用于七根硅芯生产带葫芦形拉制孔的高频感应线圈装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及硅芯区熔法拉制设备技术，尤其涉及一种用于七根硅芯生产带葫芦形拉制孔的高频感应线圈装置。
【背景技术】
[0002]区熔硅单晶是制作各种探测器、传感器的关键原材料，其市场增长趋势也很明显。采用高阻区熔硅制造微波单片集成电路以及微电子机械系统等高端微电子器件，显示出巨大的应用前景。硅芯的拉制例如区熔法分为两种:水平区熔法和立式悬浮区熔法，前者主要用于锗、砷化镓等材料的提纯和单晶生长，后者主要用于硅，这是由于硅熔体的温度高，化学性能活泼，容易受到异物的玷污，难以找到适合的舟皿，不能采用水平区熔法。再如，悬浮区熔法是在真空的炉室中，利用高频线圈在单晶籽晶和其上方悬挂的多晶硅棒的接触处产生熔区，然后使熔区向上移动进行单晶生长，由于硅熔体完全依靠其表面张力和高频电磁力的支托，悬浮于多晶棒与单晶之间，故称为悬浮区熔法。
[0003]随着全球对绿色能源的共识，光伏产业得以迅猛发展，作为光伏产业链条中的上游产品，多晶硅供不应求，国内外有实力的商业巨头纷纷投入巨资介入多晶硅行业，发展规模越来越大，硅芯炉是多晶硅生产链条上的一个重要环节，需求也越来越大。目前大量使用的娃芯炉，一次只能拉制一根娃芯,一炉次只能拉制4-6根娃芯，面对巨量的市场需求，需要投入大量的硅芯炉进行生产，设备占地面积越来越大，人力、物力及能源消耗巨大，而能源消耗也已成为多晶硅生产厂家的考量指标之一，因此，从提高设备效率，节能降耗，节约成本方面考虑，很有必要研发性能更为卓越的硅芯设备。因此，针对以上方面，需要对现有技术进行有效创新。
【发明内容】
[0004]针对以上缺陷，本发明提供一种结构稳固、有利于节约生产成本、可使硅芯区熔法拉制更加稳定、有利于最大限度提高单机产能的用于七根硅芯生产带葫芦形拉制孔的高频感应线圈装置，以解决现有技术的诸多不足。
[0005]为实现上述目的，本发明采用以下技术方案:
[0006]一种用于七根硅芯生产带葫芦形拉制孔的高频感应线圈装置，包括开式聚流环、进水管、出水管、阴极连接法兰、阳极连接法兰、接地连接片，所述开式聚流环为端部开口的圆柱体结构并且位于此圆柱体顶部安装接地连接片，位于此开式聚流环的上端面中心区域设有向内凹陷的聚流环圆锥面，位于开式聚流环的下端面中心区域由内向外依次设有三个环形化料台阶，即中心化料台阶、外圆化料台阶一和外圆化料台阶二 ；
[0007]在开式聚流环的中心化料台阶位置处设置中心化料孔，在中心化料孔外部的开式聚流环内环绕分布七个葫芦形拉制孔，每两个相邻的葫芦形拉制孔之间带有一个磁场分割线，从而形成自中心化料孔向外围的放射式结构；
[0008]同时，位于七个葫芦形拉制孔的外缘设置菱形的通水槽，位于此通水槽两个外端依次分别开设进水管、出水管，此进水管和出水管外端依次分别连接阴极法兰和阳极连接法兰。
[0009]此外，所述中心化料孔外边沿处带有化料孔圆锥面，每个葫芦形拉制孔外边沿处带有拉制孔圆锥面，所述葫芦形拉制孔由外圆孔与内圆孔组成，外圆孔与内圆孔相交处设置圆弧过渡面；每个火柴形磁场分割线的外端分别设有圆弧形的孔。
