专利名称：带有闩锁门的运输组件的制作方法
本申请是于1996年7月12日提交的08／678，885号申请的部分继续申请。
本发明涉及晶片载体。更具体而言，它涉及具有盖或门以将晶片封闭在容器中的晶片容器。
已采用不同的方法将晶片封闭在容器中以供贮存或运输。一些容器已具有用于晶片的纵向槽，并且在其弹性挠性塑料的顶盖或盖子上具有卡合件。在这些载体中，当装上顶盖时，一般固定在顶盖上的被动软垫与晶片配合时发生挠曲。
半导体工业已涉及加工直径高达300mm的较大的晶片，并且正研究开发具有专用水平晶片定位的载体和输送容器。支承较大晶片所需的较大容器使传统的弹性挠性被动软垫难于制造和使用。
较大晶片载体所需的较大门需要在门上固定闩锁机构。理论上，这些机构在机械上应该是简单的，几乎不带有移动部分且没有金属部分。任何金属部分的存在可能导致金属颗粒的产生，这会在半导体加工中带来严重问题。
晶片容器具有由安装门的框架所限定的前部开口以及按该门安装框架而确定尺寸的门。该安装门的框架在相对侧面上具有槽，并且该门利用闩锁连杆机构，该闩锁连杆机将相应的闩锁部分从门的边缘部分延伸、提升、下降、收缩到门安装框架上的锁座中和离开该锁座。该门还具有被动晶片软垫或主动晶片接合壁，该臂向内伸向晶片以便当门就位时将晶片固定。门锁连杆机构、提升连杆机构以及根据需要的保持臂在门的内部联接到旋转的凸轮件。该凸轮件利用形成的凸轮表面，首先沿第一方向将闩锁部分伸入锁座且然后沿垂直于第一方向的第二方向移动闩锁部分以将门向内拉动并将门密封在容器部分上。根据需要，也可以伸出一个晶片保持臂。
本发明的一个优点和特征在于所采用的闩锁机构是由各部件中的最小件构成的，该各部件在机械上是简单的，但仍提供了有效且可靠的闩锁动作。
本发明的一个优点和特征在于门除了将其锁紧之外还能够保持晶片。所述锁紧和保持都是由门把手的单一旋转运动实现的。
本发明的另一特征和优点在于所述机构定位在门的内部，由此能减少由门机构所产生和散布的颗粒。
本发明的另一特征和优点在于所述门机构以适当顺序提供了锁紧和晶片保持。
本发明的另一特征和优点在于旋转凸轮件的凸轮表面可包括一个凸轮爪，以便将门简易地固定在锁紧位置并将晶片保持臂固定在接合位置。
图1是晶片容器和门的透视图。
图2是晶片容器门的透视图，将其前盖的一部分去掉以露出机构。
图3是可旋转凸轮件的透视图。
图4是闩锁臂的透视图。
图5是晶片接合臂的透视图。
图6是晶片接合臂驱动连杆的透视图。
图7是与后板配合的双臂曲柄的截面图。
图8是晶片接合部分的透视图。
图9是门后板内部的前视图。
图10A是处于闭合位置的门的示意图。
图10B是示出晶片接合臂位置的示意图。
图11A是其中闩锁臂伸出的门机构的示意图。
图11B是处于邻近位置的晶片接合臂的示意图，该晶片接合臂未相应于图11A所示的机构位置与晶片接合。
图12A是其中闩锁臂伸出而处于完全锁紧位置的机构的示意图。
图12B是相应于图12A所示机构位置的示意图，其中晶片接合臂以末端定位并与晶片接合。
图13A是在打开步骤中门的示意图，其中闩锁臂全部伸出。
图13B是相应于图13A所示机构位置的视图，其中晶片接合臂在其邻近位置与晶片脱开。
图14A是门的示意图，其中晶片机构返回到完全开锁的位置以打开所述门。
图14B相应于图14A所示的机构位置并示出保持在晶片脱开的晶片接合臂。
图14C是另一实施例的平面图。
图15是另一个运输组件的视图。
图16是利用手动把手的图15所示门的另一个实施例的透视图。
图17是图15所示的露出闩锁机构的分解透视图。
图18A是图17所示的将盖取下的右侧立视图。
图18B是沿图18A中线18B截取的截面图。
图19A是将顶板取下的图17所示门的右侧立视图。
