用于提供平板显示器环境隔离的方法和设备的制作方法

专利名称：：用于提供平板显示器环境隔离的方法和设备的制作方法
技术领域：
：本文所讨论的本发明大体公开了一种用于储存和搬运工件的隔离系统。更具体地，提供一种当工件在加工工厂中四处移动时保护工件的容器。
背景技术：
：因为在不断进步，所以提高用于制造平板显示器(FPD)的液晶显示器的质量和制造产量是不断挑战的过程。大的宽屏电视机已经变得越来越受欢迎使得面板尺寸显著增大，增加这种挑战。为了获得最高品质的图像，FPD制造商必需要测试所有的面板同时縮短测试时间并提高质量和产量。颗粒物污染所引起的对玻璃面板的损坏使得大面积FPD的产量不够高。随着面板尺寸增大而式样的维度减少，这个问题已经变得更加严重。为了提高平板显示器在加工工厂内的产量和质量，本文所描述的实施方式提供了一种构造成隔离和保护封装好的FPD免受颗粒物污染的线盒。
发明内容—般地说，本发明通过提供用于输送大面积基板的方法和设备来满足这些需求。应当了解的是，本发明能够以包括方法、系统或设备在内的多种方式实现。下面描述本发明的几个创造性的实施方式。在一个实施方式中，提供了一种用于支撑加工用的基板的容器。该容器包括底部、顶部及连接底部和顶部的侧板。支撑结构设置在容器中。该支撑结构构造成支撑容器内的基板。支撑结构具有横贯容器宽度延伸的多行多个拉伸构件。每行的多个拉伸构件构造成支撑一个基板，其中，其中一个侧板包括使得能够进入容器的可移动柔性膜。用于柔性膜的支撑结构包括用于柔性膜与加工工具的接收模块的同步移动的同步机构。在另一个实施方式中，提供了一种用于运输基板的系统。该系统包括用于支撑加工用的基板的容器。容器包括底部、顶部及连接底部和顶部的侧板。容器进一步包括设置在容器中的支撑结构。支撑结构构造成支撑容器内的基板。支撑结构具有横贯容器宽度延伸的多行多个拉伸构件。每行的多个拉伸构件构造成支撑一个基板，其中，其中一个侧板包括使得能够进入容器的可移动柔性膜。该系统包括构造成经由通过柔性膜获得的通路达到基板的基板传送站。在又一个实施方式中，提供了一种用于支撑半导体加工基板的容器。该容器包括底部、顶部及连接底部和顶部的侧板。容器中设置有支撑结构。支撑机构构造成支撑容器内的基板。支撑结构具有由横贯容器宽度延伸的多个拉伸构件构造而成的成行和列布置的阵列。每行的多个拉伸构件构造成支撑一个基板，其中，其中一个侧板包括使得能够进入容器的可移动柔性膜。该容器包括横贯其中一个侧板的边缘延伸的旋转构件，该旋转构件在移动过程中引导柔性膜。从以下结合作为本发明的原理的示例示出的附图进行的详细描述中，本发明的其它方面和优点将变得清楚明白。从以下结合作为本发明的原理的示例示出的附图进行的详细描述中，本发明的各个方面将变得清楚明白。图1是示出了根据本发明一个实施方式的平板显示器制造商用的示例性布局的高视角图的简化示意图；图2是示出了根据本发明一个实施方式的可使用本文描述的容器的制造环境的立体图的简化示意图；图3是示出根据本发明一个实施方式的具有外壳的容器的简化示意图；图4是示出根据本发明一个实施方式的图3的容器去除盖的简化示意图；图5是根据本发明一个实施方式的图4的不带盖的容器的后视图；图6是示出根据本发明一个实施方式的又称为工具小环境(toolmini-enviroment)的盒式隔离站的简化示意图；图7示出根据本发明一个实施方式的位于盒式工作站前面的容器的简化示意图8A到8F示出根据本发明一个实施方式的位于盒式工作站和容器之间的同步门的对接(docking)和打开；图9A到9C示出根据本发明一个实施方式的用于容器的替代性实施方式的简化示意图；图IO示出容器，容器中设置有单膜门并且面板传送器末端效应器自容器底部进入；图11示出前部中具有打开的单膜门且内部具有面板传送桨叶(paddle)的容器；图12是示出根据本发明一个实施方式的用于容器的单膜门的简化示意图，其中，面板传送桨叶容置在容器内部，同时容器通过外部装置竖直上升；图13A示出具有单膜门和容置在容器内的面板传送桨叶的容器；图13B是图13A的实施方式的替代性实施方式，其中提升巻筒是独立的；图13C-1和13C-2是示出根据本发明一个实施方式的用于线盒和桨叶传送单元的支撑框架的简化示意图；图14是示出膜门中具有槽口的容器的简化示意图，其中，面板从槽口中自容器移出；图15A和15B示出具有单膜门和自容器底部进入容器的面板提升传送柱的容器；图16A到16D示出根据本发明一个实施方式的具有门切口的容器的不同立体图17A-17C是示出根据本发明一个实施方式的容器和用于外部传送机构的支撑装置的横截面视图的简化示意图；图18示出根据本发明一个实施方式的基板容器、工具装载小环境和加工工具(例如，制造工具、测量工具等)的简化示意图；图19是示出容器的一个实施方式的立体图；图20和21示出根据本发明一个实施方式的具有带槽口的门的容器；图22A和22B示出根据本发明一个实施方式的能够在关闭结束时朝容器框架拉动从而使密封间隙最小化的柔性门的一个实施方式；6图23是示出另一个实施方式中的具有柔性膜门的容器的简化示意图；图24A和24B示出根据本发明一个实施方式，竖直组件进行调整以与储存在的容器中的基板沿竖向对齐；图25A-25B示出基板传送系统的另一个实施方式。具体实施例方式本发明被描述成用于输送和/或储存是或不是在半导体制造操作中所涉及的平板显示器(FPD)的容器和系统。然而，对于本领域技术人员显而易见地是，可以在不具有这些具体细节中的某些或全部的情况下，实施本发明。在其它例子中，众所周知的加工操作没有进行详细描述，目的是不会不必要地使本发明模糊不清。本文描述的实施方式提供了一种系统，该系统为诸如平板显示器、太阳能电池等大面积基板提供了环境隔离。在一个实施方式中，提供了一种容器，又称为线盒，其具有或不具有限定在容器内的在空腔内提供过滤空气的送风机。该容器包括水平设置在容器内的拉伸构件，它们为多个大面积基板提供支撑。