[0010]所述开式聚流环外缘面通过氩弧紫铜焊接通水槽，使通水槽与开式聚流环形成一体，所述阴极连接法兰与阳极连接法兰为菱形或半圆形，位于接地连接片外部连接接地装置。
[0011]本发明所述的用于七根硅芯生产带葫芦形拉制孔的高频感应线圈装置的有益效果为:该高频感应线圈装置结构稳固，可使硅芯区熔法拉制更加稳定、有利于最大限度提高单机产能，大大提高了硅芯的生产效率，降低了单根硅芯的能耗，减少了人力与物力的投入，从而降低了多晶硅生产过程的成本。
【附图说明】
[0012]下面根据附图对本发明作进一步详细说明。
[0013]图1是本发明实施例所述用于七根硅芯生产带葫芦形拉制孔的高频感应线圈装置的结构示意图；
[0014]图2是本发明实施例所述用于七根硅芯生产带葫芦形拉制孔的高频感应线圈装置的侧面剖视图；
[0015]图3是本发明实施例所述用于七根硅芯生产带葫芦形拉制孔的高频感应线圈装置的下端面部分化料台阶部分示意图。
[0016]图中:
[0017]1、开式聚流环；2、进水管；3、出水管；4、阴极连接法兰；5、阳极连接法兰；6、接地连接片；7、葫芦形拉制孔；8、拉制孔圆锥面；9、磁场分割线；10、聚流环圆锥面；11、中心化料孔；12、化料孔圆锥面；13、通水槽；14、外圆化料台阶一 ；15、外圆化料台阶二。
【具体实施方式】
[0018]如图1-3所示，本发明实施例所述的用于七根硅芯生产带葫芦形拉制孔的高频感应线圈装置，包括开式聚流环1、进水管2、出水管3、阴极连接法兰4、阳极连接法兰5、接地连接片6，所述开式聚流环I呈圆柱形开口结构并且位于此圆柱体顶部安装接地连接片6，位于此开式聚流环I的上端面中心区域设有向内凹陷的聚流环圆锥面10，位于开式聚流环I的下端面中心区域由内向外依次设有三个口径大小不同的环形化料台阶，即圆心位置处的中心化料台阶、外圆化料台阶一 14和外圆化料台阶二 15,在开式聚流环的中心化料台阶位置处设置中心化料孔11，此中心化料孔11外边沿处带有化料孔圆锥面12，在中心化料孔11外部的开式聚流环I上环形分布七个葫芦形拉制孔7，每个葫芦形拉制孔7外边沿处带有拉制孔圆锥面8，每两个相邻的葫芦形拉制孔7之间带有一个磁场分割线9，从而形成自中心化料孔11向外呈发散形状分布六个火柴形磁场分割线9 ;同时，位于七个葫芦形拉制孔7的外缘设置菱形的通水槽13，位于此通水槽13两个外端依次分别开设进水管2、出水管3，此进水管2和出水管3外端分别设有阴极连接法兰4和阳极连接法兰5。
[0019]以上本发明实施例所述的用于七根硅芯生产带葫芦形拉制孔的高频感应线圈装置，所述七个葫芦形拉制孔7由外圆孔与内圆孔组成，其中的外圆孔设有圆锥形凹陷面，夕卜圆孔与内圆孔相交处设置圆弧过渡面；每个火柴形磁场分割线9的外端分别设有圆弧形的孔，有利于七个葫芦形拉制孔7和中心化料孔11的磁场分部均匀。
[0020]上述对实施例的描述是为了便于该技术领域的普通技术人员能够理解和应用本案技术，熟悉本领域技术的人员显然可轻易对这些实例做出各种修改，并把在此说明的一般原理应用到其它实施例中而不必经过创造性的劳动。因此，本案不限于以上实施例，本领域的技术人员根据本案的揭示，对于本案做出的改进和修改都应该在本案的保护范围内。
【主权项】
