技术特征：
1.一种制备mpcvd单晶金刚石用的产品载台，其特征在于包括底座和一个以上垫片，所述一个以上垫片可分离的叠放在底座表面，并与底座导热连接，其中位于顶层的垫片表面分布有金刚石生长区。2.根据权利要求1所述的制备mpcvd单晶金刚石用的产品载台，其特征在于：所述垫片与底座两者的接触面为镜面结构；和/或，所述产品载台包括层叠设置的多个垫片，其中相邻两个垫片的接触面为镜面结构。3.根据权利要求1所述的制备mpcvd单晶金刚石用的产品载台，其特征在于还包括套环，所述套环环绕所述一个以上垫片设置，并且所述套环与底座可拆卸的连接，用于将所述一个以上垫片固定在底座表面。4.根据权利要求3所述的制备mpcvd单晶金刚石用的产品载台，其特征在于：所述底座表面还设置有与所述套环配合的环形槽；和/或，所述底座、垫片和套环均为钼制构件。5.根据权利要求1所述的制备mpcvd单晶金刚石用的产品载台，其特征在于：所述底座还与冷却机构导热连接。6.根据权利要求5所述的制备mpcvd单晶金刚石用的产品载台，其特征在于：所述冷却机构包括可供冷却介质流通的水冷腔室以及分别与所述水冷腔室连通的进水轴、回水轴，所述回水轴套设在进水轴上。7.根据权利要求1所述的制备mpcvd单晶金刚石用的产品载台，其特征在于：所述底座经一钼板与冷却机构固定连接。8.一种mpcvd单晶金刚石生产装置，包括mpcvd设备主体，其特征在于还包括权利要求1-7中任一项所述的产品载台。9.一种利用mpcvd工艺生产单晶金刚石的方法，其特征在于包括：提供权利要求8所述的mpcvd单晶金刚石生产装置，并依据实际生产需求调整其中垫片的数量和/或垫片的厚度；启动所述mpcvd单晶金刚石生产装置，在位于顶层的垫片表面的金刚石生长区生长形成单晶金刚石。10.根据权利要求9所述的利用mpcvd工艺生产单晶金刚石的方法，其特征在于还包括：在完成单晶金刚石的生长后，采用激光清洗机去除垫片表面的dlc薄膜。
技术总结
本发明公开了一种制备MPCVD单晶金刚石用的产品载台及其应用。所述产品载台包括底座和一个以上垫片，所述一个以上垫片可分离的叠放在底座表面，并与底座导热连接，其中位于顶层的垫片表面分布有金刚石生长区。所述产品载台结构简单，易于使用，在用于生长金刚石的过程中，只需简单调整垫片的数量和/或厚度，即可实现产品载台导热率的精确调控，可以有效保障生长形成的金刚石的质量，并可实现金刚石的长时间生长，且在完成金刚石的生长后，只需移除表面附着有DLC膜的垫片即可，无需将整个产品载台替换掉。进一步的，前述表面附着有DLC膜的垫片还可以用激光清洗机简单清理后重复使用，大大节约了成本。大节约了成本。大节约了成本。
技术研发人员：缪勇 马懿 缪嘉伟
受保护的技术使用者：苏州贝莱克晶钻科技有限公司
技术研发日：2021.03.31
技术公布日：2022/10/3