专利名称：糊料涂敷装置以及糊料涂敷方法
技术领域：
本发明涉及在涂敷对象物上涂敷糊料的糊料涂敷装置以及糊料涂敷方法。
背景技术：
糊料涂敷装置用于制造液晶显示面板等各种装置。该糊料涂敷装置具备对涂敷对 象物排出糊料的涂敷头，使该涂敷头和涂敷对象物相对移动的同时，在涂敷对象物上涂敷 糊料，描绘规定的涂敷图形(糊料图形)。此时，就糊料涂敷装置而言，为了得到均勻的糊料涂敷量，测定作为涂敷对象物的 基板的表面高度，基于该测定值使涂敷头的喷嘴上下移动，将描绘中的涂敷头的喷嘴前端 与基板的表面的距离维持为一定(例如，参照专利文献1 日本特开2007-152261号公报)。这里，在涂敷图形具有拐角部(弯曲部)的场合，有使在该拐角部的涂敷速度相比 直线部的涂敷速度为低速的情况。此时，为了将糊料涂敷量保持为一定，进行如下控制与 在向拐角部进入时使涂敷速度降低(减速)相符地使涂敷头的排出压力下降，然后，与从拐 角离开部时使涂敷速度上升(加速)相符地进行使涂敷头的排出压力上升，调整涂敷头的 糊料排出量。此外，涂敷头由于利用供给气体的压力从喷嘴排出糊料，因此为了使排出压力变 化，利用电-气调压阀调整该供给气体的流量。涂敷头的糊料排出量与之相应地会发生变 化。然而，如上所述，在与拐角部的涂敷速度的变化相符地进行变更涂敷头的排出压 力即供给气体的流量的控制的场合，由于气体的压缩性，由电-气调压阀进行的调整压力 作为排出压力直到作用于糊料为止的应答性较低，因此难以高精度地控制糊料涂敷量，导 致发生糊料涂敷量的不均。另外，在使涂敷速度的减速、加速与排出压力的应答性低相符的场合，在拐角部的 入口前和出口后额外地需要加减速距离，由于该加减速距离由电-气调压阀的应答性或排 出压力的应答性来决定，因此，若涂敷速度上升，则加减速距离变长，其结果，导致糊料涂敷 时间变长。
发明内容
本发明是鉴于上述问题而提出的方案，其目的在于提供一种能够抑制糊料涂敷量 的不均的发生并且能够缩短糊料涂敷时间的糊料涂敷装置及糊料涂敷方法。本发明的实施方式的第一特征是在糊料涂敷装置中，具备放置涂敷对象物的载 物台；排出糊料的喷嘴；对使糊料从喷嘴排出的排出压力进行调整的调整部；使载物台和 喷嘴在载物台的面方向及与该面方向交叉的方向相对移动的移动机构；以及控制部，控制 调整部及移动机构，以使载物台和喷嘴在面方向相对移动，对载物台上的涂敷对象物将糊 料描绘成如下图形，该图形具有第一直线部、与该第一直线部连续的拐角部、和与该拐角部 连续的第二直线部，控制部在图形的描绘中对调整部及移动机构在下述场合进行如下控
4制在喷嘴相对于载物台上的涂敷对象物的相对位置从第一直线部进入拐角部的场合使载 物台和喷嘴在面方向的相对速度下降，降低排出压力，并且使载物台上的涂敷对象物和喷 嘴的分离距离变窄，在喷嘴相对于载物台上的涂敷对象物的相对位置从拐角部向第二直线 部出发的场合使载物台和喷嘴在面方向的相对速度上升，提高排出压力，并且使载物台上 的涂敷对象物和喷嘴的分离距离扩大。本发明的实施方式的第二特征是糊料涂敷方法，使用放置涂敷对象物的载物台、 排出糊料的喷嘴、对使糊料从喷嘴排出的排出压力进行调整的调整部、以及使载物台和喷 嘴在载物台的面方向及与该面方向交叉的方向相对移动的移动机构，使载物台和喷嘴在面 方向相对移动，对载物台上的涂敷对象物将糊料描绘成如下图形，该图形具有第一直线部、 与该第一直线部连续的拐角部、和与该拐角部连续的第二直线部，在图形的描绘中对调整 部及移动机构在下述场合进行如下控制在喷嘴相对于载物台上的涂敷对象物的相对位 置从第一直线部进入拐角部的场合使载物台和喷嘴在面方向的相对速度下降，降低排出压 力，并且使载物台上的涂敷对象物和喷嘴的分离距离变窄，在喷嘴相对于载物台上的涂敷 对象物的相对位置从拐角部向第二直线部出发的场合使载物台和喷嘴在面方向的相对速 度上升，提高排出压力，并且使载物台上的涂敷对象物和喷嘴的分离距离扩大。本发明的效果如下。根据本发明，能够抑制糊料涂敷量的不均的发生并且能够缩短糊料涂敷时间。