容器内的每个支撑行均包括多个拉伸构件，并且容器包括多个支撑行。在一个实施方式中，拉伸构件可以是有涂层的或没有涂层的线，或者可以是带支撑装置或条。拉伸构件为大面积基板提供支撑，并由不会脱落颗粒物并且稳定——例如，不会与被支撑的基板起反应或对被支撑的基板造成破坏——的材料构成。容器可装备有膜门(又称为柔性门)，其打开以便允许进入容器的一个或多个侧面。在一个实施方式中，柔性门可通过打开容器的一个或多个侧面而提供通路。可替代地，膜门中的槽口可索引各支撑行所在的平面，从而允许大面积基板的抽出。柔性门可打开通往容器的前部或者打开容器的前部和/或底部。因此，柔性门可以是单个元件或沿相反方向打开的两个分离的元件。如表3概要说明的，用于打开柔性门的驱动器可一体结合到容器中或容器的外部。柔性门可由任何合适的能够经受住打开和关闭功能并可弯曲的低脱落材料构成。一些示例性混合物包括诸如MYLAR的聚酯膜、诸如不锈钢箔的薄金属箔、诸如KEVLAR的织物混合物等。应当了解的是，柔性膜无需由统一的材料构成。例如，可将多个部件组合以限定柔性门。可在容器外部或内部包括传送机构。该传送机构提供通往基板通路或可将基板移出容器，使得诸如机器人等外部装置可抓住基板以便传送到其它目的地。内部传送机构可一体结合到各个容器中，同时为处置容器的各站设置了外部传送机构。实现内部和外部传送机构功能的示例性结构包括皮带、空气轴承、辊子等，这些同样在表1中概要说明。最终从容器输送大面积基板或将大面积基板输送至容器的面板搬运机器人或面板传送机构可与从拉伸构件抬高大面积基板的传送机构一起达到容器内。在另一个实施方式中，机器人可设置将大面积基板的边缘从例如抬升大面积基板的机构提供给机器人的前缘抽出装置。然后，机器人可锁扣到前缘上并借助于盒内的辊子、空气轴承等通过带有真空抓紧装置或边缘抓紧装置的前缘抽出装置将整个基板拉出。用于内部传送器框架的驱动引导装置和同步装置在表3中概要说明，并进一步在附图中示出。可通过表4中概述的不同索引机构来提供大面积基板的上下移动，这里容器可移动或固定。下面的附图提供了系统的示例性实施方式。另外，表l-4提供了描述系统和容器的不同实施方式的额外的材料和细节。图1是示出了根据本发明一个实施方式的平板显示器制造商用的示例性布局的7高视角图的简化示意图。储料器104包括多个容器106，这些容器定位成使得一个容器106供应对应的盒式工作站102。储料器104要适合容器106的移动，以便给盒式工作站102供给诸如平板显示器(FPD)的必要的大面积基板。盒式工作站102将从对应的容器106接收FPD以便将FPD递送至对应的加工工具100。一旦加工完成，盒式工作站将通过其中容置的机器人取回加工的基板并将加工的基板送回到对应的容器106。容器106构造成保护和隔离容置在其中的FPD。如下更详细地描述的，容器106以大体水平的定向储存FPD基板。容器106可以是可密封的装置，其中，采用可伸縮的柔性膜——还可称为容器门或遮板——来关闭和打开以使得能够达到容置在容器中的FPD。在一个实施方式中，柔性膜门可在辊子上伸縮以使得能够达到FPD。在另一个实施方式中，用于容器106的可伸縮柔性膜的打开与用于盒式工作站102的门的打开同步。这种同步将使颗粒物污染最小化，因为盒是对着盒式工作站102的洁净环境打开的并且当不与洁净环境流动连通时就被密封或关闭。应当了解的是，本文所描述的容器的构造使容器能够以空间有效的方式堆叠。因此，在FPD被送往其它工厂用于附加加工或有任何其它运输理由的情况下，可为了运输目的而使用这种容器。在另一个实施方式中，容器106可包括风扇和过滤器以提供它自己内部的受控小环境。容器106可使用涂层线支撑装置、薄带式支撑装置或一些其它类型的条以在其上支撑FPD，例如，其中带条是带有或没有涂层的不锈钢条。图2是示出了根据本发明一个实施方式的可使用本文描述的容器的制造环境的立体图的简化示意图。容器106支撑在运输系统110上，该运输系统110可由皮带、轮或一些其它合适的运输机构构成并置于盒式工作站102的内部或前面。盒式工作站102包括风扇/过渡器单元113并与加工工具100接合。容器106可包括风扇过滤器构造112以便提供容器内的受控最小环境。然而，应当了解的是，风扇过滤器112构造是可选择的。运输系统110包括提升机构114，以便通过不同输送区域的运输器将容器106输送到制造工厂四处。容器106包括提升点174以便帮助容器的输送/储存或帮助以下更详细描述的内部桨叶的移动。应当了解的是，图2是示例图，其提供用来对容器的一种示例性用途的提供指导。也就是说，图2的输送和运输机构不意在限制，因为可以根据应用使用替代性输送和运输机构。应当注意的是，由于被加工的FPD的大特性，容器112相对较大。图3是示出根据本发明一个实施方式的具有外壳的容器的简化示意图。容器106包括盖，其中，刚性支撑件118提供结构稳定性，目的是为了抵消受载容器的拉伸。也就是说，容器106能够保持FPD面板搁置在容器106内的拉伸构件支撑部上而不会因FPD面板的重量导致偏斜。容器106包括柔性膜门120，其能以如下描述和说明的方式打开或关闭。容器106还包括底部122，其构造成容置运输器、自动引导车辆、轨道式引导车辆和其它对接装置。图4是示出根据本发明一个实施方式的图3的容器去除/收回盖的简化示意图。容器106包括多个例如悬臂式支撑构件的面板支撑件124，它们为容置在容器中的FPD面板提供支撑。示出了处于打开位置的膜门120，其中，门驱动引导辊和带式同步机构用来打开膜门。带式同步机构包括通过皮带轮8引导或驱动的皮带6。应当了解的是，在相对侧上，存在另一个皮带/皮带轮组合。在一个实施方式中，容器106内包括进气增压室170以便分布强制进入容器内的洁净空气。图5A和5B是根据本发明一个实施方式的图4的不带盖的容器的后视图。图5A至5B示出了容器可包括洁净空气流系统。在此实施方式中，容器106包括进气增压室170、排气增压室和多个洁净空气送风机110。