用于排出液态材料中气泡的排气系统及其缓冲存储装置的制作方法

本实用新型涉及高黏度液态材料气泡排除的技术领域，特别涉及一种用于排出液态材料中气泡的排气系统及其缓冲存储装置。

背景技术：

在工业领域尤其是半导体制造领域，经常用到各种化学品，部分化学品(例如光刻胶)有很高的黏度，一旦气泡进入很难排除，而这些气泡又会影响产品质量，因此其内部的气泡必须去除掉。

现有技术中常用的去除气泡的方法一般包括物理方法和化学方法，其中，物理方法包括离心法、搅拌法、加热法以及超声波去除法等，而化学方法包括添加消泡剂等化学试剂。

现有技术的常用方法中，物理方法一般设备比较复杂，而化学方法则会对待去除气泡的液体造成污染。因此，现有技术中还没有一种结构简单、容易操作且不会对待去除气泡的液体造成污染的设备。

技术实现要素：

本实用新型提供一种用于排出液态材料中气泡的排气系统及其缓冲存储装置，能够解决现有技术中去除液体中气泡时存在的设备复杂以及容易对待去除气泡的液体造成污染的技术问题。

为解决上述问题，本实用新型提供一种用于排出液态材料中气泡的缓冲存储装置，所述存储装置包括储液箱、液体输入管路、液体输出管路以及排泡管路；其中，所述液体输入管路与所述储液箱的顶部连通，用于输入液态材料；所述液体输出管路与所述储液箱的底部连通，用于将排泡后的液态材料输出；所述排泡管路与所述储液箱的顶部连通，用于将从所述储液箱内液态材料中溢出的气泡排出所述储液箱。

根据本实用新型一优选实施例，所述储液箱为椎体结构，顶部为椎体大端，底部为椎体小端。

根据本实用新型一优选实施例，所述存储装置还包括负压管路，所述负压管路与所述储液箱的顶部连通，用于在所述储液箱内产生负压，进而加快液态材料中气泡的溢出速度。

根据本实用新型一优选实施例，所述负压管路和所述排泡管路通过同一个接口与所述储液箱的顶部连通，且所述负压管路和所述排泡管路上分别设有阀门，以分别控制所述负压管路和所述排泡管路的开启和关闭。

根据本实用新型一优选实施例，所述负压管路与负压发生设备连接。

为解决上述技术问题，本实用新型还提供一种用于液态材料的排气系统，所述排气系统包括存储装置以及负压发生设备，所述存储装置包括储液箱、液体输入管路、液体输出管路、负压管路以及排泡管路；其中，所述液体输入管路与所述储液箱的顶部连通，用于输入液态材料；所述液体输出管路与所述储液箱的底部连通，用于将排泡后的液态材料输出；所述排泡管路与所述储液箱的顶部连通，用于将从所述储液箱内液态材料中溢出的气泡排出所述储液箱，所述负压管路与所述储液箱的顶部连通，用于在所述储液箱内产生负压，进而加快液态材料中气泡的溢出速度。

根据本实用新型一优选实施例，所述储液箱为椎体结构，顶部为椎体大端，底部为椎体小端。

根据本实用新型一优选实施例，所述负压管路和所述排泡管路通过同一个接口与所述储液箱的顶部连通，且所述负压管路和所述排泡管路上分别设有阀门，以分别控制所述负压管路和所述排泡管路的开启和关闭。

根据本实用新型一优选实施例，所述负压管路和所述排泡管路上的阀门交替开启和关闭，即所述负压管路上的阀门开启时所述排泡管路上的阀门关闭，所述排泡管路上的阀门开启时所述负压管路上的阀门关闭。

根据本实用新型一优选实施例，所述储液箱为圆锥体结构。

相对于现有技术，本实用新型提供的用于排出液态材料中气泡的排气系统及其缓冲存储装置，该存储装置的结构简单，操作方便，通过设置椎体状的储液箱结构，可较快地改善、去除高黏度液态材料使用过程中产生的气泡。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型用于排出液态材料中气泡的缓冲存储装置一优选实施例的结构示意图；

图2是液态材料进入到储液箱的状态示意图；

图3是气泡从储液箱排出的状态示意图；以及

图4是液体材料中的气泡在负压作用下溢出液体材料的状态示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，图1是本实用新型用于排出液态材料中气泡的缓冲存储装置一优选实施例的结构示意图。

该存储装置包括储液箱110、液体输入管路120、液体输出管路130、排泡管路140以及负压管路150。

具体而言，该储液箱110优选为椎体结构，顶部为椎体大端111，底部为椎体小端112，进一步地，储液箱110可以为圆锥体或者槽椎体等结构。在本领域技术人员的理解范围内，此处不再一一列举。

该液体输入管路120与储液箱110的顶部连通，用于将液态材料输入到储液箱110中。该液体输入管路120的另一端用于与上游的设备连通。

请参阅图2，图2是液态材料进入到储液箱的状态示意图，液态材料从液体输入管路120被压入储液箱110的过程中，很容易产生大量气泡。图中标号888为气泡。

该液体输出管路130与储液箱110的底部连通，用于将排泡后的液态材料输出。液体输出管路130的另一端用于与下游设备连通，下游设备可以为液体材料存储设备、液体材料使用设备或者液体材料加工设备等。

