一种新型模块化硅片传送机构的制作方法

本实用新型属于传送设备技术领域，尤其是涉及一种新型模块化硅片传送机构。

背景技术：

在硅片加工过程中，切割后的硅片通过传送装置将其运送到收集装置上，现有的传送机构包括轴、轴承和电机，操作过程中，若轴、轴承或电机的中任意一个部件损坏，都必须将损坏部件进行拆卸修理，但是拆卸过程十分困难，耗费维修时间，影响生产进度。

技术实现要素：

本实用新型要解决的问题是提供一种拆卸方便、有效缩短维修时间的新型模块化硅片传送机构。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种新型模块化硅片传送机构，包括相对设置的第一工作台和第二工作台，所述第一工作台靠近所述第二工作台的侧壁上设有第一固定座，所述第一固定座通过第一螺栓与所述第一工作台固定连接，所述第二工作台设有与所述第一固定座相对的第二固定座，所述第二固定座通过第二螺栓与所述第二工作台固定连接，所述第一固定座和第二固定座的上表面位于同一水平面上，所述第一固定座的上端面设有第一定位柱，所述第一定位柱的两侧设有第一贯通孔，所述第一定位柱与第一贯通孔的中心连线与所述第一工作台平行，所述第二固定座的上端面设有与所述第一定位柱相对的第二定位柱，所述第二定位柱的两侧设有第二贯通孔，所述第二定位柱与第二贯通孔的中心连线与所述第二工作台平行，所述第一固定座和第二固定座上设有传送机构，所述传送机构包括轴承座、传送轴和电机，所述轴承座的上端面设有与所述第一贯通孔相对应的第三贯通孔，所述轴承座的下端面设有与所述第一定位柱相匹配的第一定位孔，所述轴承座的侧壁上设有轴承安装腔，所述轴承安装腔内过盈配合安装有轴承，所述传送轴的一端与所述轴承连接，所述传送轴的另一端通过联轴器与所述电机的输出轴连接，所述电机固定设在底座上，所述底座上设有与所述第二贯通孔相对应的第四贯通孔，所述底座的下端面上设有与所述第二定位柱相匹配的第二定位孔，所述轴承安装腔与所述电机的输出轴位于同一条中轴线并且此中轴线与所述第一定位孔和第二定位孔的中轴线垂直相交，所述轴承座通过第一定位柱和第一定位孔设在所述第一固定座上并通过异型螺杆贯穿所述第一贯通孔和第三贯通孔进行固定连接，所述异型螺杆的下端设有卡扣，所述电机通过第二定位柱和第二定位孔设在所述第二固定座上并通过异形螺杆贯穿所述第二贯通孔和第四贯通孔进行固定连接，所述异形螺杆的下端设有卡扣。

进一步地，垂直所述轴承的外表面焊接设有内螺纹管，所述轴承安装腔上设有与所述内螺纹管相匹配的放置腔，所述轴承座的上端面设有导向孔，所述导向孔与所述放置腔相连通，所述导向孔内设有第三螺栓并与内螺纹管螺纹固定连接。

进一步地，所述异型螺杆包括螺帽和螺杆，所述螺帽和螺杆一体成型，所述螺杆下端等距离设有若干个环形凹槽。

进一步地，相邻两个所述环形凹槽的最小距离为3cm-6cm。

进一步地，所述卡扣包括第一半圆形片和第二半圆形片，所述第一半圆形片和第二半圆形片的内直径与所述螺杆的直径相等，所述第一半圆形片和第二半圆形片的一端铰接连接，所述第一半圆形片和第二半圆形片内设有两个与所述环形凹槽相匹配的半圆形凸块，两个所述半圆形凸块之间的距离与相邻两个所述环形凹槽的之间的距离相等，所述第一半圆形片的自由端设有固定钩，所述第二半圆形片的自由端设有与所述固定钩相匹配的固定环。

进一步地，所述固定钩的个数为2个以上。

与现有技术相比，本实用新型具有的优点和有益效果是：

1、本实用新型通过将整个传送机构通过异型螺杆和卡扣固定在第一固定座和第二固定座上，当传送机构中任一一个零件损坏时，能够快速的将卡扣和异形螺杆进行拆卸，将传送机构进行整体更换，本实用新型采用模块化的硅片传送机构，实现更换速度快，有效缩短维修时间；

2、本实用新型通过对定位杆、轴承安装腔和电机输出轴之间的位置关系的设计，能够有效保证在将更换的传送机构安装到第一固定座和第二固定座上时，使传送机构的同轴度保持良好，有效节省了调节同轴度的时间，更换速度快。

附图说明

图1是本实用新型一种新型模块化硅片传送机构的爆炸式结构示意图。

图2是图1中A处放大图。

图3是本实用新型一种新型模块化硅片传送机构的装配结构示意图。

图4是本实用新型一种新型模块化硅片传送机构的异形螺杆的结构示意图。

图5是本实用新型一种新型模块化硅片传送机构的卡扣的结构示意图。

图中：1-第一工作台；2-第二工作台；3-第一固定座；4-第一螺栓；5-第二固定座；6-第二螺栓；7-第一定位柱；8-第一贯通孔；9-第二定位柱；10-第二贯通孔；11-传送机构；12-轴承座；13-传送轴；14-电机；15-第三贯通孔；16-轴承安装腔；17-轴承；18-联轴器；19-底座；20-第四贯通孔；21-异形螺杆；22-卡扣；23-内螺纹管；24-放置腔；25-导向孔；26-第三螺栓；27-螺帽；28-螺杆；29-环形凹槽；30-第一半圆形片；31-第二半圆形片；32-半圆形凸块；33-固定钩；34-固定环。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作详细说明。