送风机110将外部空气吸入容器以便在容器内产生洁净空气流。图5B示出可在增压室和送风机之间放置散射屏180。送风机IIO产生进入容器的洁净气流。应当注意的是，这在容器中产生略高压的洁净空气。空气将流出由容器门形成的近似密封结构，并且可设计其它通风装置以从诸如辊子和空气轴承等污染表面扫除颗粒物。送风机面板和散射屏180之间的空间是增压室，其在空气离开增压室并进入容器之前使压力能够更均匀地分布。换句话说，"增压室出口"是流入容器内部的出口。如果给增压室分配空间，那么由于过滤器元件要处于小环境中，因此它们可以不同方式布置，也就是说，送风机将给增压容积加压，而过滤器将处于显示为散射屏的位置。在此实施方式中，过滤器将从增压室的均匀压力获益并提供无湍流的气流。可能的是，过滤器可直接附连到送风机，产生洁净但可有些湍流的空气流以节省空间，并仍为容器提供洁净的加压内部。图6是示出根据本发明一个实施方式的又称为工具小环境的盒式隔离站的简化示意图。工具小环境102包括装载端口柔性膜门，当容器以容器搬运辊抵靠工具小环境的装载端口定位时，装载端口柔性膜门可与容器的膜门同步。在另一个实施方式中，传送机构置于装载端口下方，并且容器或传送机构可移动或索引以便帮助FPD进出容器的移动。图7示出根据本发明一个实施方式的位于盒式工作站前面的容器的简化示意图。容器106搁置在盒式工作站102前方的平台上，该平台可称为装载端口。应当了解的是，在一个实施方式中，容器以运动的方式放置在装载端口上以确保稳定和精确放置。在此位置中，容器106和盒式工作站102的门同步下落以使得能够达到容器106内的FPD面板。在此实施方式中，门还会一起关闭。容器106包括可选择的附连于容器106后侧部的风扇过滤系统和送风机。例如，如果容器106具有暴露于盒式工作站102的洁净环境的可密封膜门，并且当该过程完成时对容器106的柔性膜门的后续密封确保了只要容器106的柔性膜门保持关闭该洁净环境就会保持相对较长的时段。如下面更详细讨论的那样，参见图9A-15B以及表l-4，能够用不同机构将大面积基板运进和运出容器106。图8A到8F示出根据本发明一个实施方式的位于盒式工作站和容器之间的同步门的对接和打开。在图8A中，容器106定位成与盒式工作站102对接。在一个实施方式中，可使用销或其它一些机构使得当销与容器106接合时盒式工作站102的门和容器106的门之间是同步的。在此实施方式中，容器106包括可选的风扇过滤单元(FFU)112。如图8B所示，容器106使得能够经由门缘排气，而盒式工作站102的装载端口也经由对接站下方的门缘排气。如图8C和8D所示，当容器106与盒式工作站102接合时，容置在相对的门的外表面之间的较不洁净的空气被两个相对的门之间存在的气流净化。可替代性地，可施加真空来净化此区域。在图8E和8F中，盒式工作站102和容器106的门都被打开，来自盒式工作站102的洁净空气将流入容器106。应当注意的是，当门在打开位置时，空气流排气也扫过相应的容器门和盒式工作站门。就是说，当处于打开位置时门保持在洁净环境中从而使污染源最少化。应当注意的是，如本文所称的小环境(ME)提供经过过滤的无颗粒物的空气流或相对于相邻模块的正压力。在一个实施方式中，容器内的压力保持大于外部环境压力以防止颗粒物进入容器。图9A到9C示出根据本发明一个实施方式的用于容器的替代性实施方式的简化示意图。在图9A中，容器106包括支撑FPD142的拉伸支撑件140。示出膜门120a和120b处于打开位置，其中，通过容器106的底部和侧面进入。在一个实施方式中，末端效应器144在容器106的前部下方移动。在此实施方式中，末端效应器144位于各盒式工作站处。末端效应器144可通过皮带、辊子、空气轴承等支撑和/或移动FPD。就是说，末端效应器144作为其一部分的机器人可包括自机器人延伸的面板桨叶传送延伸部和位于机器人上的一组辊子。面板桨叶传送延伸部延伸到容器内以便达到FPD并帮助将FPD移动到容器外部的机器人的辊子上。在一个实施方式中，面板桨叶传送延伸部可包括与辊子分离的Z形驱动器。图9A-9C的拉伸构件140可称为线支撑件、条或带条而且不一定由上述线构成。如前所述，可用不锈钢带/条替代线。可替代性地，尼龙或石墨可构成拉伸构件。在支撑件是线的一个实施方式中，线可涂敷有塑料或一些其它类型的惰性材料。实际上，拉伸构件140可以是任何用于支撑FPD的拉伸构件，其中拉伸构件与FPD是相容的且不掉粒。在一个实施方式中，拉伸构件可具有贯穿其行进的空气通道，以便为设在拉伸构件之上的FPD提供提升力，从而使末端效应器或机器人可抓住FPD以便输送。当然，空气通道可通过倾斜FPD为前缘提供一些横向运动以便能够被末端效应器抓取。在结合有空气通道的情况下可取消传送桨叶或面板桨叶传送延伸部。如上所述，可通过歧管系统有选择地将空气施加到多行拉伸构件或单行拉伸构件。在一个实施方式中，拉伸构件可锚固到容器106的侧部。在替代性实施方式中，自容器106的顶面和/或底部表面延伸的竖直支撑构件可为拉伸构件提供支撑。在此替代性实施方式中，内部传送桨叶可容置在容器106内。在此实施方式中，结合图13A-13C提供了对该实施方式的其它细节。图9B示出了容器106，其中面板传送器末端效应器自容器106下方进入。这里，面板传送器末端效应器144将进入容器106和对应的装载端口下方，以使得能够从底部至顶部达到各个FPD。面板传送器和末端效应器114构造成向上移动或索引至由相应的拉伸构件支撑的各行FPD。在一个实施方式中，末端效应器144构造成使得在中段具有空穴以使末端效应器能够在容器106中上下移动。本领域技术人员可知，这能够通过在一列拉伸构件下方存在间隙的位置处给末端效应器144分段而实现。在另一个实施方式中，采用容器106内部区域内的竖直支撑构件作为拉伸构件的终端点，末端效应器144的"梯式"结构的构造使得能够在容器内竖直移动而不与拉伸构件互相干扰。