专利名称：排气吸盘的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种吸盘。特别涉及一种排气吸盘，尤其适用于提取、放置及运送片(薄片)状物体。
背景技术：
晶体片的生产、处理和使用中，或生产太阳能电池的过程中，都需要取送片子。而且这些晶体片的厚度通常都在0.5mm以下。比如用作太阳能电池的硅片的厚度通常是0.28mm、0.20mm，甚至是0.09mm。对于这么薄的硅片，而且硅片本身又是粹质，在取送过程中非常容易破碎。在先技术中，取送这些硅片通常使用真空吸盘，(或称排气吸盘)。所述的真空吸盘是在吸盘上设有吸头(或称吸气头)，通过真气泵的排气，使吸头内的空气排出、形成低气压后而吸住晶体片。有的是一个吸头，有的为了加强吸力的强度和均匀性，设有四个吸头。还有的在吸盘上刻有直线凹槽，或螺旋形凹槽。在凹槽内均匀分布有多个吸气孔(或称排气孔)。所述的带有吸头的吸盘其吸头高出吸盘表面，带有凹槽内吸气孔的吸盘其吸气孔是凹陷的。总之吸盘的表面不是平面，不光滑。这种吸盘在取送薄的晶体片时，经常会使片子变形，甚至破损。
发明内容
本实用新型的目的是为了克服上述在先技术中的缺陷，提供一种排气吸盘。取送大而薄，质粹容易碎损的片体时，片体平贴在吸附表面上，不仅吸附力强而均匀，同时不容易使片体变形和破损。
本实用新型为了达到上述的目的，所采取的技术方案是它包括分布有排气孔的吸附表面是光滑平面的吸盘，与吸盘上排气孔相连通的带有气阀的连接到真空泵上的排气管道。
如上述本实用新型的结构，当用本实用新型的吸盘取送片体时，被吸附的片体是平贴在吸附表面上。因为，吸附表面是光滑的平面，没有凹凸不平的突起或棱角，因此，平贴在吸附表面的片体不会变形，而且吸附力强而均匀，对片体不会有损伤。
图1是本实用新型排气吸盘的一种实施例的结构示意图；图2是本实用新型排气吸盘的另一种实施例的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和实施例进一步说明本实用新型排气吸盘的结构。
图1是本实用新型排气吸盘的一个实施例的结构。如图1所示。本实用新型的排气吸盘包括吸盘1，均匀分布在吸盘1上的排气孔102，吸盘1上的光滑平面的吸附表面101，连接到真空泵7上的带有气阀6的排气管道5；为了各个排气孔102的排气强度和速度均匀，还包括与排气管道5相连通的均匀分布的排气支管4和位于排气支管4与分布在吸盘1上的排气孔102之间的真空腔2。
如图1的结构，当取送片体时，将吸盘1的吸附表面101贴在片体上，起动真空泵7，打开气阀6，真空泵7通过排气管道5和均匀分布的排气支管4均匀地排出真空腔2内的气体，同时与真空腔2相连通的各个排气孔102内的气体也同时均匀地被排出。至此使片体被牢牢的吸附在吸盘1的吸附表面101上。这时被吸附的片体就可以随着吸盘被随意地拿来拿去。
图2是本实用新型排气吸盘的另一个实施例的结构。如图2所示。吸盘1是由吸附表面101平滑的多孔陶瓷103构成的吸盘，或者吸盘1是由吸附表面101平滑的内部为蜂窝状结构的材料103所构成的吸盘。
为了使吸附表面101上各部分的排气速度和吸附力均匀，位于吸盘1与排气管道5之间有一真空腔2。当起动真空泵7，打开气阀6，通过排气管道5，将真空腔2内的气体排出，存留在多孔陶瓷内部孔里的气体，或者存留在蜂窝状结构内部里的气体也随之被排出。形成吸附表面内外的压差，从而使片体被吸附在吸盘上。片体被均匀的吸附力吸附在这平滑的吸附表面上不会变形，不会被损伤。
权利要求1.一种排气吸盘，包括吸盘，分布在吸盘上的排气孔，与排气孔连通的带有气阀的连接到真空泵上的排气管道，其特征在于分布有排气孔的吸盘的吸附表面是光滑的平面。
2.根据权利要求1所述的排气吸盘，其特征在于所述的分布有排气孔的吸盘是吸附表面为光滑平面和均匀分布有排气孔的吸盘。
3.根据权利要求1所述的排气吸盘，其特征在于还包括与排气管道相连通的均匀分布的排气支管，位于排气支管与分布在吸盘上的排气孔之间的真空腔。
4.根据权利要求1所述的排气吸盘，其特征在于所述的分布有排气孔的吸盘是由吸附表面为光滑平面的多孔陶瓷构成的吸盘，或者是由吸附表面为光滑平面的内部为蜂窝状结构的材料所构成的吸盘。
5.根据权利要求1或4所述的排气吸盘，其特征在于包括位于排气管道与多孔陶瓷构成的吸盘之间，或与内部为蜂窝状结构的材料所构成的吸盘之间的真空腔。
专利摘要一种排气吸盘，包括吸附表面是光滑平面的分布有排气孔的吸盘，与排气孔连通的带有气阀的连接到真空泵上的排气管道。特别适用于提取、置放和运送薄片状物体。在取送片体时，被吸附的片体平贴在吸盘的吸附表面上，因为吸附表面为光滑平面，所以片体不会变形，而且吸附力强而均匀，对片体无损伤。
文档编号B65G47/91GK2892771SQ20052004817
公开日2007年4月25日 申请日期2005年12月29日 优先权日2005年12月29日
发明者袁建中 申请人:袁建中