如图1-图5所示，一种新型模块化硅片传送机构，包括相对设置的第一工作台1和第二工作台2，第一工作台1靠近第二工作台2的侧壁上设有第一固定座3，第一固定座3通过第一螺栓4与第一工作台1固定连接，第二工作台2设有与第一固定座3相对的第二固定座5，第二固定座5通过第二螺栓6与第二工作台2固定连接，第一固定座3和第二固定座5的上表面位于同一水平面上，第一固定座3的上端面设有第一定位柱7，第一定位柱7的两侧设有第一贯通孔8，第一定位柱7与第一贯通孔8的中心连线与第一工作台1平行，第二固定座5的上端面设有与第一定位柱7相对的第二定位柱9，第二定位柱9的两侧设有第二贯通孔10，第二定位柱9与第二贯通孔10的中心连线与第二工作台2平行，第一固定座3和第二固定座5上设有传送机构11，传送机构11包括轴承座12、传送轴13和电机14，轴承座12的上端面设有与第一贯通孔8相对应的第三贯通孔15，轴承座12的下端面设有与第一定位柱7相匹配的第一定位孔(未图示)，轴承座12的侧壁上设有轴承安装腔16，轴承安装腔16内过盈配合安装有轴承17，传送轴13的一端与轴承17连接，传送轴13的另一端通过联轴器18与电机14的输出轴连接，电机14固定设在底座19上，底座19上设有与第二贯通孔10相对应的第四贯通孔20，底座19的下端面上设有与第二定位柱9相匹配的第二定位孔(未图示)，轴承安装腔16与电机14的输出轴位于同一条中轴线并且此中轴线与第一定位孔和第二定位孔的中轴线垂直相交，轴承座12通过第一定位柱7和第一定位孔设在第一固定座3上并通过异型螺杆21贯穿第一贯通孔8和第三贯通孔15进行固定连接，异型螺杆21的下端设有卡扣22，电机14通过第二定位柱9和第二定位孔设在第二固定座5上并通过异形螺杆21贯穿第二贯通孔10和第四贯通孔20进行固定连接，异形螺杆21的下端设有卡扣22。

进一步地，垂直所述轴承17的外表面焊接设有内螺纹管23，所述轴承安装腔16上设有与所述内螺纹管23相匹配的放置腔24，所述轴承座12的上端面设有导向孔25，所述导向孔25与所述放置腔24相连通，所述导向孔25内设有第三螺栓26并与内螺纹管23螺纹固定连接，当轴承17安装到轴承座12上时，通过第三螺栓26与内螺纹管23的连接对轴承17进行进一步的固定，固定效果好，同时能够有效防止传送机构11的同轴度产生偏移。

进一步地，所述异型螺杆21包括螺帽27和螺杆28，所述螺帽27和螺杆28一体成型，所述螺杆28下端等距离设有若干个环形凹槽29，相邻两个所述环形凹槽29的最小距离为3cm-6cm。

进一步地，所述卡扣22包括第一半圆形片30和第二半圆形片31，所述第一半圆形片30和第二半圆形片31的内直径与所述螺杆28的直径相等，所述第一半圆形片30和第二半圆形片31的一端铰接连接，所述第一半圆形片30和第二半圆形片31内设有两个与所述环形凹槽29相匹配的半圆形凸块32，两个所述半圆形凸块32之间的距离与相邻两个所述环形凹槽29的之间的距离相等，所述第一半圆形片30的自由端设有固定钩33，所述第二半圆形片31的自由端设有与所述固定钩33相匹配的固定环34。

进一步地，所述固定钩33的个数为2个以上，固定更牢固。

本实用新型的工作过程为：首先，将轴承17安装到轴承座12上的轴承安装腔16中，并通过第三螺栓26将其进行进一步固定，将传送轴13的一端过盈安装到轴承17中，另一端通过联轴器18与电机14的输出轴相连接，从而使传送机构11构成一个可整体拆卸的整体，然后整个传送机构11通过轴承座12和底座19下端的定位孔与固定座上的定位柱相连接，并将异形螺杆21分别穿过贯通孔后，通过卡扣22分别将轴承座12和第一固定座3固定连接以及将电机14与第二固定座5固定连接，若运行过程中，传送机构11中任意一个零件损坏，可以直接将卡扣22和异形螺杆21脱离，将整个传送机构11进行更换，更换速度快，有效节省维修时间，并且在更换过程中，通过定位柱与定位柱的相对位置关系的设定，以及定位孔与轴承安装腔16和电机14输出轴的相对位置关系设定，有效保证了传送机构11的同轴度。

卡扣22与异形螺杆21的连接形式为：将卡扣22内的半圆形凸块32放置到环形凹槽29内，捏紧第一半圆形片30和第二半圆形片31，将固定钩33与固定环34卡接，从而使卡扣22固定到异形螺杆21上，拆卸时，只需要将固定钩33和固定环34脱离即可，拆卸方便，快捷。

以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。