图1是表示本发明的第一实施方式的糊料涂敷装置的概略结构的模式图。图2是用于说明图1所示的糊料涂敷装置所涂敷的糊料的涂敷图形的一个例子的 说明图。图3是用于说明涂敷图2所示的涂敷图形的场合的涂敷处理的说明图。图4是用于说明涂敷图2所示的涂敷图形的场合的涂敷路径的说明图。图中1-糊料涂敷装置，2-载物台，3、5_移动机构(载物台移动机构、头移动机构)， 4b-喷嘴，8-调整部，9-控制部，K-涂敷对象物(基板)。
具体实施例方式参照附图对本发明的实施方式进行说明。如图1所示，本发明的实施方式的糊料涂敷装置1具备以水平状态(图1中沿着 X轴方向和与之正交的Y轴方向的状态)放置作为涂敷对象物的基板K的载物台2 ；保持该 载物台2并使其在X轴方向及Y轴方向移动的载物台移动机构3 ；对载物台2上的基板K涂 敷密封剂等糊料(例如具有密封性及粘接性的糊料)的涂敷头4 ；使该涂敷头4在Z轴方 向移动的头移动机构5 ；测定与载物台2上的基板K的距离的测距仪6 ；对涂敷头4供给气 体的气体供给部7 ；调整气体的供给压力(气体的流量)的调整部8 ；以及控制各部的控制 部9。载物台2是放置玻璃基板等基板K的工作台，设置在载物台移动机构3的上面。该 载物台2具备例如吸附基板K的吸附机构，由该吸附机构将基板K固定在载物台2的放置面上进行保持。而且，作为吸附机构，使用例如空气吸附机构等。载物台移动机构3具有X轴移动机构及Y轴移动机构等，是在X轴方向及Y轴方 向上引导载物台2使其移动的移动机构。而且，作为X轴移动机构或Y轴移动机构，例如使 用以电动机为驱动源的进给丝杠移动机构或以直线电动机为驱动源的直线电动机移动机 构等。涂敷头4具有作为容纳糊料的容器的注射器4a、和排出容纳在该注射器4a中的糊 料的喷嘴4b。该涂敷头4通过气体供给管等的配管7a与气体供给部7连接。利用供给到 注射器4a内的气体将该注射器4a内的糊料从喷嘴4b排出。头移动机构5具有Z轴移动机构，是在Z轴方向引导涂敷头4使其移动的移动机 构。该头移动机构5由支撑部件(未图示)支撑，在与基板K的涂敷面正交的Z轴方向可 移动地支撑涂敷头4，使其在Z轴方向相对于载物台2上的基板K接近或离开。还有，作为 头移动机构5，例如使用以伺服电动机为驱动源的进给丝杆机构或以直线电动机为驱动源 的移动机构等。测距仪6与涂敷头4 一体地设置，是测定从自身至载物台2上的基板K的表面的 距离的测定器。由该测距仪6测定的测定值用于控制部9，求出涂敷头4的喷嘴4b的前端 与基板2上的基板K的分离距离(间隙)。还有，作为测距仪6，例如使用激光位移计等。气体供给部7是贮存洁净干燥空气(CDA)或氮气(N2)等气体(例如压缩气体) 的贮存部。该气体供给部7通过气体供给管等的配管7a与涂敷头4的注射器4a连接，对 该注射器4a内供给气体。调整部8设于配管7a的路径中途，是按照控制部9的控制变更在该配管7a内流 动的气体的流量，调整涂敷头4的排出压力的调整部。作为该调整部8例如使用电_气调 压阀等。还有，所谓涂敷头4的排出压力是用于从涂敷头4的喷嘴4b排出糊料的压力。控制部9具备集中控制各部的微机、存储各种程序和各种信息等的存储部、以及 接受来自操作者的输入操作的操作部等。