专利名称：有色光敏组合物,和使用该组合物的彩色滤光器阵列和固态图像拾取装置的制作方法
技术领域：
本专利申请基于日本专利申请No.2008-14213(申请日为2008 年1月24日)要求巴黎公约的优先权，上述申请的全部内容引入本文作为 参考。本发明涉及一种有色光敏组合物，其可用于制造彩色滤光器阵列， 所述彩色滤光器阵列将被形成在用于使固态图像拾取装置(CCi)、 CMOS 传感器等)显色的装置上。
背景技术：
对于使固态图像拾取装置和液晶显示器装置显色的彩色滤光 器阵列来说，例如，已知这样的彩色滤光器阵列，其中红色滤光器层(R)、 绿色滤光器层(G)和蓝色滤光器层(B)在所述装置的相同面上彼此相邻地 形成。适当地设置彩色滤光器阵列的各个滤光器层(R、 G和B)的平面图 案。对于滤光器层来说，除红色(R)、绿色(G),和蓝色(B)的原色组合外， 可以使用黄色(Y)、洋红色(M)，和青色(C)的互补色的组合。彩色滤光器阵列通常通过彩色抗蚀剂(color resist)方法制造， 其中制备与相应的滤光器层相当的有色光敏组合物并且然后通过依次使
这些有色光敏组合物曝光和显影而进行图案化。作为有色光敏组合物中 所含的着色剂，颜料被广泛地使用。然而，颜料不溶于显影液中而产生 显影残余物并且具有大颗粒直径，因此导致粗糙的图像质量，并且因此 不利用形成精细图案。因此，使用染料被建议作为着色剂，其溶解于显 影液中(参见例如，日本的未经审查的专利(Kokai),公开号2002-14220)。
为了形成使用染料作为着色剂(颜料)的彩色滤光器阵列的红 色滤光器层，通常通过使用与黄色着色剂结合的红色着色剂来控制光镨 特性。例如，日本的未经审查的专利(Kokai),公开号2002-14220的实施 例描述了通过使用特定的d占吨(xanthene)型颜料作为红色着色剂和使用吡 唑啉酮偶氮(pyrazoloneazo)型颜料(C丄溶剂橙52等)以及吡咬酮偶氮型颜 料(C丄溶剂黄162)作为黄色着色剂，将红色滤光器的在535nm波长下的透射率控制到1%或以下以及将红色滤光器的在650nm波长下的透射率 控制到90%或以上。根据最近固态图像拾取装置的图案微型化的趋势，滤光器图 案的微型化变得必需。将滤光器图案微型化有效于改进彩色滤光器阵列 的光谱特性，因此减小彩色滤光器阵列本身的厚度。描述于日本的未经 审查的专利(Kokai)，公开号2002-14220中的有色光敏组合物和获自其的 彩色滤光器阵列(红色滤光器层)显示出极好的光语特性，但留有一些改进 的余地。如本文中使用的，术语"极好的光谱特性"是指这样的光谱特性， 其能够在预定的波长范围内实现足够的光的吸收和在除预定的波长范围 以外的波长范围内实现令人满意的光的透射。
发明内容
在这些情况下，已经实现了本发明并且其目的是进一步改进 彩色滤光器阵列的光谱特性并且提供能够产生这样的彩色滤光器阵列的 有色光敏组合物。本发明人已经进行了深入研究，从而实现了上述目的并且发 现通过使用由式(I)表示的偶氮化合物或其盐(以下可以缩写成"偶氮化合 物(I)",包括盐形式的那些)作为与待与红色着色剂结合使用的黄色着色 剂，可进一步改进彩色滤光器阵列的红色滤光器层的光谱特性，并且因 此已经完成了本发明。即，本发明的有色光壽文组合物具有这样的特征，其包括选自 红色着色剂，和由式(I)表示的化合物和其盐的至少一种，作为着色剂。 除着色剂外，本发明的有色光敏组合物包括光敏化合物和碱可溶性树脂。<formula>formula see original document page 5</formula>[化学式1]在式(I)中，R'-R"各自独立地是氢原子、CM。饱和脂肪族烃基 团或羧基。R、R"各自独立地是氢原子、卤素原子、C^饱和脂肪族烃基团、卣化的Cwo饱和脂肪族烃基团、d-s烷氧基、羧基、磺基(sulfo group)、 氨磺酰基团或N-取代的氨磺酰基团，并且R5-R12中的至少一个是N-取代 的氨磺酰基团。R^和R"各自独立地是氢原子、氰基、氨基曱酰基或N-取代的氨基曱酰基。如本文中使用的，"Ca.b"是指碳原子的数目为a或更 多，并且为b或更少。偶氮化合物(I)优选地是偶氮化合物，其中R、RS中的至少一 个，和119-1112中的至少一个(特别地，RS和RS中的至少一个，和W和R12 中的至少一个)是N-取代的氨磺酰基团。在偶氮化合物(I)中的N-取代的 氨磺酰基团优选地是-S02NHR's基团(其中R"是C饱和脂肪族烃基团、 被C,.s烷氧基取代的Cw。饱和脂肪族烃基团、具有6-20个碳原子的芳基、 具有7-20个碳原子的芳烷基或具有2-10个碳原子的酰基)。偶氮化合物(I)优选地是偶氮化合物，其中R^和R"中的至少 一个是氰基，或者偶氮化合物，其中R13和R"中的至少一个是 -0^^(1116)尺17基团(其中R"和R"各自独立地是氢原子、Cwo饱和脂肪族 烃基团、被C,.8烷氧基取代的Cw。饱和脂肪族烃基团、具有6-20个碳原 子的芳基、具有7-20个碳原子的芳烷基或具有2-10个碳原子的酰基)。
吨型颜料，光敏化合物优选地是肟型化合物。'， ' '当着色剂、光敏化合物和碱可溶性树脂的总量优选地是100
质量份时，着色剂的含量优选地是5-80质量份；光敏化合物的含量优选
地是0.001-50质量份；和碱可溶性树脂的含量优选地是l-75质量份。本
发明的有色光敏组合物可以进一步包括固化剂。本发明还提供一种通过使用有色光敏组合物而形成的彩色滤
光器阵列，和各自包括彩色滤光器阵列的固态图像拾取装置和照相机系统。根据本发明，因为红色着色剂与偶氮化合物(I)组合使用，进 一步改进了由有色光敏组合物形成的彩色滤光器阵列(红色滤光器层)的 光语特性。
图i是显示ccd图像传感器的实例的部分放大示意剖视图。
图2是显示用于制造图1的图像传感器的方法的第一视图。
6图3是显示用于制造图1的图像传感器的方法的第二视图。 图4是显示用于制造图1的图像传感器的方法的第三视图。
图5是显示用于制造图1的图像传感器的方法的第四视图。 图6是显示用于制造图1的图像传感器的方法的第五视图。 图7是显示用于制造图1的图像传感器的方法的第六视图。 图8是显示照相机系统的实例的方框图。
图9是显示实施例1和对比例1的滤光器的波长-透射率谱的曲线图。
具体实施例方式如式(I)表示的，用于本发明的光敏组合物的偶氮化合物(I)是 吡口定酮双偶氮型颜料，其具有这样的结构，其中吡啶酮环通过两个偶氮 基键合至联苯骨架(除由式(I)表示的烯醇类型的一种外，吡啶酮环部分还 包括酮类型的一种)。相比之下，描述于日本的未经审查的专利(Kokai),
发明者前田兼作, 名取太知, 宫芳子, 藤田拓麻 申请人:住友化学株式会社;索尼株式会社