图19B是沿图19A线中19B截取的截面图。
图20是一套闩锁连杆机构的透视图。
图21是大体上与图18B和19B相同的截面图，其中闩锁部分处于不同位置。
图22是露出晶片限制装置的门内部的透视图。
图23是门前部的透视图，其中将门板去掉以露出闩锁机构，该图也示出了主动晶片限制机构的另一实施例。
图24是与活塞接合的滑杆的详细透视图。
图25为示出了处于封闭件壁之套筒内的活塞的详细透视图。
图26为示出滑杆的一部分的详细透视图。
参照图1，图1示出晶片容器20大体上由容器部分22和协同操作的门24构成。容器部分具有多个晶片槽28，以便在大体水平面上插入和取出晶片W。这些槽由晶片导向件32和晶片支承架36限定。该容器部分一般具有前部开口40、封闭顶部42、封闭左侧44、封闭后侧46、封闭右侧48和封闭底部50。该图示出容器定位在设备界面52上。
门24座落在门安装框架60上并与之配合。门框架60具有两对相对的框架件、一对垂直的框架件64和一对水平的框架件68。垂直框架件具有一对孔或槽72、74，采用这些孔或槽以将门配合或锁紧在容器部分22上。门具有主动晶片保持装置以及门的闩锁装置。门具有中央定位的旋转件80，该旋转件80带有一安装在前盖86之凹槽84中的手动或自动把手81。前盖86是门封闭件90的一部分，它还包括门边缘部分94和在此视图中未示出的后板96。前盖86利用适当的机械紧固件98紧固。
图2示出门20的透视图，其中将前盖86的一部分取下露出门机构100，该门机构100包括闩锁机构101和晶片保持机构102，这二者共用一些部件。门机构的单独部件在图3、4、5和6中示出，其包括旋转凸轮件110、带有相连的双臂曲柄113的晶片接合臂112、闩锁臂118和晶片接合臂的驱动连杆120。
参照图2和3，旋转凸轮件110具有一对形成凸轮表面116的闩锁臂凸轮孔114。凸轮孔114具有相对的端部123，在其一端具有由塑料突出物形成的凸轮爪122。凸轮爪122通过设置凸轮爪孔124而呈柔性弹性地制成。旋转凸轮件110还包括一对相对的晶片接合凸轮孔130，该孔形成晶片接合凸轮表面132。此外，通过其中一个凸轮表面132上的突出物而设置了晶片接合凸轮爪134，并且该晶片接合凸轮爪134通过邻近于晶片接合凸轮孔130之端部138的凸轮爪孔136而呈柔性弹性地制成。可旋转凸轮件具有中心孔150，以用来利用轴152将旋转凸轮件110定位和固定在门的后板96上。
参照图2和图4，每个闩锁臂118包括连接部分160和一对延伸部分162，这对延伸部分162包括闩锁部分164，该闩锁部分构造成配合在门安装框架60的凹槽或孔72、74中。每个闩锁臂具有凸轮从动件166，它成形为从臂118的大体平面部分168突出的轴或凸起。
参照图5、7和8，各晶片接合臂112由晶片边缘接合部分170构成，双臂曲柄113具有连接槽174和枢轴表面176。晶片边缘接合部分170适于由Hytrel制成。
参照图6，示出了晶片接合臂驱动连杆120，它具有凸轮从动件196和铰链195。
闩锁臂118定位在旋转凸轮件110和驱动连杆120之间。闩锁部分的尺寸确定成可通过门边缘部分94中的槽216滑动伸出和缩回。凸轮从动件166伸入凸轮从动件孔118并进一步进入后板凹槽200。顶盖组装在门边缘部分94上，以形成门封闭件90。操作前、后板之间相对受限制的空间以稳定和保持机构100。
