技术特征：
技术总结
本发明属于阻隔包装的技术领域，具体涉及一种三明治结构硅氧烷薄膜及其制备方法，所述薄膜由依次沉积在基膜上的低氧硅氧烷薄膜Ⅰ、高氧硅氧烷薄膜和低氧硅氧烷薄膜Ⅱ组成，低氧硅氧烷薄膜Ⅰ的厚度100～600nm，氧元素的原子百分数＜45％；所述高氧硅氧烷薄膜的厚度80～400nm，氧元素的原子百分数为50～66％；所述低氧硅氧烷薄膜Ⅱ的厚度100～700nm，氧元素的原子百分数＜45％；采用等离子体增强化学的气相沉积法进行制备得到。低氧硅氧烷薄膜与聚酯基膜可牢固结合，高氧硅氧烷薄膜具有对水蒸气良好的阻隔性，最外层的低氧硅氧烷薄膜与高氧含量的硅氧烷薄膜组合后具有好的柔韧性，适合于柔性包装材料领域的应用。
技术研发人员：王小军;董茂进;冯煜东;党文强;何丹;李中华
受保护的技术使用者：无锡泓瑞航天科技有限公司
技术研发日：2018.11.07
技术公布日：2019.04.12