如图9A至9C中分别示出的，膜门120a和120b可通过辊子130支撑，并且在图中相应地标识出作为打开和关闭位置的门停止动置。就是说，A和B绘出对应的门处于关闭位置的门停止动置，而A'和B'绘出对应的门处于打开位置的门停止动置。图9C示出了另外又一个替代性实施方式，其中双膜门沿相反的方向移动，并且容器106下方的面板传送桨叶保持固定。在图9C的实施方式中，容器106通过升降支撑件146升高或降低，而传送桨叶保持固定。图IO示出设有单膜门并且面板传送器末端效应器自容器底部进入的容器。应当了解的是，尽管在本文讨论的各图中示出了三个拉伸构件，这并非意在限制，而是可使用任何合适数量的构件。在图10中，门120围着容器106巻绕以使末端效应器144能够从底部进入。容器106安置在构造成允许从底部进入的支撑件上。在另一个实施方式中，装载端口或传送站可通过用于可重复定位的运动销与容器106配合。图11示出根据本发明一个实施方式的前部中具有打开的单膜门且面板传送桨叶在其内部的容器。这里，面板传送桨叶150容置在容器106内，即为内部传送机构，并且在一个实施方式中容器可向上或向下索引。在另一个实施方式中，推杆152可相对于容器升起或降下，以使得能够达到容置在容器中的不同FPD。因此，容器106或推杆152可移动。应当了解的是，推杆152可以被封闭在设置于装载端口支撑容的器106下方的传送站中，使传送站具有独立的环境。图12是示出根据本发明一个实施方式的用于容器的单膜门的简化示意图，其中，面板传送桨叶容置在容器内部，同时容器通过外部装置竖直上升。在图12中，容器106包括内置在容器内的面板桨叶150，也就是说，面板桨叶150是内部传送机构。容器106包括能够与储存在容器内的面板桨叶联接的外部提升和引导装置，以便升高和降低面板桨叶150。例如，设置有联接到桨叶150的提升点174，其联接到外部提升装置用于FPD的移动。应当了解的是，在打开或关闭时，膜门可沿上下方向移动。图13A示出具有单膜门和容置在容器内的面板传送桨叶的容器。在图13A的实施方式中，可在容器中通过彼此同步或独立的提升巻筒160内部引导提升桨叶。图13B是图13A的实施方式的替代性实施方式，其中提升巻筒是独立的。应当了解是，具有内部桨叶的实施方式可使用终止拉伸构件的竖直支撑件，使得在容器106的内部区域的外围周边有空间。该空间足以成为用于驱动内部桨叶的提升条带/皮带的空间。图13C-1和13C-2是示出根据本发明一个实施方式的用于线盒和桨叶传送单元的支撑框架的简化示意图。图示的支撑框架151具有用作拉伸构件140终端点的竖直构件。面板传送桨叶150构造成在容器内竖直移动。具有辊子/传送机构的水平支撑件在用作拉伸构件140的支撑点/终端点的竖直构件之间的竖直平面内移动。在一个实施方式中，拉伸构件140可具有一系列的孔，这些孔使得空气或其它一些流体能够在输送FPD时提供空气轴承。应当指出，可采用歧管系统以确保对应于正进行输送的FPD所在行的一行拉伸构件被致动。图14是示出根据本发明一个实施方式的在膜门中具有槽口的容器的简化示意图，通过槽口提供用于面板移出或移入容器的通道。在图14中，设置了内部传送机构。这里，FPD经由面板门120中的槽口或切口移出容器。在一个实施方式中，面板桨叶150的移动与膜门120的移动同步，以确保槽口与被输送的面板对齐。图15A和15B示出了根据本发明一个实施方式的具有单膜门和自容器底部进入容器的面板提升传送柱的容器。在一个实施方式中，向上和向下索引容器106，使得能够达到每个面板以便输送至盒式工作站102。因此，图15A中的传送机构的特征是为外部传送机构。在图15A-1中，传送柱187容置在外壳185中以限定以减少污染源的小环境为特征的独立环境。在一个实施方式中，外壳185可向上和向下移动以达到图15A-2的容器内的不同FPD。在另一个实施方式中，传送柱187可竖直地移动从而达到FPD，同时容器是固定的。在一个实施方式中，当容器106移动时与容器106的柔性膜的槽口相对应的盒式工作站102的槽口170是固定的。在另一个实施方式中，槽口170与传送柱187—起同步移动。为了保持高洁净度，容器106包括遮门183，该遮门183打开和关闭以允许设置在容器下方的传送站的传送柱187进入容器。在一个实施方式中，遮门183铰链连接而能够打开和关闭并且可通过分度器致动。在一个实施方式中，遮门183可通过钥匙/锁对准系统来致动。这里，钥匙的插入触发遮门的打开。在一个实施方式中，传送柱187包括安装在顶面上的辊子以便提升和传送。如上所述，传送柱可替代性地包括皮带或空气轴承。在一个实施方式中，传11送柱187通过相应门的槽口将FPD提供给容置于盒式工作站102中的边缘抓紧传送机构。随后，此传送机构将FPD提供给加工工具、测量工具等。图15B图示了设置在传送站之上的容器106。传送柱187是固定的，并且容器106被索引成通过容器安置在其顶部上的传送站的顶部支撑面板的移动而竖直地移动。经由槽口170将FPD移动到盒式工作站102。如上所述，容器106和盒式工作站102的柔性膜门被索引成使门中的开口于要传送进容器中或从容器传送出的面板对齐。图16A到16D示出根据本发明一个实施方式的具有门切口的容器的不同立体图。在图16C中图示了门切口/槽口170，而图16A和16B图示了处于密封位置的膜门。为了易于说明，图16A-16D中的膜门被图示为透明的，以便查看容器的内部。在图16D中，大面积的基板经由门切口170从容器中移走。图17A-17C是示出根据本发明一个实施方式的容器和用于外部传送机构的支撑装置的横截面视图的简化示意图。容器106构造成由支撑装置200支撑。在一个实施方式中，容器106的容置件206与支撑装置200的运动销208配合。在一个实施方式中，支撑装置200是独立装置，以便容置颗粒污染物。丝杆204a和204b可提供能够升高和降低容器106的机构，使得柱202可将大面积基板导入或导出容器106。