一种三氯氧磷源瓶的制作方法

本实用新型涉及太阳能电池生产设备技术领域，具体涉及一种三氯氧磷源瓶。

背景技术：

太阳能电池制作过程中的扩散工序是在P型硅上沉积一层磷原子来形成PN结，现在大部分采用液态源进行扩散。主要是利用氮气通入盛有三氯氧磷的石英源瓶中携带三氯氧磷蒸汽到扩散炉管内。三氯氧磷与氧气反应生成单质磷，并在高温下趋入硅基体内形成N型半导体。

传统的扩散工艺，由于三氯氧磷液位随着工艺消耗不断变低，而进气管位置不变，当三氯氧磷存储容器内的三氯氧磷的液位较少时，进入瓶中的氮气与液态源的接触面积也减少，导致氮气携带的三氯氧磷随液位的变化逐渐减少，产生的源蒸汽(三氯氧磷蒸汽)变少，导致扩散效果较差，从而导致工艺稳定性变差，造成产品的不合格，影响到正常的生产。同时，底部的三氯氧磷无法得到充分的利用，造成浪费比较大。通常源瓶中液面高度在20mm时就需要更换三氯氧磷源瓶，这样不仅增加生产中三氯氧磷的耗损量，也会因废弃的三氯氧磷不便处理，给环境带来压力。而且，源瓶中的气压高于扩散炉，往往进入瓶中的氮气与液态源的接触不够就进入扩散炉，导致氮气携带的三氯氧磷量不足，影响扩散效果。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足，提供一种三氯氧磷利用率高，降低生产成本，工艺稳定性高的三氯氧磷源瓶。

本实用新型采用的技术方案为：一种三氯氧磷源瓶，包括源瓶本体，进气管，出气管和测温套管，其特征在于，所述测温套管正下方的源瓶本体上设有第一凹槽，测温套管伸入第一凹槽的底部；所述进气管和出气管设于源瓶本体顶部且与源瓶本体相连通，进气管和出气管伸出源瓶本体的一端均设有单向阀；所述源瓶本体底部设有第二凹槽，第一凹槽和第二凹槽与源瓶本体的水平底面圆弧过渡或倒角过渡连接；所述进气管伸入至第二凹槽的底部，所述出气管的底部设有盖板，该盖板的一端通过铰链与出气管连接，另一端下方设有支撑板，该支撑板固定于出气管上，盖板位于铰链一侧的底部连接有弹簧，弹簧另一端与出气管连接。

进一步地优选，所述弹簧表面设有聚四氟乙烯或聚氯乙烯涂层。

进一步地优选，所述盖板采用聚四氟乙烯或聚氯乙烯材料。

进一步地优选，所述进气管和出气管上设有螺纹，二者通过螺母固定于源瓶本体上，螺母与源瓶本体之间还设有密封橡胶圈。

进一步地优选，所述进气管与第二凹槽的底部之间的距离为2mm～4mm。

进一步地优选，所述测温套管底部与进气管底部平齐，测温套管的材料采用石英、聚四氟乙烯和聚氯乙烯中的任一种。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：设置的弹簧和盖板可以有效的增加进入瓶中的氮气与液态源的接触面积，保证氮气携带的三氯氧磷量且携带量稳定，扩散效果好，同时，源瓶内的三氯氧磷可以得到充分的利用。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为图1中的A的局部放大示意图；

图示说明：1-源瓶本体，2-进气管，3-出气管，4-盖板，5-测温套管，6-第二凹槽，7-第一凹槽，8-单向阀，9-螺母，10-密封橡胶圈，11-铰链，12-弹簧，13-支撑板。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型作进一步地说明。

如图1和图2所示，一种三氯氧磷源瓶，包括源瓶本体(1)，进气管(2)，出气管(3)和测温套管(5)，进气管(2)和出气管(3)上设有螺纹，二者通过螺母(9)固定于源瓶本体(1)上，为了防止保证密封性，防止泄露，螺母(9)与源瓶本体(1)之间还设有密封橡胶圈(10)。进气管(2)和出气管(3)设于源瓶本体(1)顶部且与源瓶本体(1)相连通，进气管(2)和出气管(3)伸出源瓶本体(1)的一端均设有单向阀(8)。为了减少浪费，使三氯氧磷可以得到充分的利用，测温套管(5)正下方的源瓶本体(1)上设有第一凹槽(7)，测温套管(5)伸入第一凹槽(7)的底部；源瓶本体(1)底部设有第二凹槽(6)，进气管(2)伸入至第二凹槽(6)的底部，进气管(2)与第二凹槽(6)的底部之间的距离为2mm～4mm。第一凹槽(7)和第二凹槽(6)与源瓶本体(1)的水平底面圆弧过渡或倒角过渡连接，当三氯氧磷消耗至源瓶底部时流入凹槽，有利于三氯氧磷集中在凹槽内部。为了提高扩散工艺稳定性，出气管(3)的底部设有盖板(4)，该盖板(4)的一端通过铰链(11)与出气管(3)连接，另一端下方设有支撑板(13)，该支撑板(13)固定于出气管(3)上，支撑板(13)对盖板(4)起支撑作用，源瓶的气压使盖板(4)往上翻转。为了增加氮气与液态源的接触面积，盖板(4)位于铰链(11)一侧的底部连接有弹簧(12)，弹簧(12)另一端与出气管(3)连接，弹簧(12)为盖板(4)提供一定的阻力，使氮气与三氯氧磷充分接触，当气压达到一定值时，顶开盖板(4)，此时的气压在源瓶本体(1)的可承受范围之内。

为了使弹簧(12)和盖板(4)抗酸抗碱耐腐蚀，弹簧(12)表面设有聚四氟乙烯或聚氯乙烯涂层，盖板(4)采用聚四氟乙烯或聚氯乙烯材料。

测温套管(5)可以使外部测温设备伸入源瓶内进行测温，测温套管(5)底部与进气管(2)底部平齐，瓶内液位在最低位置时也可以测量。测温套管(5)的材料采用石英、聚四氟乙烯或聚氯乙烯。

以上所述仅表达了本实用新型的优选实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形、改进及替代，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。