该控制部9与各部电连接，基于存储在存储部中 的各种程序和各种信息等控制各部的动作。在存储部中存储有包含涂敷图形和涂敷条件等的涂敷信息。涂敷条件是涂敷速度 和排出压力、间隙等的设定条件信息。这种涂敷信息通过对操作部的输入操作和数据通信 或可携带的存储装置的介质预先存储在存储部。还有，作为存储部使用存储器或硬盘驱动 器(HDD)等。以下对上述糊料涂敷装置1进行的涂敷动作进行详细说明。在此，作为糊料涂敷 图形(糊料图形)的一个例子，如图2所示，对以矩形的封闭环形描绘一个涂敷图形P的场 合进行说明。糊料涂敷装置1沿着载物台2上的基板K的周边缘部例如顺时针地以线状涂敷糊 料，描绘矩形封闭环形的涂敷图形P。在矩形封闭环形的涂敷图形P上存在四个直线部A及 四个拐角部B。而且，基板K上的涂敷位置的始点和终点为同一位置。首先，控制部9在糊料涂敷之前利用摄像机等对基板K上的对准标记(未图示) 进行摄像，通过图像识别来检测该位置，基于该位置指定在基板K的表面上涂敷糊料的位 置(涂敷位置)。然后，控制部9基于涂敷信息和各种程序控制载物台移动机构3和头移动机构5、调整部8，使涂敷头4的喷嘴4b和载物台2上的基板K基于上述指定的涂敷位置在基板K 的面方向上相对移动的同时，使糊料从涂敷头4的喷嘴4b的前端排出，从而在载物台2上 的基板K上描绘矩形封闭环形的涂敷图形。此时，控制部9控制载物台移动机构3，调整载物台2的移动速度即涂敷速度(载 物台2和涂敷头4之间的相对速度)，并且，控制调整部8，调整涂敷头4的排出压力。再有， 控制部9控制头移动机构5，调整涂敷头4的喷嘴4b的前端和载物台2上的基板K之间的 分离距离(间隙)。调整该分离距离时，控制部9利用由测距仪6测定的距离依次求出涂敷头4的喷 嘴4b的前端和载物台2上的基板K的分离距离，基于求出来的分离距离控制头移动机构5， 使涂敷头4上下移动。特别是，在涂敷图形P的直线部A，为了使涂敷在基板K上的糊料的 涂敷量均勻，将涂敷头4的喷嘴4b的前端和载物台2上的基板K的分离距离维持为存储在 存储部中的间隙的适当值。另一方面，在涂敷图形P的拐角部B，使涂敷头4的喷嘴4b的前 端和载物台2上的基板K的分离距离不为一定而有意变化。如图3所示，就涂敷速度而言，在涂敷图形P的直线部A中是糊料涂敷量为均勻的 适当值(第一涂敷速度vl)且为一定，在涂敷图形P的拐角部B，从拐角部B的入口 bl (参 照图4)以预先设定的减速度(负加速度)下降，经过规定时间tl后，是规定值(第二涂敷 速度v2)且为一定，从拐角部B的出口部b2(参照图4)以预先设定的加速度(正加速度) 上升，经过规定时间tl后，返回到上述适当值(第一涂敷速度vl)且保持为一定。关于该涂敷速度，直线部A的适当值(第一涂敷速度vl)为了缩短糊料涂敷时间， 是载物台移动机构3允许的最高涂敷速度。另外，拐角部B的规定值(第二涂敷速度v2) 是根据经验或实验得到的理想涂敷速度(例如，涂敷图形P的线宽和厚度等不显著变化的 速度)。而且，为了缩短糊料涂敷时间，理想的是尽量缩短规定时间tl，但该规定时间tl依 赖于载物台2的加减速度即载物台移动机构3的电动机性能。按照这种涂敷速度的变化调整给与调整部的排出压力的控制值。该排出压力的控 制值在涂敷图形P的直线部A中是糊料涂敷量为均勻的适当值(第一排出压力Pl)且为一 定，在涂敷图形P的拐角部B中，在拐角部B的入口 bl(参照图4) 一口气下降到规定值(第 二排出压力P2)并为一定，在拐角部B的出口 b2(参照图4) 一口气上升到上述适当值(第 一排出压力Pl)并为一定。