大面积基板安置在容器106内的拉伸构件210上。在一个实施方式中，每个拉伸构件210均可包括位于各拉伸构件的相对侧上的引导装置，使得大面积基板停留在限定于引导装置之间的区域内。例如，环绕各拉伸构件的各个端部的DELRINTM环将实现这个功能。设置在柱202的顶部上的轮或皮带将运动传递至大面积基板。在一个实施方式中，传送机器人201帮助传送大面积基板进出容器106。传送机器人201是可选择的，因为加工工具100可包括自加工工具延伸的机器人或末端效应器，以便从容器106获取大面积基板或将大面积基板递送至容器。图17B是根据本发明一个实施方式的支撑装置200的透视图。支撑装置200包括进气过滤器220。因为支撑装置200包括外罩从而限定出独立区域风扇，因此可将风扇和过滤系统结合到支撑装置中以保持具有独立区域的洁净环境。在支撑装置200的上表面限定有孔口222。孔口222允许图17A的柱通过。运动销208使容器106与支撑装置200的具有稳定接合。图17C是示出根据本发明一个实施方式的容器和支撑装置的立体图的简化示意图。示出容器106具有柔性门120。柔性门120包括大面积基板可从中通过的槽口170。如上所述，柔性门120可与支撑装置200之上的容器106的竖直移动同步，使得槽口调节到恰当的高度，以便移走或收容大面积基板。示出了在没有罩的情况下的支撑装置200的前部，因此柱202可见。当在支撑装置200上方竖直调节容器106时，柱200将接合储存在容器106内的大面积基板。应当了解的是，图17A-C代表所述系统的一个实施方式，本文提及的不同部件能够有多种组合。应当了解的是，柱202可构造成拉伸构件之间的行，以在各柱的顶部上容置多个轮或较大的带式部分。此外，每个孔口均222可与盖或遮门相关联以便在容器移走时关闭孔口。此外，容器可包括如图15A所示的容器百叶阀，以允许柱进入容器。应当了解的是，在本文所描述的任何一种设置有进入容器的开口的实施方式中，都设置了当开口不用时关闭开口的诸如上述百叶阀的机构。此外，图9A至17C为本文描述的不同机构提供多种可替代物。在一个实施方式中，可通过内部传送装置、外部传送装置或面板搬运机器人装置提供面板水平传送机构。表121中提供了用于提供水平传送机构的不同结构的汇总。内部传送器框架驱动/引导装置和相应的容置内部传送器驱动装置的结构汇总在表2中。表3中提供了容器门打开/驱动装置和用于实现门打开的结构。表4中提供了容器面板索引装置和用于实现索引的相应不同结构。图18图示了根据本发明一个实施方式示的基板容器、工具装载小环境和加工工具(例如，制造工具、测量工具等)。如图18所示的容器106将大面积基板以大体上水平的定向储存在容器中。应当了解的是，本文所使用的术语"大面积基板"可指如果是圆形的直径为300毫米或更大的任何类型的基板、晶片或的工件。同样，基板不一定要是圆的，因为例如平板显示器或太阳能电池板等一些基板可以是四边形的。因此，在另一个实施方式中，非圆形的大面积基板指的是宽度或长度大于300毫米的的四边形。在图18中，容器位于小环境102前方的装载位置中。在此实施方式中，容器106包括除了前部开口之外都封闭的外壳，其通过可伸縮的柔性膜密封(本文又称为容器门或遮板)。仅作为示例，柔性膜可在辊子上伸縮以使得能够达到基板。用于伸縮膜的其它装置在本发明的范围内。可能的是，膜在所有位置都不与前部开口的外围物理接触，而是具有使膜能够无磨损地伸縮的小间隙(下文将更详细地解释使该间隙最小化或排除该间隙)。供容器106安放的容器支撑机构101可包括将容器的前表面移至靠近小环境的前开口的机构(例如，类似于常规装载端口的FOUP(FrontOpeningUnifiedPod前开式晶圆盒)进给板)，或者容器可最初装载在支撑机构上的图18所示的位置处。在此装载位置，容器门117a优选靠近小环境的前门117b，以便在两个门之间产生近似密封。不管怎样，一旦容器位于此装载位置，就可打开容器的容器门和小环境的前门，从而使得小环境内的传送机构105能够达到大面积基板。在一个实施方式中，两个门的运动同步以便一起打开和关闭。此同步的门运动将使颗粒物污染最小化，因为它不允许外部和可能受污染的任一门的表面暴露在容器或小环境的敞开体积中。加工工具不包括小环境102也在本发明的范围和精神内。在这种情况下，容器前门(或膜或遮板)将靠近面板搬运系统门或加工工具100的进入区域放置。小环境的前门也可在两门一致地升起之前与容器门连接。将门联接在一起将"困住"位于容器门和前门之间的两个门的外部表面上的颗粒物，类似于常规端口门与FOUP门的耦联。前门可在任何高度与容器门联接。然而优选地，前门和容器门在两门的底部附近联接在一起。容器门必需能够升高到使得基板搬运机器人能够达到储存在容器顶架中的工件的位置。当容器门和小环境门都打开时，在它们之间有小的暴露到外部环境的间隙。为了防止来自外部环境的污染物进入容器或小环境，小环境102可包括提供风扇和过滤器113，风扇和过虑器113将洁净空气提供给小环境的内部，并在小环境内产生比环境压力稍高的内部压力。这种压差将迫压洁净空气通过间隙从小环境中流出，并且防止来自外部的污染。可替代地，小环境或工具可能不包括风扇和过滤器，而是依赖由容器106中的可选风扇/过滤器112所提供的洁净气流。小环境上的门(或如果不使用小环境则为工具)可以是如容器上那样的巻膜，或可替代性的，此门可以是较传统的依靠竖直滑动而打开和关闭的刚性门。也可能的是，可以在门打开之后通过推进容器直至容器紧贴小环境密封为止，密封住所述间隙。有多种方式可以给容器门机构和可选的风扇及过滤器系统提供动力或原动力(例如，机械力)。仅作为示例，可通过如下方式将动力提供给容器a)容器上的轻便式储能装置(例如，电池、超级电容、燃料电池等)；b)装载站处的电触点；c)由来自装载站的固定导体的电磁场传递的非接触动力，以感应容器上的线圈和电路；d)装载站处的提供加压气体的气动端口；和/或e)当容器位于装载站时与容器配合的机械连结。