓷件，可以有效减小陶瓷件的损伤，改善焊合微裂纹的效果，将陶瓷件的微裂纹长度和颗粒均控制在个位数。
技术研发人员：周坤玲;王宏伟;符雅丽;郑友山
受保护的技术使用者：北京北方华创微电子装备有限公司
技术研发日：2021.02.22
技术公布日：2021.06.18