1.一种用于七根硅芯生产带葫芦形拉制孔的高频感应线圈装置，包括开式聚流环(I)、进水管(2)、出水管(3)、阴极连接法兰(4)、阳极连接法兰(5)、接地连接片￠)，其特征在于: 所述开式聚流环(I)为端部开口的圆柱体结构并且位于此圆柱体顶部安装接地连接片(6)，位于此开式聚流环(I)的上端面中心区域设有向内凹陷的聚流环圆锥面(10)，位于开式聚流环(I)的下端面中心区域由内向外依次设有三个环形化料台阶，即中心化料台阶、外圆化料台阶一(14)和外圆化粹台阶二(15)； 在开式聚流环的中心化料台阶位置处设置中心化料孔(11)，在中心化料孔(11)外部的开式聚流环(I)内环绕分布七个葫芦形拉制孔(7)，每两个相邻的葫芦形拉制孔(7)之间带有一个磁场分割线(9)，从而形成自中心化料孔(11)向外围的放射式结构； 同时，位于七个葫芦形拉制孔(7)的外缘设置菱形的通水槽(13)，位于此通水槽(13)两个外端依次分别开设进水管(2)、出水管(3)，此进水管(2)和出水管(3)外端依次分别连接阴极连接法兰(4)和阳极连接法兰(5)。
2.根据权利要求1所述的用于七根硅芯生产带葫芦形拉制孔的高频感应线圈装置，其特征在于:所述中心化料孔(11)外边沿处带有化料孔圆锥面(12)。
3.根据权利要求1所述的用于七根硅芯生产带葫芦形拉制孔的高频感应线圈装置，其特征在于:每个葫芦形拉制孔(7)外边沿处带有拉制孔圆锥面(8)。
4.根据权利要求1所述的用于七根硅芯生产带葫芦形拉制孔的高频感应线圈装置，其特征在于:所述葫芦形拉制孔(7)由外圆孔与内圆孔组成，外圆孔与内圆孔相交处设置圆弧过渡面。
5.根据权利要求1所述的用于七根硅芯生产带葫芦形拉制孔的高频感应线圈装置，其特征在于:每个火柴形磁场分割线(9)的外端分别设有圆弧形的孔。
6.根据权利要求1所述的用于七根硅芯生产带葫芦形拉制孔的高频感应线圈装置，其特征在于:所述开式聚流环(I)外缘面通过氩弧紫铜焊接通水槽(13)，使通水槽(13)与开式聚流环(I)形成一体。
7.根据权利要求1所述的用于七根硅芯生产带葫芦形拉制孔的高频感应线圈装置，其特征在于:所述阴极连接法兰(4)与阳极连接法兰(5)为菱形或半圆形。
8.根据权利要求1所述的用于七根硅芯生产带葫芦形拉制孔的高频感应线圈装置，其特征在于:位于接地连接片(6)外部连接接地装置。
【专利摘要】本发明涉及一种用于七根硅芯生产带葫芦形拉制孔的高频感应线圈装置，包括开式聚流环、进水管、出水管、阴极连接法兰、阳极连接法兰、接地连接片，所述开式聚流环为端部开口的圆柱体结构并且位于此圆柱体顶部安装接地连接片，位于此开式聚流环的上端面中心区域设有聚流环圆锥面，位于开式聚流环的下端面中心区域由内向外依次设有三个环形化料台阶；在开式聚流环的中心化料台阶位置处设置中心化料孔，在中心化料孔外部的开式聚流环内环绕分布七个葫芦形拉制孔，每两个相邻的葫芦形拉制孔之间带有一个磁场分割线，从而形成自中心化料孔向外围的放射式结构。本发明有益效果为：可使硅芯区熔法拉制更加稳定、有利于最大限度提高单机产能。
【IPC分类】C30B13-20
【公开号】CN104726929
【申请号】CN201310714247
【发明人】刘剑
【申请人】刘剑
【公开日】2015年6月24日
【申请日】2013年12月23日