关于该排出压力的控制值，就上述直线部A的适当值(第一排出压力pi)而言，每 单位时间的糊料排出量基于应涂敷在基板K上的每单位时间的糊料涂敷量及上述直线部A 的涂敷速度(最高速度第一涂敷速度)决定，是根据该糊料排出量求出的控制值。另外， 拐角部B的规定值(第二排出压力p2)是由按照上述拐角部B的涂敷速度(第二涂敷速度 v2)理论性得到的糊料排出量(例如是涂敷图形P的线宽和厚度等不显著变化的糊料涂敷 量，优选在直线A和拐角部B涂敷量为均勻的排出量)求出的控制值。虽然如上所述地排出压力的控制值改变，但就排出压力的实际值(作用于注射器 4a内的糊料的气体压力)而言，在涂敷图形P的拐角部B的入口 bl(参照图4)，排出压力 的控制值从由第一排出压力Pl转换到第二排出压力P2的时刻到拐角部B的出口 b2 (参照 图4)，从第一排出压力pi逐渐下降到第二排出压力p2。接着，在拐角部B的出口部b2，排 出压力的控制值从由第二排出压力P2转换到第一排出压力pi的时刻逐渐上升到第一排出压力pl，经过规定时间tl+t2后，返回到适当值(第一排出压力pi)并为一定。该实际值的 变化根据经验或实验得到。而且，在这里，在拐角部B的出口 b2排出压力的实际值到达第 二排出压力P2，但是由于排出压力的应答性的好坏，该同步有先有后。即、如果排出压力的 应答性良好，则在到达拐角部B的出口 b2前，排出压力的实际值到达第二排出压力p2，如果 排出压力的应答性不好，即使在到达了拐角部B的出口 b2的时刻，排出压力的实际值也达 不到第二排出压力P2。这种现象是由于涂敷头4的实际排出压力因应答延迟而逐渐地变化。S卩、在降低 涂敷头4的排出压力的场合，由调整部8降低供给气体的压力(流量)，降低涂敷头4的注 射器4a内的气压。另外，在提高涂敷头4的排出压力的场合，由调整部8提高供给气体的 压力(流量)，提高涂敷头4的注射器4a内的气压。此时，由于气体的压缩性产生应答延 迟，因此按照涂敷速度仅控制排出压力，难以将糊料涂敷量维持为一定。于是，还按照涂敷速度的变化和排出压力的变化调整涂敷头4的喷嘴4b的前端和 载物台2上的基板K的分离距离(间隙)。该间隙在涂敷图形P的直线部A是糊料涂敷量为 均勻的适当值(第一间隙gl)且为一定，在涂敷图形P的拐角部B在从拐角部B的入口 bl 至经过规定时间tl为止的期间下降到第二间隙g2并在经过规定时间tl后在又经过规定 时间t2为止的期间逐渐上升到第三间隙g3。再有，在从经过规定时间t2后的拐角部B的 出口 b2至经过规定时间tl为止的期间上升到比适当值(第一间隙gl)大的第四间隙g4， 在经过规定时间tl后在又经过规定时间t2为止的期间逐渐下降到第一间隙gl，经过了规 定时间t2以后，返回到适当值(第一间隙)且为一定。关于该间隙，直线部A的适当值(第一间隙gl)是按照上述直线部A的涂敷速度 (最高速度第一涂敷速度Vl)及第一排出压力Pl (在第一排出压力Pl下的糊料排出量) 决定的间隙值。另外，在拐角部B的间隙(第二至第四间隙g2 g4)按照在上述拐角部B 的涂敷速度(第二涂敷速度v2)及排出压力的实际值(实际的糊料排出量)调整成拐角部 B的糊料涂敷量与直线部A的糊料涂敷量相同。具体地说，在拐角部B的入口 bl开始从第一涂敷速度vl向第二涂敷速度v2的减 速，排出压力的控制值从第一排出压力Pl转换为第二排出压力P2。并且在经过规定时间 tl后，涂敷速度达到第二涂敷速度v2，但排出压力的实际值未达到第二排出压力p2，处于 比第一排出压力Pl略低的排出压力。因此糊料从喷嘴4b的排出量比希望的排出量多排出 压力的实际值比第二排出压力P2高的量，保持该状态会导致涂敷到基板K上的糊料的涂敷 量比作为目标的涂敷量多。