可在动力源b)、c)、d)或e)的位于容器外部的来源处直接地控制动力源b)、c)、d)或e)，从而控制容器门运动或例如风扇和过滤器单元的致动/控制，或者可给装载站处提供控制信号以对容器门运动或风扇过滤器单元的致动/控制的定时进行控制。控制信号能够传送至容器的方式有多种，包括但不限于，装载站出的光学链路发光二级管(LED)和光电传感器或电触点或者无线电频率信号。图19是示出容器的一个实施方式的立体图。容器106具有供基板穿过的前开口14。可移动门3由柔性材料制成，其在门打开和关闭期间在辊子2上滚动。门的下端和上端分别终止于杆4和5。这些杆使得能够在门的整个宽度上保持均匀的张力。终端杆4和5的端部可由引导装置或滑动装置(未示出)支撑，它们使杆在门运动期间与容器体部保持固定距离。每个杆的各个端部均连接到定时/同步皮带的端部。皮带7附连到杆5，然后在附连到终端杆4之前巻在皮带轮8、9和10上。以类似的方式，皮带6附连到终端杆5的另一个端部，巻在位于容器另一侧上的皮带轮(包括皮带轮11和12)上，然后连接到杆4的另一个端部。轴15连接皮带轮8和11，从而使皮带6和7的运动同步。其它皮带轮将在没有横轴的情况下自由地旋转。—种担心是当门打开时或在其打开动作期间能够附着于门内侧的颗粒物。在门关闭之后，这些颗粒物可随后自门的内侧脱离，并污染储存在容器106中的基板。有几种可避免这种潜在的颗粒物问题的方法。如果容器106上安装了风扇和过滤器，并且容器上表面13具有穿孔或其它孔口(例如，槽口、微孔等)，那么洁净空气将通过穿孔流出容器。这些洁净空气流将使颗粒物不会沉积在容器的上表面，而容器的上表面正是当门打开时颗粒物被转移到门3的内表面的地方所在。当门打开时，洁净空气也会在门的内表面上流动。另一个担心的地方是柔性门材料与辊子之间的界面处的颗粒物生成和转移。可通过减少辊子和门之间的接触来缓解颗粒物生成。例如，辊子可具有沿其长度往下的狭窄的脊或高出的凸起，以减小辊子2和门3之间的接触面积。可替代地，门的内表面可具有脊或凸起从而减小接触面积。可通过不同机构打开和关闭容器门3。下终端杆4可接合小环境或工具上的竖直驱动机构。该竖直驱动机构可在完全不需要容器上的动力致动器的情况下升高以打开容器门和降低以关闭容器门。可替代地，电动马达可联接到轴15、辊子2的端部或任何定时带皮带轮。马达的转动将使轴、辊子或皮带轮旋转，并移动定时带的链接系统和进而移动门。同样地，线性致动器(例如，气动装置)可连接到门或皮带以提供门运动。用于使门升高或降低的任何其它机构都在本发明的范围内。图2所示的门3在辊子2上移动。容器具有包括包含辊子2的对接界面的框架(如图23中所示)也在本发明的范围内。图20和21示出根据本发明一个实施方式的具有带槽口的门的容器的简化示意图。门3包括上门段17和下门段19，它们各自终止于杆4和杆16，从而限定出槽口式开口18。杆4和杆16的各端链接以使得能够通过一个驱动器将运动传递至两个门段17和19。下门段19在辊子20上滚动并结束于终端杆21。当定时带6和7移动时，槽口18将随之上下移动，从而允许进入容器中的单个储存位置。槽口18大到足以提供到达不止一个储存在容器中的基板的通路也在本发明的范围内。槽口也可通过由柔性材料切割成单件的孔口形成或可通过附连到柔性材料的孔口板形成。门上带槽口的容器在杆引导装置、颗粒物减少和驱动机构方面可具有与图19所述的容器相同的特征。底部表面也可具有洁净空气流动孔以提高下门段的洁净度。当要获取大面积基板或晶片用于加工时，环境或工具上的竖直驱动机构可接合杆4或16以将槽移动至不同的位置。图20图示了包括可选风扇110和过滤器单元113的容器106。风扇和过滤器单元可提供足够的洁净气流以确保来自外部环境的颗粒物无法经由槽口18进入容器。此外，容器可包括围壁的区域，其中包括容器的前开口1的一部分。当槽口18移动成覆盖壁109时，容器开口被有效地"关闭"，并有效地防止泄露。容器开口中的壁109可位于任何高度。图20图示了一个实施方式，由此隔板或壁位于容器开口14的顶部部分中。当升起容器门3直到槽口18位于壁之上时，门的下部19覆盖整个容器开口14。可替代地，当门往下移动时，容器门的上部17可封闭容器。小环境的端口门或加工工具也可包括具有单个槽口的可移动门。在这种情况下，当容器安置在装载位置中时，端口门优选地与容器门一致地移动，使得端口门与容器门中的槽口对齐。在替代性实施方式中，端口门也可包括类似于常规端口门的门。图22A和22B示出根据本发明一个实施方式的能够在关闭结束时朝容器框架拉动从而使密封间隙最小化的柔性门的一个实施方式。在此实施方式中，容器包括可移动辊子组件25。图5B的辊子组件25包括辊子2、枢转臂、枢轴27、辊子拉伸弹簧28、弹簧附连件29和止动块31。枢转臂26保持紧靠止动块31，直到垂直于栓转杆的长轴线的力矢量超过弹簧28的弹簧张力。枢轴臂绕枢轴27枢转并且与止动块31分离。优选地，拉伸弹簧的力大于门关闭所产生的皮带的拉伸力及任何摩擦力。在一个实施方式中，关闭容器门和使容器门紧靠止动块31密封是通过单个动作完成的。辊子组件包括滑动轴承组件也在本发明范围内。图22A和22B中的驱动系统类似于图19中的驱动装置。该驱动系统具有定时带7和皮带轮，并且门终止于上杆5和下杆4，该图示出了分别连接到杆5和4的滑动装置22和26，并且提供滑动支撑件。增加了皮带弹簧23，以在门向容器前部移动时将皮带拉伸力保持在有益范围内。该运动机构有效地减少了皮带/门的环行距离，并且弹簧防止带变得松弛。当带和门以降低门的方向移动时，上杆5将撞击端块24，用于杆4的滑动支撑件进入凹入的滑动轮廓31。凹入的滑动轮廓是滑动装置的一部分，其略微转向容器的前部一定角度，使得杆4沿它的引导路径移动，于是门的端部向容器移动。尽管杆4移动通过凹入的滑动轮廓，但是杆5抵靠端部制动块不动，从而增大了作用在辊子上的力，直至辊子组件朝端块枢转。