本发明属于直拉硅单晶炉所用配件，尤其是涉及一种埚底无剩料的保温及复投工艺。
背景技术：
1、目前，在直拉硅单晶炉生产中，采用无剩料的收尾工艺进行收尾后，在石英埚无剩料情况下进行保温复投，由于主加热器温度过高，容易造成石英埚受损或卷边等异常，严重者造成漏硅，影响生产效率，造成事故隐患。
技术实现思路
1、本发明要解决的问题是现有技术采用无剩料的收尾工艺进行收尾后，在石英埚无剩料情况下进行保温复投，由于主加热器温度过高，容易造成石英埚受损或卷边等异常，严重者造成漏硅，影响生产效率，造成事故隐患的问题，提供一种埚底无剩料的保温及复投工艺，使用该工艺在埚底无剩料情况下进行保温复投，可以保护石英埚不受损伤，降低石英埚卷边风险，防止生产事故，提高生产效率。
2、为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：
3、一种埚底无剩料的保温及复投工艺，包括：
4、将开始保温时的主加热器功率设定为第一功率，开始复投时的所述主加热器功率设定为第二功率，复投初期的所述主加热器功率设定为第三功率，开始保温至保温初期，所述主加热器功率由所述第一功率降低至所述第二功率，保温初期至保温结束，所述主加热器功率保持所述第二功率，保温结束后开始复投，开始复投至复投初期，所述主加热器功率由所述第二功率匀速升高至所述第三功率，复投初期至复投结束，所述主加热器功率保持所述第三功率；
5、将开始保温时的底部加热器功率设定为第四功率，开始复投时的所述底部加热器功率设定为第五功率，开始保温至保温初期，所述底部加热器功率由所述第四功率降低至所述第五功率，保温初期至保温结束，所述底部加热器功率保持所述第五功率，保温结束后开始复投，开始复投至复投初期，所述底部加热器功率由所述第五功率匀速升回至所述第四功率，复投初期至复投结束，所述底部加热器功率保持所述第四功率。
6、进一步地，将开始保温时的石英埚埚位设定为第一位置，保温初期至保温结束时的石英埚位置设定为第二位置，开始保温至保温初期，石英埚埚位由所述第一位置降低至所述第二位置，保温初期至保温结束，石英埚埚位保持所述第二位置。
7、进一步地，开始复投时，在投入常规料之前先投入碎料，化料后，将所述石英埚埚位升高至第三位置，再向石英埚中投入所述常规料。
8、进一步地，所述第一位置为距所述主加热器上沿350-400mm处，所述第二位置为距所述主加热器上沿340-390mm处。
9、进一步地，所述第三位置为距所述主加热器上沿150-170mm处。
10、进一步地，开始保温至保温初期，所述主加热器功率由所述第一功率降低至所述第二功率的时间设定为t1，所述底部加热器功率由所述第四功率降低至所述第五功率的时间设定为t2，1min≤t1≤3min，1min≤t2≤3min。
11、进一步地，开始复投至复投初期，所述主加热器功率由所述第二功率匀速升高至所述第三功率的时间设定为t3，所述底部加热器功率由所述第五功率匀速升回至所述第四功率的时间设定为t4,3min≤t3≤5min，3min≤t4≤5min。
12、进一步地，开始保温至复投结束，石英埚的转速保持不变。
13、本发明设计的一种埚底无剩料的保温及复投工艺，开始保温至保温初期，降低主加热器功率和底部加热器功率，保温结束开始复投时，再升高主加热器功率和底部加热器功率，减少由于高温导致的石英埚损伤；且在保温时通过降低石英埚位置的方式，使石英埚上沿远离主加热器，复投时再升高石英埚位置，保证复投料被完全熔化，避免剩料。复投时升高主加热器功率和底部加热器功率的时间较长，缓慢升温，避免由于升温过快产生骤然高温，对石英埚造成损伤。
1.一种埚底无剩料的保温及复投工艺，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种埚底无剩料的保温及复投工艺，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的一种埚底无剩料的保温及复投工艺，其特征在于：
4.根据权利要求2或3所述的一种埚底无剩料的保温及复投工艺，其特征在于：
5.根据权利要求3所述的一种埚底无剩料的保温及复投工艺，其特征在于：
6.根据权利要求1或2或3或5所述的一种埚底无剩料的保温及复投工艺，其特征在于：
7.根据权利要求6所述的一种埚底无剩料的保温及复投工艺，其特征在于：
8.根据权利要求1或2或3或5所述的一种埚底无剩料的保温及复投工艺，其特征在于：
9.根据权利要求1或2或3或5或7所述的一种埚底无剩料的保温及复投工艺，其特征在于：
10.根据权利要求8所述的一种埚底无剩料的保温及复投工艺，其特征在于：