于是，将间隙减小到第二间隙g2，增加糊料从喷嘴4b的排出阻 力，抵消排出压力的实际值比第二排出压力P2高引起的排出量的过剩量。即、若增加排出 阻力，则糊料从喷嘴4b的排出量减少，因而即使排出压力的实际值比第二排出压力p2高， 通过使间隙为第二间隙g2，也能够使糊料的排出量为希望的排出量。另外，从达到了规定时间tl的时候至经过规定时间t2为止(出口 b2)，涂敷速度 保持为第二涂敷速度v2，另一方面，排出压力的实际值朝向第二排出压力p2逐渐减少。因 此，在将间隙保持为第二间隙g2的状态原状下，伴随排出压力的实际值的减少，糊料从喷 嘴4b的排出量随时间的经过而减少，涂敷在基板K上的糊料的涂敷量逐渐减少。于是，为 了补偿伴随该排出压力的实际值的减少的糊料排出量的减少，使间隙从第二间隙g2逐渐 增加到比第二间隙g2大的第三间隙g3。这样，由于糊料从喷嘴4b的排出阻力逐渐减小，因
8此糊料的排出量逐渐增加这部分的量，可补偿伴随排出压力的实际值减少的糊料的排出量 的减少。另外，在拐角部B的出口部b2，涂敷速度开始从第二涂敷速度v2向第一涂敷速度 Vl的加速，排出压力的控制值从第二排出压力p2转换到第一排出压力pi。并且，在经过规 定时间tl后涂敷速度达到第一涂敷速度vl，但排出压力的实际值还未达到第一排出压力 pl，处于比第二排出压力P2略高的排出压力。因此，糊料从喷嘴4b的排出量比希望的排出 量少排出压力的实际值比第一排出压力Pl低的量，保持该状态则会导致涂敷在基板K上的 糊料的涂敷量变得比作为目标的涂敷量少。于是，通过使间隙增加到比第一间隙gl大的第 四间隙g4，使糊料从喷嘴4b的排出阻力减小，抵消排出压力的实际值比第一排出压力pl低 引起的排出量的不足部分，从而得到希望的排出量。从达到了规定时间tl的时候开始，涂敷速度保持为第一涂敷速度vl，另一方面， 直到又经过规定时间t2为止，排出压力的实际值朝向第一排出压力pl逐渐增加。因此，在 将间隙保持为第四间隙g4的状态原状下，伴随排出压力的实际值的增加，糊料从喷嘴4b的 排出量随时间的经过而增加，会导致涂敷在基板K上的糊料的涂敷量逐渐增加。于是，为了 抵消伴随该排出压力的实际值的增加的糊料的排出量的增加，使间隙从第四间隙g4逐渐 减小到第一间隙gl。这样，由于糊料从喷嘴4b排出的阻力逐渐增加，因此糊料的排出量逐 渐减少这部分的量，可抵消伴随排出压力的实际值的增加的糊料的排出量的增加。由此，糊料涂敷量在直线部A及拐角部B范围内维持均勻(参照图3)。这里，若着 眼于一个拐角部B，则在称为第一直线部A、与该直线部A连续的拐角部B、与该拐角部B连 续的第二直线部A的这种图形中，涂敷量维持均勻。而且，即使在其他直线部A及拐角部B 也进行与上述同样的控制。如以上所说明的那样，根据本发明的实施方式，在涂敷头4的喷嘴4b相对于载物 台2上的基板K的相对位置进入拐角部B的场合，使涂敷速度降低，降低涂敷头4排出糊料 的排出压力，并且使载物台2上的基板K与涂敷头4的喷嘴4b的分离距离(间隙)变窄， 在涂敷头4的喷嘴4b相对于载物台2上的基板K的相对位置从拐角部B出发的场合，使涂 敷速度上升，提高涂敷头4排出糊料的排出压力，并且使载物台2上的基板K与涂敷头4的 喷嘴4b的分离距离扩大，从而排出压力按照拐角部B的涂敷速度改变，并且载物台2上的 基板K与涂敷头4的喷嘴4b的分离距离也改变。这样，为了将糊料涂敷量保持为一定，除了与拐角部B的涂敷速度相符地降低涂 敷头4的排出压力的控制以外，还进行间隙控制，因此控制糊料的涂敷量变得容易，排出压 力的应答性低引起的糊料涂敷量的不均得到抑制，因此能够可靠防止糊料涂敷量的不均的 发生。