辊子组件的枢转连同杆4通过凹入的滑动轮廓的运动使门的整个表面(辊子以下)朝容器移动，从而使间隙最小化。还可以有保持机构，以防止当门已经完全关闭时杆4因辊子拉伸弹簧移位的力而向上的运动。15驱动带可由任何类似的诸如线缆、绳索、V形带、平带或条带的柔性联接件替代。图22B中的可移动辊子可具有线性运动而不是枢转运动。皮带轮可置于不同位置，并且皮带可沿不同路径行进，只要它们保持连接到柔性门的端部。在一个实施方式中，柔性门材料能够以窗帘的工作方式巻起在扭力簧载辊子上。图23是示出另一实施方式中的具有柔性膜门的容器的简化示意图。容器1包括对接界面150，在一个实施方式中，该对接界面150构造成接收驱动销。驱动销可通过旋转机构或其它一些合适的机构而与对接界面150接合和锁合。容器1包括风扇过滤器组件110和膜门3。在一个实施方式中，钥匙可用作驱动销并可用来锁定或解锁柔性膜门，使得门可以被紧固从而锁定并在解锁时可以被降低或升高。在一个实施方式中，锁保持与容器接合，例如一体结合有保持装置的旋转锁。图24A和24B示出了包括三个用于支撑基板的支撑件的组件。当然，此组件可包括任何数量的支撑件。图24A和24B示出了根据本发明一个实施方式，竖直组件进行调节以与储存在容器中的基板沿竖向对齐。当所述组件和基板对齐时，将基板从容器移走到组件上。有许多方式将基板从容器移走，例如但不限于通过空气轴承支撑基板并使基板能够自容器"滑移"至组件；通过辊子支撑基板并启动辊子以将基板自容器移至组件；或着，通过皮带支撑基板并启动皮带以将基板自容器移至组件。使用空气轴承来支撑和传送基板可能需要将容器支撑件略微地朝向或远离容器前方倾斜，使得基板可滑移出容器。所述组件也可包括机械装置(例如真空吸盘)，用于抓紧基板的一部分并将基板自空气轴承上拉出容器。在操作中，当容器门和装载端口门打开时，所述组件可与储存在容器中的任何基板对齐。然后，将基板从容器移到组件上。然后，如果需要的话，所述组件将基板与加工工具的开口对齐，以使得能够将基板自所述组件传送到工具。当基板已经加工好时，基板被回传到所述组件，所述组件将自身与容器中的空架子对准，并将基板回传到容器。图19A-19B示出，优选地在位于装载端口和加工工具之间的该传送区域中供给洁净空气流，以使颗粒物对基板的污染最小化或消除这种污染。传送区域可封闭或在受控环境内包括敞开空间。图25A-25B图示了基板传送系统的另一个实施方式。最主要的是，该系统包括装载端口(未示出)和晶片传送设备。图25B所示的容器以非线或非平面构造储存基板。这里，容器以凸形构造储存各个基板。图25A和25B显示，容器也可以其它非平面构造储存基板，并且各个基板不需要以相同的非平面构造储存在容器中。在一个实施方式中，每个基板在基板或面板的整个长度上偏斜在3-4英寸之间。当然，其它偏斜是在本发明的范围内。以非线性或非平面构造储存基板增强了基板的刚度。仅作为示例，容器支撑件可包括辊子、空气轴承、衬垫或皮带。以非平面构造储存基板大大地减小了基板下垂，并允许传送期间较简单的支撑和搬运。可有意地使基板关于它们的纵向中心线或其水平中心线变形或偏斜。中心线处的变形是示例性的，基板或平板显示器可沿任何一条线或一个点或者多条线或多个点偏斜或变形。能够通过对支撑点位置的定位和施加在基板上的其它力来控制变形。所述其它力包括能够引起变形重力或接触引起的力。表1面板水平传送装置<table>tableseeoriginaldocumentpage17</column></row><table>表2内部传送器框架驱动/弓I导装置<table>tableseeoriginaldocumentpage17</column></row><table>表3容器门打开/驱动装置<table>tableseeoriginaldocumentpage18</column></row><table>表4容器面板索引装置<table>tableseeoriginaldocumentpage19</column></row><table>应当了解的是，上述的容器和隔离系统仅仅是为了解释的目的，并且本发明不受此限制。已经如此描述了用于储存、输送和装载大面积基板或晶片的容器和系统的优选实施方式，对于本领域技术人员显而易见地是，已经实现了系统内的某些优点。也应当了解的是，能够在本发明的范围和精神内完成不同的改型、适应性修改和替代性的实施方式。例如，容器和系统也可用来储存其它类型的基板或可与半导体制造工厂内的其它装备相关地使用。应当了解的是，上述许多的创造性理念可同样适用于非半导体制造应用以及半导体相关的制造应用中。创造性理念的示例性使用可结合到太阳能电池制造及相关制造技术中，例如单晶硅、多晶硅、薄膜和有机过程等。本文所描述的形成本发明部分的任何操作是有用的机械操作。本发明也涉及用于执行这些操作的装置或设备。这些设备可专门构造用于所需目的，或可以是通用计算机通过储存在计算机中的计算机程序选择性地启动、执行或配置的。具体地，多种通用机器可与根据本文教导所编写的计算机程序一起使用，或者可以更方便地构造出更专用的设备来执行所需的操作。尽管为了清楚理解的目的详细地描述了上述的发明，显而易见地是，可在所附权利要求的范围内实现某些改变和改型。因此，这些实施方式可以被看作是说明性的而非限制性的，并且本发明不限于本文所给定的细节，而是可在所附权利要求的范围和等同物内进行改型。在权利要求书中，要素和/或步骤不表示任何具体操作顺序，除非在权利要求中清楚地指出。权利要求一种用于支撑加工用的基板的容器，包括底部、顶部及连接所述底部和所述顶部的侧板；设置在所述容器中的支撑结构，所述支撑结构构造成支撑所述容器内的所述基板，所述支撑结构具有横贯所述容器的宽度延伸的多行多个拉伸构件，每行的所述多个拉伸构件均构造成支撑一个基板，其中，一个所述侧板包括使得能够进入所述容器的可移动柔性膜，所述柔性膜的支撑结构具有用于使所述柔性膜与加工工具的容置模块的门同步移动的同步机构。2.