一种VGF法彩色宝石晶体生长坩埚固定方法与流程

文档序号:32398397发布日期:2022-12-02 18:04阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种vgf法彩色宝石晶体生长坩埚,包括石墨保温罩(1)、加热器(2)、坩埚本体(3)、石墨杆(4)、石墨支撑板(5)、底保温板(6)、热交换器(7)和钽片(8),其特征在于:所述钽片(8)固定安装在热交换器(7)的上方,所述钽片(8)与石墨保温罩(1)固定连接,所述钽片(8)的上端与坩埚本体(3)的下端相连接。2.根据权利要求1所述的一种vgf法彩色宝石晶体生长坩埚,其特征在于:所述钽片(8)的表面平整无翘曲,所述钽片(8)的面积完全覆盖石墨杆(4)的表面。3.根据权利要求2所述的一种vgf法彩色宝石晶体生长坩埚,其特征在于:所述石墨杆(4)的数量为两个,所述石墨杆(4)固定安装在石墨支撑板(5)的上端,所述石墨支撑板(5)的数量为两个。4.根据权利要求3所述的一种vgf法彩色宝石晶体生长坩埚,其特征在于:所述底保温板(6)固定安装在石墨保温罩(1)的下端,所述底保温板(6)的长度与石墨保温罩(1)的长度相等。5.根据权利要求4所述的一种vgf法彩色宝石晶体生长坩埚,其特征在于:所述石墨保温罩(1)的尺寸大于坩埚本体(3)的尺寸。6.根据权利要求5所述的一种vgf法彩色宝石晶体生长坩埚,其特征在于:所述热交换器(7)固定安装在底保温板(6)的内侧,所述热交换器(7)与坩埚本体(3)相连接。7.一种vgf法彩色宝石晶体生长坩埚的固定方法,其特征在于:包括以下步骤:s1、将钽片(8)安装在石墨杆(4)的上端;s2、将坩埚本体(3)放置在钽片(8)和石墨杆(4)的上端;s3、将原料放入坩埚本体(1)的内部;s4、开启热交换器(7),热交换器(7)通过内部冷却水流动带走坩埚本体(1)的热量,成坩埚本体(1)内晶体生长的驱动力,直至晶体生长过程结束。

技术总结
本发明涉及彩色宝石晶体生长技术领域,且公开了一种VGF法彩色宝石晶体生长坩埚固定方法,包括石墨保温罩、加热器、坩埚本体、石墨杆、石墨支撑板、底保温板、热交换器和钽片,所述钽片固定安装在热交换器的上方,所述钽片与石墨保温罩固定连接,所述钽片的上端与坩埚本体的下端相连接,通过设置钽片,石墨杆上端的钽片则与坩埚本体进行接触,能够隔绝石墨杆与坩埚本体由于高温作用下所产生的反应,避免了坩埚本体在高温作用下产生反应,导致漏料烧毁热场,带来严重的经济损失,钽片的设计简单易实施减小了经济损失,节约了生产成本,钽片的表面平整无翘曲,且钽片的面积完全覆盖石墨杆的表面则杜绝了石墨杆与坩埚本体产生高温反应的可能性。的可能性。的可能性。


技术研发人员:李伦 周长城 王明星
受保护的技术使用者:河南铭镓半导体有限公司
技术研发日:2022.08.25
技术公布日:2022/12/1
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