各部件以下述方式组装。参照图2和9，门的后板96具有成矩形角对准的四个孔186。后板具有四个圆柱形销190，该锁定位在各孔中并与后板96整体形成。销190的尺寸大致定成与双臂曲柄113嵌合以便使双臂曲柄113在销190上转动。双臂曲柄113的槽174借助于铰链195中的销194与接合臂驱动连杆120接合。各驱动连杆120具有凸轮从动件196，该凸轮从动件196与晶片接合臂凸轮表面132接合并且也接合在后板96的凹座或凹槽200中。所述凹槽形成在从后板向前板向上延伸的突出凸起202中。从后板96向上延伸的还有多个可旋转凸轮件支承杆210，可旋转凸轮件80支承在该支承杆210上。所述支承杆可具有便于将台形凸轮件110固定就位的凸耳212。图7的实施例采用的是槽186而不是如图2所示的大体方形的孔。另外，销190与定位在图2所示的孔侧边相反，该销定位在槽186的中间。
装置的操作如下。参照图2并依次参照图10A、10B至图14A、14B中的各图，首先通过手动或自动装置将门放置在容器部分22的门安装框架60内。在图2所示的实施例中，可旋转凸轮件沿逆时针方向转动。闩锁臂的凸轮从动件166与可旋转凸轮件的凸轮表面116接合，使得闩锁臂由于所述凸轮孔114的特定形状而向外滑动。当闩锁臂118向外伸出时，闩锁部分164穿过孔216且伸入位于门安装框架60的竖直框架件上的槽72、74中。具体参照图11A，晶片接合臂在此处并未延伸。图12A所示的凸轮状晶片部分的进一步转动并未使闩锁臂118进一步显著移动，但向外推动了晶片接合臂驱动连杆120的凸轮从动件196，从而转动双臂曲柄113，将驱动连杆120的侧向运动转变为晶片接合臂112朝向晶片的向外运动。因此，图12B示出相对于门封闭件处于末端位置和处于晶片接合位置的晶片接合臂。随着凸轮件逆时针转动满90°，凸轮从动件196和166移过凸轮爪134、122，由此将凸轮件锁定在图12A和12B所示的位置。为了打开和取下所述门，首先凸轮件沿顺时针方向旋转到图13A和13B所示的位置，在该位置晶片接合臂112从晶片缩回并接着到达图13A和13B所示的邻近位置，在该邻近位置闩锁臂118也从门安装框架的槽中退出。
图14C示出了本发明的另一实施例，其中用以伸出和缩回闩锁部分的装置以及用以在邻近位置和末端位置之间移动晶片接合部件的装置包括连杆机构211、212和接头213，而不包括凸轮表面和凸轮从动件。在这种结构中，可旋转部件110可以利用连杆212的过中心位置而锁定在锁紧位置，该过中心位置由标号216标注的虚线示出。在该图示出的具体结构中，闩锁臂和晶片接合臂的所有驱动是通过可旋转部件110转动大约1／8周而实现的。箭头219示出将闩锁臂118和图中未示出的晶片接合臂112完全延伸的旋转方向。
门机构100的单独部分可适于由碳纤维聚碳酸酯制成以提供静态耗散特性。门的前板和后板由聚碳酸酯制成。
参照图15、16、17、18A、18B、19A、19B和20，图中示出了带有另一种闩锁和晶片保持机构的运输组件，该组件以标号220表示，并且它主要由容器部分222和协同操作的门224构成。容器部分一般具有前部开口240、封闭顶部242、封闭左侧244、封闭后侧246、封闭右侧248和封闭底部250。底部250还包括机器界面252。容器部分222包括多个轴向对齐的晶片W，其中晶片的平面大致水平。容器部分222具有大体上呈矩形的门框架260，该门框架260的两对相对的框架件具有一对竖直件264和一对水平件268。各水平件268具有两个锁座272、274，每个锁座包括槽275。采用锁座将门接合、锁紧和密封到容器部分222上。所述门具有一对钥匙孔278，以用来与此图中未出的内部闩锁机构连通。门224包括一对面向外的板，该板由左板285和右板286组成。门具有边缘部分294，它包括形成门安装部分295配合在门框架260中的外周边，面向外的板285、286也具有形成闩锁指示器297一部分的孔296。门边缘部分包括构造成位于门边缘部分294上的槽299的四个开口。
