技术特征：
技术总结
本发明涉及一种半导体光刻板生产领域，尤其涉及一种半导体光刻板清洗的定位顶升输送滚轮装置。一种半导体光刻板清洗的定位顶升输送滚轮装置，该装置包括架体、输送滚轮装置、抓取定位装置和提升横移装置；架体固定在外罩机架组件上，输送滚轮装置包括侧板、传动轴和纵向滚轮，所述的抓取定位装置包括定位板、移动板和拨动架，所述的提升横移装置包括气缸固定板、顶升气缸、导向杆、连接板、滚轮安装条和横向滚轮，该装置实现了光刻板的定位，提高了自动化程度高，可以广泛用于工业生产之中。
技术研发人员：王加骇
受保护的技术使用者：王加骇
技术研发日：2018.06.14
技术公布日：2018.12.11