技术总结
本发明提供溶解稳定性优异、且能够以高研磨速率进行研磨加工的研磨组合物、和使用该研磨组合物的研磨方法。于是，提供了一种将由选自蓝宝石、碳化硅、氮化镓、氮化铝中的1种以上的材料构成的基板使用含有以下(A)～(E)成分的研磨组合物进行研磨的研磨方法，(A)成分：选自金刚石、氮化硼、碳化硼和碳化硅中的1种以上的磨粒，(B)成分：碳原子数为10以上22以下的脂肪酸，(C)成分：非离子性表面活性剂，(D)成分：有机胺化合物，(E)成分：分散介质。其中，(A)成分的磨粒的平均粒径大于1.0μm且为10.0μm以下，(C)成分的含量为0.30～10质量％，(D)成分相对于(B)成分的摩尔比(D)/(B)为45/55～90/10。
技术研发人员：藤本广志
受保护的技术使用者：昭和电工株式会社
文档号码：201610291270
技术研发日：2016.05.05
技术公布日：2016.11.30