另外，可以不需要或缩短因排出压力的应答性低而在拐角部B的入口 bl前和出口 b2 后所必需的加减速距离，即使提高涂敷速度的场合，也可抑制加减速距离变长，因此能够缩 短糊料涂敷时间。另外，涂敷速度在拐角部B降低并成为一定(第二涂敷速度v2)的场合，逐渐扩大 载物台2上的基板K与涂敷头4的喷嘴4b的分离距离(间隙)并在离开拐角部B后的直 线部A提高涂敷速度并成为一定(第一涂敷速度vl)的场合，通过使载物台2上的基板K 与涂敷头4的喷嘴4b的分离距离逐渐变窄，可进行更加细致的排出量的控制，可以高精度 地调整糊料涂敷量，从而能够更加可靠地抑制糊料涂敷量的不均的发生。
9
此外，本发明并不限于上述的实施方式，在不脱离其要旨的范围内可以进行各种 变更。例如，还可以从上述实施方式所示的全部构成要素去除几个构成要素。并且，还可以 适当组合贯穿于不同实施方式中的构成要素。在上述的实施方式中，通过使涂敷头4的注射器4a内的气压上升或下降，从而进 行从该涂敷头4的喷嘴4b的糊料排出，但是并不限于此，还可以在注射器4a内设置机构例 如螺旋状的机构，通过使该机构工作从而将糊料向喷嘴4b推出并从该喷嘴4b排出。即使 在该场合也存在排出压力的应答性因该机构而不高的情况，因此优选进行如上述实施方式 那样的控制。此外，螺旋状的机构的旋转量由控制部9控制而可调整糊料的排出量，因此螺 旋状的机构作为调整部8起作用。另外，在上述实施方式中，在涂敷图形P的拐角部按照涂敷速度的变化使间隙直 线下降或上升，但是并不限于此，例如还可以按照涂敷速度的变化而使间隙阶段性下降或 增加。另外，在规定时间t2按照排出压力的实际值使间隙直线下降或上升，但是并不限 于此，例如还可以按照排出压力的实际值的变化使间隙阶段性下降或增加。总之，只要使间 隙下降或增加以便抵消排出压力的实际值的变化引起的排出量的增加或减少部分即可。另外，在上述实施方式中，作为使载物台2移动并使载物台2上的基板K与涂敷头 4的喷嘴4b相对移动的结构进行了说明，但是并不限于此，例如还可以使喷嘴4b沿水平方 向(X方向及Y方向)移动，而且也可以使喷嘴4b在X方向及Y方向的任一方向移动，使载 物台2在X方向及Y方向的另一方向移动。另外，在上述实施方式中，对在封闭环状的图形内以均勻的涂敷量涂敷糊料的情 况进行了说明，但是并不限于此，还可以按照设计的需要在图形的中途增减涂敷量。
权利要求
一种糊料涂敷装置，其特征在于，具备放置涂敷对象物的载物台；排出糊料的喷嘴；对使上述糊料从上述喷嘴排出的排出压力进行调整的调整部；使上述载物台和上述喷嘴在上述载物台的面方向及与该面方向交叉的方向相对移动的移动机构；以及控制部，控制上述调整部及上述移动机构，以使上述载物台和上述喷嘴在上述面方向相对移动，对上述载物台上的上述涂敷对象物将上述糊料描绘成如下图形，该图形具有第一直线部、与该第一直线部连续的拐角部、和与该拐角部连续的第二直线部，上述控制部在上述图形的描绘中对上述调整部及上述移动机构在下述场合进行如下控制在上述喷嘴相对于上述载物台上的上述涂敷对象物的相对位置从上述第一直线部进入上述拐角部的场合使上述载物台和上述喷嘴在上述面方向的相对速度下降，降低上述排出压力，并且使上述载物台上的上述涂敷对象物和上述喷嘴的分离距离变窄，在上述喷嘴相对于上述载物台上的上述涂敷对象物的相对位置从上述拐角部向上述第二直线部出发的场合使上述载物台和上述喷嘴在上述面方向的相对速度上升，提高上述排出压力，并且使上述载物台上的上述涂敷对象物和上述喷嘴的分离距离扩大。
