一种用于高精度晶体生长称重机构的减震结构的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种晶体生长领域用称重机构，本实用新型尤其是涉及一种用于高精度晶体生长称重机构的减震结构。
【背景技术】
[0002]蓝宝石单晶炉内的称重机构是晶体生长过程中的重量信号收集与反馈系统，也是整个晶体生长过程中最重要的参考数据与评判依据。市场上的蓝宝石炉称重机构，大多是根据杠杆原理而设计的杠杆式机械称重机构。随着晶体重量的增加，这种结构会使提拉杆在竖直方向上倾斜，不仅会导致称重存在较大误差，无法精确收集到晶体生长过程中的重量信号，同时该结构在实际应用中还容易造成籽晶杆发生抖动现象，从而导致籽晶位置偏离热场中心造成长晶困难或长晶失败、在长晶过程中粘锅严重，难以取出晶体等问题。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种用于晶体生长称重机构的减震系统，该系统能有效阻尼减震、抗干扰性强，并能精确、可靠地进行晶体生长重量信号的收集。
[0004]按照本实用新型提供的技术方案，所述用于高精度晶体生长称重机构的减震结构，在机架上滑动安装有支撑底座，在支撑底座的上方设有平衡板，在支撑底座的上表面固定有若干根导向杆，导向杆的上端为限位端，导向杆的下端穿过平衡板上对应的孔后固定于支撑底座上，在平衡板上方与下方的导向杆上均套接有弹性体，在平衡板的上方设有称重盘，在称重盘与平衡板上固定有若干个位移传感器，在称重盘上转动安装有提拉杆，提拉杆的下端穿过平衡板与支撑底座上对应的孔后伸到机架的下方，在提拉杆上固定有被动轮，所述导向杆围绕提拉杆的圆周方向设置，位移传感器围绕提拉杆的圆周方向设置。
[0005]在机架上固定有呈左右向设置的下层导轨，在下层导轨上滑动连接有下层滑块，在下层滑块上固定有呈内外向设置的上层导轨，在上层导轨上滑动连接有上层滑块，在上层滑块上固定有所述的支撑底座。
[0006]在提拉杆的顶端部安装有水冷系统。
[0007]在支撑底座上固定有压力表，压力表的指针与平衡板的下表面接触。
[0008]所述导向杆沿提拉杆的圆周方向均布有3~4个。
[0009]所述位移传感器沿沿提拉杆的圆周方向均布有2~3个。
[0010]所述弹性体为弹簧、橡胶垫、线性或非线性弹力材料。
[0011]所述被动轮为同步带轮、齿轮或者链轮，被动轮设置在位于称重盘上方的提拉杆上。
[0012]在所述称重盘的上表面固定有驱动电机，在驱动电机的输出轴上固定有主动轮，在主动轮与所述被动轮通过同步带相连。
[0013]本实用新型在晶体生长过程中可使提拉杆始终保持垂直状态，不仅可以形成稳定的晶体称重结构，保证精确称重，而且该结构可有效阻尼减震、抗干扰性强，不会造成籽晶偏离热场中心，利于晶体生长。
【附图说明】
[0014]图1是本实用新型的主视图。
[0015]图2是本实用新型的左视图。
【具体实施方式】
[0016]下面结合具体实施例对本实用新型作进一步说明。
[0017]该用于高精度晶体生长称重机构的减震结构，在机架I上滑动安装有支撑底座2，在支撑底座2的上方设有平衡板3，在支撑底座2的上表面固定有若干根导向杆4，导向杆4的上端为限位端，导向杆4的下端穿过平衡板3上对应的孔后固定于支撑底座2上，在平衡板3上方与下方的导向杆4上均套接有弹性体5，在平衡板3的上方设有称重盘6，在称重盘6与平衡板3上固定有若干个位移传感器7，在称重盘6上转动安装有提拉杆8，提拉杆8的下端穿过平衡板3与支撑底座2上对应的孔后伸到机架I的下方，在提拉杆8上固定有被动轮9，所述导向杆4围绕提拉杆8的圆周方向设置，位移传感器7围绕提拉杆8的圆周方向设置。
[0018]在机架I上固定有呈左右向设置的下层导轨，在下层导轨上滑动连接有下层滑块，在下层滑块上固定有呈内外向设置的上层导轨，在上层导轨上滑动连接有上层滑块，在上层滑块上固定有所述的支撑底座2。
[0019]在提拉杆8的顶端部安装有水冷系统10。
[0020]在支撑底座2上固定有压力表11，压力表11的指针与平衡板3的下表面接触。
[0021]所述导向杆4沿提拉杆8的圆周方向均布有3~4个。
[0022]所述位移传感器7沿沿提拉杆8的圆周方向均布有2~3个。
