一种利于气相沉积法合成单晶金刚石的衬底的制作方法

本技术涉及金刚石合成装置，更具体地说，它涉及一种利于气相沉积法合成单晶金刚石的衬底。

背景技术：

1、金刚石是一种性能优越的矿物材料，在很多领域都有广泛的应用，化学气相沉积法是合成单晶金刚石的主要方式之一，通过解离含碳的混合气体，活性炭原子在衬底(晶种)上沉积形成金刚石，化学气相沉积法合成单晶金刚石工艺中，温度是晶体合成重要影响因素，在晶体的合成过程中，衬底表面的温度无法直接测得，常使用红外测温设备进行非接触式的温度测量，被测物的红外放射率直接影响了测温的结果，现有的衬底不便于对单晶金刚石进行限位，且不便于更换清洗。

技术实现思路

1、(1)要解决的技术问题

2、针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种利于气相沉积法合成单晶金刚石的衬底，其具有便于限位和便于更换清洗的特点。

3、(2)技术方案

4、为实现上述目的，本实用新型提供了一种利于气相沉积法合成单晶金刚石的衬底，包括基座，所述基座上表面开设有定位槽，所述定位槽共有多个，均开设在基座上表面，所述基座上表面搭接有衬底主体，所述衬底主体表面设置有限位槽，所述限位槽共有多个，均开设在衬底主体表面。

5、使用本技术方案的一种利于气相沉积法合成单晶金刚石的衬底时，人们将限位槽对准定位槽，使衬底主体搭接在基座上表面，人们将单晶金刚石放置在限位槽内，避免测温过程中发生偏移。

6、进一步地，所述限位槽设置在定位槽内，所述衬底主体上表面固定连接有把手。

7、进一步地，所述把手共有两个，且对称固定连接在衬底主体上表面。

8、(3)有益效果

9、综上所述，本实用新型具有以下有益效果：

10、1、该利于气相沉积法合成单晶金刚石的衬底，通过设置定位槽和限位槽，在对单晶金刚石进行测温时，人们将单晶金刚石放置在限位槽内，避免测温过程中偏移，在定位槽和限位槽的作用下，增强了该装置的稳定性；

11、2、该利于气相沉积法合成单晶金刚石的衬底，通过设置把手，在对该装置进行使用时，人们可用工具夹持把手，进而将衬底主体移出进行清洗和更换，在把手的作用下，更便于人们将衬底主体移出进行清洗和更换。

技术特征：

1.一种利于气相沉积法合成单晶金刚石的衬底，包括基座(1)，其特征在于：所述基座(1)上表面开设有定位槽(2)，所述定位槽(2)共有多个，均开设在基座(1)上表面，所述基座(1)上表面搭接有衬底主体(3)，所述衬底主体(3)表面设置有限位槽(4)，所述限位槽(4)共有多个，均开设在衬底主体(3)表面。

2.根据权利要求1所述的一种利于气相沉积法合成单晶金刚石的衬底，其特征在于：所述限位槽(4)设置在定位槽(2)内，所述衬底主体(3)上表面固定连接有把手(5)。

3.根据权利要求2所述的一种利于气相沉积法合成单晶金刚石的衬底，其特征在于：所述把手(5)共有两个，且对称固定连接在衬底主体(3)上表面。

技术总结
本技术公开了一种利于气相沉积法合成单晶金刚石的衬底，属于金刚石合成装置技术领域，其中，包括基座，所述基座上表面开设有定位槽，所述定位槽共有多个，均开设在基座上表面，所述基座上表面搭接有衬底主体，所述衬底主体表面设置有限位槽，所述限位槽共有多个，该利于气相沉积法合成单晶金刚石的衬底，通过设置定位槽和限位槽，在对单晶金刚石进行测温时，人们将单晶金刚石放置在限位槽内，避免测温过程中偏移，在定位槽和限位槽的作用下，增强了该装置的稳定性，通过设置把手，在对该装置进行使用时，人们可用工具夹持把手，进而将衬底主体移出进行清洗和更换，在把手的作用下，更便于人们将衬底主体移出进行清洗和更换。

技术研发人员：张存升,邵增明,沈磊,韩乾飞,郑明欣
受保护的技术使用者：河南宝晶新材料科技有限公司
技术研发日：20221123
技术公布日：2024/1/12