技术特征：
1.一种适用于电子级氨气与氨水的生产装置，其特征在于，包括依次连通的蒸发器、气液分离器、吸附装置、第一精馏装置、第二精馏装置、第一洗涤装置、第二洗涤装置、吸收装置和过滤装置；其中，所述第一精馏装置和所述第二精馏装置之间设有热耦合装置，所述第二精馏装置具有塔顶出气口、第一进口和第二进口，所述热耦合装置具有液氨进口、热气进口、热气出口和液氨出口，所述液氨进口与所述第一精馏装置的底部相连通，所述热气进口与所述第二精馏装置的塔顶出气口相连通，所述热气出口与所述第一精馏装置的塔釜相连通，所述液氨出口与所述第二精馏装置的第一进口相连通，所述第一精馏装置与所述第二精馏装置的第二进口相连通，所述第二精馏装置的塔顶出气口分别与所述热气进口、第一洗涤装置和氨气储存装置相连通。2.根据权利要求1所述的适用于电子级氨气与氨水的生产装置，其特征在于，还包括过滤器，所述过滤器具有入口和出口，所述过滤器的入口用于接收工业级液氨，所述过滤器的出口与所述蒸发器相连通。3.根据权利要求1所述的适用于电子级氨气与氨水的生产装置，其特征在于，所述气液分离器具有第三进口、气体出口和回流口，所述蒸发器分别与第三进口和回流口相连通，所述气体出口与所述吸附装置相连通。4.根据权利要求1或2所述的适用于电子级氨气与氨水的生产装置，其特征在于，还包括气体纯化器，所述气体纯化器具有进气口和出气口，所述气体纯化器的进气口与所述吸附装置相连通，所述气体纯化器的出气口与所述第一精馏装置相连通。5.根据权利要求1所述的适用于电子级氨气与氨水的生产装置，其特征在于，所述第二精馏装置的塔顶出气口通过管道与所述热气进口相连通，所述管道上设有热耦合动力装置。6.根据权利要求1所述的适用于电子级氨气与氨水的生产装置，其特征在于，所述第二精馏装置的外侧设有换热装置，所述换热装置的一端与所述第二精馏装置的塔底相连通，所述换热装置的另一端与所述第二精馏装置的塔釜相连通。7.根据权利要求1所述的适用于电子级氨气与氨水的生产装置，其特征在于，所述第一洗涤装置的外侧设有第一循环装置，所述第一循环装置的一端与所述第一洗涤装置的底部相连通，所述第一循环装置的另一端与所述第一洗涤装置的中上部相连通。8.根据权利要求1所述的适用于电子级氨气与氨水的生产装置，其特征在于，所述第二洗涤装置的外侧设有第二循环装置，所述第二循环装置的一端与所述第二洗涤装置的底部相连通，所述第二循环装置的另一端与所述第二洗涤装置的中上部相连通。9.根据权利要求1所述的适用于电子级氨气与氨水的生产装置，其特征在于，吸收装置和过滤装置之间设有第三循环装置，所述第三循环装置的一端与所述吸收装置相连通，所述第三循环装置的另一端与所述过滤装置相连通。10.根据权利要求9所述的适用于电子级氨气与氨水的生产装置，其特征在于，所述吸收装置和所述过滤装置之间设有回流管道。
技术总结
本实用新型公开了一种适用于电子级氨气与氨水的生产装置，涉及化工技术领域，包括依次连通的蒸发器、气液分离器、吸附装置、第一精馏装置、第二精馏装置、第一洗涤装置、第二洗涤装置、吸收装置和过滤装置；其中，第一精馏装置和第二精馏装置之间设有热耦合装置，第二精馏装置具有塔顶出气口、第一进口和第二进口，热耦合装置具有液氨进口、热气进口、热气出口和液氨出口，液氨出口与第一进口相连通，第一精馏装置与第二进口相连通，塔顶出气口分别与热气进口、第一洗涤装置和氨气储存装置相连通。本申请中的生产装置不仅可以同时适用于电子级氨气与电子级氨水的生产，且提高了能耗利用率，进而降低了生产成本。进而降低了生产成本。进而降低了生产成本。
技术研发人员：刘尚文 陈云斌 顾海燕 孙振波 张金霞 齐庆辰
受保护的技术使用者：浙江建业微电子材料有限公司
技术研发日：2021.09.17
技术公布日：2022/3/11