[0023]所述弹性体5为弹簧、橡胶垫、线性或非线性弹力材料。
[0024]所述被动轮9为同步带轮、齿轮或者链轮，被动轮9设置在位于称重盘9上方的提拉杆8上。
[0025]在所述称重盘6的上表面固定有驱动电机12，在驱动电机12的输出轴上固定有主动轮13，主动轮13与被动轮9配合。
[0026]在工作时，由驱动电机12通过主动轮13带动被动轮9转动，从而使提拉杆8绕轴旋转。
[0027]本实用新型通过在弹性体5中设置导向杆4，可起到称重结构轴向导向的作用，通过在平衡板3上下方均设置弹性体5，位于下部的弹性体5起称重支撑作用，位于上部的弹性体5起弹性缓冲作用，二者结合具有有效阻尼减震，抗干扰性好，可以形成稳定的晶体称重结构，同时由于采用位移传感器7与压力表11两套称重机构，更进一步提高了称重可靠性。
【主权项】
1.一种用于高精度晶体生长称重机构的减震结构，其特征是:在机架(I)上滑动安装有支撑底座(2 )，在支撑底座(2 )的上方设有平衡板(3 )，在支撑底座(2 )的上表面固定有若干根导向杆(4)，导向杆(4)的上端为限位端，导向杆(4)的下端穿过平衡板(3)上对应的孔后固定于支撑底座(2)上，在平衡板(3)上方与下方的导向杆(4)上均套接有弹性体(5)，在平衡板(3 )的上方设有称重盘(6 )，在称重盘(6 )与平衡板(3 )上固定有若干个位移传感器(7)，在称重盘(6)上转动安装有提拉杆(8)，提拉杆(8)的下端穿过平衡板(3)与支撑底座(2)上对应的孔后伸到机架(I)的下方，在提拉杆(8)上固定有被动轮(9)，所述导向杆(4)围绕提拉杆(8)的圆周方向设置，位移传感器(7)围绕提拉杆(8)的圆周方向设置。2.如权利要求1所述的一种用于高精度晶体生长称重机构的减震结构，其特征是:在机架(I)上固定有呈左右向设置的下层导轨，在下层导轨上滑动连接有下层滑块，在下层滑块上固定有呈内外向设置的上层导轨，在上层导轨上滑动连接有上层滑块，在上层滑块上固定有所述的支撑底座(2)。3.如权利要求1所述的一种用于高精度晶体生长称重机构的减震结构，其特征是:在提拉杆(8)的顶端部安装有水冷系统(10)。4.如权利要求1所述的一种用于高精度晶体生长称重机构的减震结构，其特征是:在支撑底座(2)上固定有压力表(11)，压力表(11)的指针与平衡板(3)的下表面接触。5.如权利要求1所述的一种用于高精度晶体生长称重机构的减震结构，其特征是:所述导向杆(4)沿提拉杆(8)的圆周方向均布有3~4个。6.如权利要求1所述的一种用于高精度晶体生长称重机构的减震结构，其特征是:所述位移传感器(7)沿提拉杆(8)的圆周方向均布有2~3个。7.如权利要求1所述的一种用于高精度晶体生长称重机构的减震结构，其特征是:所述弹性体(5)为弹簧、橡胶垫、线性或非线性弹力材料。8.如权利要求1所述的一种用于高精度晶体生长称重机构的减震结构，其特征是:所述被动轮(9)为同步带轮、齿轮或者链轮，被动轮(9)设置在位于称重盘(6)上方的提拉杆(8)上。9.如权利要求8所述的一种用于高精度晶体生长称重机构的减震结构，其特征是:在所述称重盘(6 )的上表面固定有驱动电机(12 )，在驱动电机(12 )的输出轴上固定有主动轮(13),在主动轮(13)与所述被动轮(9)配合。
【专利摘要】本实用新型涉及一种用于高精度晶体生长称重机构的减震结构，在机架上滑动安装有支撑底座，在支撑底座的上方设有平衡板，在支撑底座的上表面固定有导向杆，导向杆的上端为限位端，导向杆的下端穿过平衡板上对应的孔后固定于支撑底座上，在平衡板上方与下方的导向杆上均套接有弹性体，在平衡板的上方设有称重盘，在称重盘与平衡板上固定有位移传感器，在称重盘上转动安装有提拉杆，在提拉杆上固定有被动轮。本实用新型在晶体生长过程中可使提拉杆始终保持垂直状态，不仅可以形成稳定的晶体称重结构，保证精确称重，而且该结构可有效阻尼减震、抗干扰性强，不会造成籽晶偏离热场中心，利于晶体生长。
【IPC分类】C30B29/20, C30B15/28
【公开号】CN204939655
【申请号】CN201520623333
【发明人】黄小卫, 孙晓晓, 方建东
【申请人】元亮科技有限公司
【公开日】2016年1月6日
【申请日】2015年8月18日