排泡管路140与储液箱110的顶部连通，用于将从储液箱110内液态材料中溢出的气泡排出储液箱110。

具体请请参阅图3，图3是气泡从储液箱排出的状态示意图。排泡管路140上设有阀门141。在排气泡是，将排泡管路140上的阀门141打开，气泡888开始缓慢上升，由于储液箱110呈漏斗形，液体上表面面积很大，有利于气泡888较快的上浮，并通过排泡管路140排出去，从而保证尽可能少的气泡888进入到液体输出管路130内。

对于一些黏度特别大的材料，气泡888依靠自身浮力很难上升到表面，因此，本实施例中的存储装置还设置有负压管路150，负压管路150一方面与储液箱110的顶部连通，另一方面与负压发生设备(图中未标示)连接，用于在储液箱110内产生负压，进而加快液态材料中气泡888的溢出速度。

具体而言，负压管路150上设有阀门151，在对一些粘稠度大的液体进行排气泡时，则可将负压管路150上的阀门151打开，同时将排泡管路140上的阀门141关闭，利用负压发生设备产生负压，促使气泡888较快地上升到表面。

请参阅图4，图4是液体材料中的气泡在负压作用下溢出液体材料的状态示意图，图中梯形虚线框表示在负压发生设备作用下储液箱110内产生的负压区域。

优选地，在本实施例中，负压管路150和排泡管路140通过同一个接口与储液箱110的顶部连通，即负压管路150和排泡管路140相互连通。且负压管路150和排泡管路140上分别设有阀门(151、141)，以分别控制负压管路150和排泡管路140的开启和关闭。

其中，阀门(151、141)交替开启和关闭，即负压管路150上的阀门151开启时，排泡管路140上的阀门141关闭，用以保持储液箱110内的负压；排泡管路140上的阀门141开启时，负压管路150上的阀门151关闭，以便排出气体不会沿着负压管路150进入到负压发生设备，以免污染负压发生设备。

相对于现有技术，本实用新型提供的用于排出液态材料中气泡的缓冲存储装置，该存储装置的结构简单，操作过程方便，通过设置椎体状的储液箱结构，可较快地改善、去除高黏度液态材料使用过程中产生的气泡。

另外，本实用新型实施例还提供一种用于液态材料的排气系统，该排气系统包括存储装置以及负压发生设备。

请参阅图1，图1是本实用新型用于排出液态材料中气泡的缓冲存储装置一优选实施例的结构示意图。

该存储装置包括储液箱110、液体输入管路120、液体输出管路130、排泡管路140以及负压管路150。

具体而言，该储液箱110优选为椎体结构，顶部为椎体大端111，底部为椎体小端112，进一步地，储液箱110可以为圆锥体或者槽椎体等结构。在本领域技术人员的理解范围内，此处不再一一列举。

该液体输入管路120与储液箱110的顶部连通，用于将液态材料输入到储液箱110中。该液体输入管路120的另一端用于与上游的设备连通。

请参阅图2，图2是液态材料进入到储液箱的状态示意图，液态材料从液体输入管路120被压入储液箱110的过程中，很容易产生大量气泡。图中标号888为气泡。

该液体输出管路130与储液箱110的底部连通，用于将排泡后的液态材料输出。液体输出管路130的另一端用于与下游设备连通，下游设备可以为液体材料存储设备、液体材料使用设备或者液体材料加工设备等。

排泡管路140与储液箱110的顶部连通，用于将从储液箱110内液态材料中溢出的气泡排出储液箱110。

具体请请参阅图3，图3是气泡从储液箱排出的状态示意图。排泡管路140上设有阀门141。在排气泡是，将排泡管路140上的阀门141打开，气泡888开始缓慢上升，由于储液箱110呈漏斗形，液体上表面面积很大，有利于气泡888较快的上浮，并通过排泡管路140排出去，从而保证尽可能少的气泡888进入到液体输出管路130内。

对于一些黏度特别大的材料，气泡888依靠自身浮力很难上升到表面，因此，本实施例中的存储装置还设置有负压管路150，负压管路150一方面与储液箱110的顶部连通，另一方面与负压发生设备(图中未标示)连接，用于在储液箱110内产生负压，进而加快液态材料中气泡888的溢出速度。

具体而言，负压管路150上设有阀门151，在对一些粘稠度大的液体进行排气泡时，则可将负压管路150上的阀门151打开，同时将排泡管路140上的阀门141关闭，利用负压发生设备产生负压，促使气泡888较快地上升到表面。

请参阅图4，图4是液体材料中的气泡在负压作用下溢出液体材料的状态示意图，图中梯形虚线框表示在负压发生设备作用下储液箱110内产生的负压区域。

优选地，在本实施例中，负压管路150和排泡管路140通过同一个接口与储液箱110的顶部连通，即负压管路150和排泡管路140相互连通。且负压管路150和排泡管路140上分别设有阀门(151、141)，以分别控制负压管路150和排泡管路140的开启和关闭。

其中，阀门(151、141)交替开启和关闭，即负压管路150上的阀门151开启时，排泡管路140上的阀门141关闭，用以保持储液箱110内的负压；排泡管路140上的阀门141开启时，负压管路150上的阀门151关闭，以便排出气体不会沿着负压管路150进入到负压发生设备，以免污染负压发生设备。

相对于现有技术，本实用新型提供的用于排出液态材料中气泡的排气系统，其存储装置的结构简单，操作过程方便，通过设置椎体状的储液箱结构，可较快地改善和去除高黏度液态材料使用过程中产生的气泡。

以上所述仅为本实用新型的部分实施例，并非因此限制本实用新型的保护范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效装置或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。