2.根据权利要求1所述的糊料涂敷装置，其特征在于， 上述控制部对上述调整部及上述移动机构进行如下控制在上述拐角部进行以使上述载物台和上述喷嘴在上述面方向的相对速度降低的速度 为一定的控制，并且在该控制中进行按照实际的排出压力相对于上述排出压力的减少的应 答延迟使上述载物台上的上述涂敷对象物和上述喷嘴的分离距离逐渐扩大的控制。
3.根据权利要求1所述的糊料涂敷装置，其特征在于， 上述控制部对上述调整部及上述移动机构进行如下控制在上述喷嘴的相对位置从上述拐角向上述第二直线部出发的场合进行以使上述载物 台和上述涂敷头在上述面方向的相对速度上升的速度为一定的控制，并且在该控制中还进 行按照实际的排出压力相对于上述排出压力的上升的应答延迟使上述载物台上的上述涂 敷对象物和上述喷嘴的分离距离逐渐变窄的控制。
4.一种糊料涂敷方法，使用放置涂敷对象物的载物台、排出糊料的喷嘴、对使上述糊料 从上述喷嘴排出的排出压力进行调整的调整部、以及使上述载物台和上述喷嘴在上述载物 台的面方向及与该面方向交叉的方向相对移动的移动机构，使上述载物台和上述喷嘴在上 述面方向相对移动，对上述载物台上的上述涂敷对象物将上述糊料描绘成如下图形，该图 形具有第一直线部、与该第一直线部连续的拐角部、和与该拐角部连续的第二直线部，上述 糊料涂敷方法的特征在于，在上述图形的描绘中对上述调整部及上述移动机构在下述场合进行如下控制 在上述喷嘴相对于上述载物台上的上述涂敷对象物的相对位置从上述第一直线部进 入上述拐角部的场合使上述载物台和上述喷嘴在上述面方向的相对速度下降，降低上述排 出压力，并且使上述载物台上的上述涂敷对象物和上述喷嘴的分离距离变窄，在上述喷嘴相对于上述载物台上的上述涂敷对象物的相对位置从上述拐角部向上述第二直线部出发的场合使上述载物台和上述喷嘴在上述面方向的相对速度上升，提高上述 排出压力，并且使上述载物台上的上述涂敷对象物和上述喷嘴的分离距离扩大。
5.根据权利要求4所述的糊料涂敷方法，其特征在于，对上述调整部及上述移动机构进行如下控制在上述拐角部进行以使上述载物台和上述喷嘴在上述面方向的相对速度降低的速度 为一定的控制，并且在该控制中进行按照实际的排出压力相对于上述排出压力的减少的应 答延迟使上述载物台上的上述涂敷对象物和上述喷嘴的分离距离逐渐扩大的控制。
6.根据权利要求5所述的糊料涂敷方法，其特征在于，对上述调整部及上述移动机构进行如下控制在上述喷嘴的相对位置从上述拐角向上述第二直线部出发的场合进行以使上述载物 台和上述涂敷头在上述面方向的相对速度上升的速度为一定的控制，并且在该控制中还 进 行按照实际的排出压力相对于上述排出压力的上升的应答延迟使上述载物台上的上述涂 敷对象物和上述喷嘴的分离距离逐渐变窄的控制。
全文摘要
本发明涉及糊料涂敷装置及糊料涂敷方法，抑制糊料涂敷量的不均的发生并且缩短糊料涂敷时间。控制部(9)在图形的描绘中对调整部(8)及移动机构(3、5)在下述场合进行如下控制在喷嘴(4b)相对于载物台(2)上的涂敷对象物(K)的相对位置从第一直线部进入拐角部的场合使载物台(2)和喷嘴(4b)在面方向的相对速度下降，降低排出压力，并且使载物台(2)上的涂敷对象物(K)和喷嘴(4b)的分离距离变窄，在喷嘴(4b)相对于载物台(2)上的涂敷对象物(K)的相对位置从拐角部向第二直线部出发的场合使载物台(2)和喷嘴(4b)在面方向的相对速度上升，提高排出压力，并且使载物台上的涂敷对象物和喷嘴的分离距离扩大。
文档编号B05B12/00GK101927223SQ201010211668
公开日2010年12月29日 申请日期2010年6月22日 优先权日2009年6月23日
发明者冈部由孝 申请人:芝浦机械电子装置股份有限公司