如权利要求1所述的容器，进一步包括自所述底部或所述顶部中的一个延伸的竖直支撑构件，所述多个拉伸构件的端部附接于所述竖直支撑构件，其中，所述竖直支撑构件位于所述容器的内部区域内。3.如权利要求2所述的容器，进一步包括传送构件，所述传送构件具有设置在所述内部区域的外部的外部支撑件和附接到所述外部支撑件的内部支撑件，所述内部支撑件横贯所述容器的宽度延伸。4.如权利要求3所述的容器，其中，所述传送构件是能够沿所述容器的高度移动的。5.如权利要求1所述的容器，其中，所述底部是使得能够进入所述容器的柔性膜。6.如权利要求1所述的容器，其中，所述柔性膜的两端连接至刚性支撑件，每个所述刚性支撑件的端部均附连至所述同步机构。7.如权利要求6所述的容器，进一步包括第一和第二皮带，所述第一和第二皮带的端部附接到第一和第二刚性支撑件的对应的端部。8.如权利要求1所述的容器，其中，所述同步机构包括用于自所述容置模块的门延伸的销的容置口。9.如权利要求1所述的容器，其中，所述容器包括附接到一个所述侧板的风扇和过滤器组件。10.如权利要求1所述的容器，其中，所述柔性膜具有延伸穿过所述柔性膜的槽口，所述槽口实现基板进出所述容器的通道。11.如权利要求l所述的容器，进一步包括横贯所述容器的边缘延伸的辊子，其中，所述辊子在所述柔性膜移动时引导所述柔性膜。12.如权利要求1所述的容器，其中，所述拉伸构件是沿各个所述拉伸构件的顶面具有孔口的中空构件。13.如权利要求1所述的容器，其中，所述底部包括横贯所述容器的宽度延伸的多个开口，所述多个开口具有打开和关闭进入所述开口的通道的可移动门。14.一种用于输送基板的系统，包括用于支撑加工用的基板的容器，所述容器包括底部、顶部及连接所述底部和所述顶部的侧板，所述容器进一步包括设置在所述容器中的支撑结构，所述支撑结构构造成支撑所述容器内的所述基板，所述支撑结构具有横贯所述容器的宽度延伸的多行多个拉伸构件，每行的所述多个拉伸构件均构造成支撑一个基板，其中，一个所述侧板包括使得能够进入所述容器的可移动柔性膜；以及基板传送站，其构造成经由通过所述柔性膜获得的进入区域达到所述基板。15.如权利要求14所述的系统，其中，所述底部是另一个可移动的柔性膜。16.如权利要求14所述的系统，其中，所述基板传送站设置于所述容器下方。17.如权利要求16所述的系统，其中，所述底部包括多个具有使得能够进入所述容器的可移动门的开口；并且，所述基板传送站包括与对应的所述开口对齐的多个柱，所述多个柱构造成自所述拉伸构件提升所述基板。18.如权利要求17所述的系统，其中，所述多个柱具有顶面，所述顶面包括辊子、皮带或空气轴承中的一个。19.如权利要求16所述的系统，其中，所述基板传送站固定在适当位置，并且所述容器以可移动的方式设置在所述基板传送站上方。20.如权利要求14所述的系统，其中，所述基板传送站包括具有可延伸元件的传送机器人，所述可延伸元件构造成经由通过所述柔性膜获得的通道进入所述容器。21.如权利要求14所述的系统，其中，所述基板传送站包括与所述容器上的所述柔性膜相对应的另一个柔性膜，所述另一个柔性膜和所述容器上的所述柔性膜同步以便一致地移动。22.如权利要求21所述的系统，其中，用于所述柔性膜的支撑件包括容置口，所述容置口构造成容置所述另一个膜的支撑件的伸长构件。23.如权利要求16所述的系统，其中，所述柔性膜包括槽口式开口；并且，所述柔性膜随着所述容器相对于所述基板传送站的竖直移动而移动。24.如权利要求16所述的系统，其中，所述基板传送站容置在壳体内，所述壳体的顶面上具有多个开口，从而使得所述基板传送系统的柱能够达到所述基板。25.—种用于支撑半导体加工基板的容器，包括底部、顶部及连接所述底部和所述顶部的侧板；设置在所述容器内的支撑结构，所述支撑结构构造成支撑所述容器内的所述基板。所述支撑结构具有由横贯所述容器的宽度延伸的多个拉伸构件构造而成的成行和列布置的阵列。每行的所述多个拉伸构件构造成支撑一个基板，其中，一个所述侧板包括使得能够进入所述容器的可移动柔性膜；以及横贯一个所述侧板的边缘延伸的旋转构件，所述旋转构件在移动过程中引导所述柔性膜。26.如权利要求25所述的容器，其中，所述柔性膜在所述移动过程中的路径在所述容器的顶表面或底表面中的一个的外部。27.如权利要求25所述的容器，其中，所述顶部具有多个贯穿所述顶部限定的孔口；并且，当允许进入所述容器时，所述可移动柔性膜从所述顶部上方縮回。28.如权利要求25所述的容器，其中，所述旋转构件是簧载张力辊。29.—种用于支撑半导体加工基板的容器，包括底部、顶部及连接所述底部和所述顶部的侧板；设置在所述容器内的支撑结构，所述支撑结构构造成支撑所述容器内的所述基板。所述支撑结构具有由横贯所述容器的宽度延伸的多个拉伸构件构造而成的成行和列布置的阵列。每行的所述多个拉伸构件构造成支撑一个基板，其中，所述侧板和所述底部中的一个包括使得既能够从所述底部又能够从一个所述侧板进入所述容器的可移动柔性膜。30.如权利要求29所述的容器，进一步包括设置在所述容器内的面板传送桨叶，所述面板传送桨叶构造成在所述容器内竖直地移动以帮助输送所述基板。31.如权利要求29所述的容器，其中，通过独立的可移动柔性膜实现从所述底部和一个所述侧板进入所述容器。全文摘要提供一种用于支撑加工用的基板的容器。该容器包括底部、顶部及连接底部和顶部的侧板。容器中设有支撑结构。该支撑结构构造成支撑容器内的基板。支撑结构具有横贯容器宽度延伸的多行多个拉伸构件。每行的多拉伸构件构造成支撑一个基板，其中，一个侧板包括使得能够进入容器的可移动柔性膜。用于柔性膜的支撑结构包括用于使柔性膜与加工工具的容置模块的门或加工工具的门同步移动的同步机构。文档编号B65D85/86GK101743180SQ200880024416公开日2010年6月16日申请日期2008年7月12日优先权日2007年7月12日发明者安东尼·C·伯诺拉,理查德·H·古尔德,迈克尔·克罗拉克申请人:村田自动化机械有限公司