参照图16、17和20，具有闩锁机构的门224在图中详细示出。图16示出另一种结构，其中钥匙孔278由手动操作把手302补充。应当指出的是门的左侧304具有从槽299伸出的闩锁部分306。右侧307具有位于相应于缩回锁紧位置的水平位置中的把手。参照图17，示出了露出内部闩锁机构300的门224的分解视图，各闩锁机构300由可旋转凸轮件310和两套闩锁连杆机构311构成。可旋转凸轮件310具有一对构造成槽314的第一凸轮引导件314和一对构造成位于凸轮中的孔或槽的第二凸轮引导件315。各套闩锁连杆机构311由闩锁臂或连杆机构和提升臂或连杆机构319构成。这里所用的“连杆机构”应包括分段的部件或两个或多个连接在一起的单独部分。
各闩锁连杆机构318具有大体上为矩形的平面部分359、带有由闩锁部分306组成的定位末端362的两个端部361和362。邻近可旋转凸轮件210的端部361具有凸轮从动件366和位于两个端部之间的被构造成斜面接合部分的第一提升部分368。闩锁连杆具有与相应闩锁连杆机构318配合的下侧面导向件370。
各提升连杆机构319具有一对上侧面引导件374，该引导件374与闩锁连杆机构318的下侧面引导件370配合，以限制连杆机构318、319的侧向运动。提升连杆机构319具有近端380和相对端390，近端380带有凸轮从动件382，相对端390包括构造成斜面的第二配合提升部分394。第一和第二提升部分包括使闩锁部分偏转的偏转装置。
参照图18A、18B、19A、19B和21，图中示出了闩锁机构300的操作细节。当如图1所示将门从容器部分222上取下时，如图18A和18B具体示出闩锁部分306一般缩回到门封闭件404的内部。应当指出，图18A和19A相应于将右侧板286取下的门右侧307的前视图。图18A和18B示出了处于完全缩回位置的闩锁。通过将钥匙插入钥匙孔中或者通过手动把手302而转动凸轮件310，从而导致凸轮件310的顺时针转动。第一凸轮引导件314和第二凸轮引导件315沿径向彼此等距间隔开，以便第一次转动约22．5°。在第一次局部转动的过程中，每套连杆机构311从图18B所示的位置一起移向图21所示的位置。在凸轮下一次转动22．5°的过程中，闩锁连杆机构318与第一凸轮引导件314维持相对固定，第一凸轮引导件314在这第二个22．5°圆弧中距凸轮中心具有相对固定的径向距离。在第一个22．5°的圆弧411中，闩锁连杆机构318相对于门沿以标号414表示的箭头所指第一方向向外伸出，该第一方向相应于坐标系统425中的“y”轴。在第二个22．5°的圆弧412中，提升连杆机构319从图21所示的位置移向图19B所示的位置，并且沿标号415箭头所示的第二方向移动闩锁连杆机构318的闩锁部分306。第二方向415相应于“z”轴。当此发生时，门相对于容器部分被向内推，在门框架260和门边缘部分294、具体是弹性环420之间产生牢固密封。
参照图19A，应当指出，指示孔430是闩锁指示器297的一部分，它定位于紧邻凸轮轴线434的左面。这相应于图17所示右前板286中的孔296的位置。因此，当凸轮处于完全顺时针转动的位置中且闩锁部分306处于图21所示完全伸出且向内推的位置中时，孔430与孔296对齐，提供了门处于所述完全锁紧位置的可视指示。
应当指出，图18A、18B、19A、19B和17示出凸轮，描绘出在每个槽上的附加第五凸轮导路440。这相当于如前文讨论并在图2-15中示出的增加一主动晶片限制装置的方案。另外，将公开主动晶片限制系统的另一实施例。
参照图22，示出门224的整体侧面460。从门的表面462伸出的是一对晶片限制件470。这样构造成的限制件可以仅固定到门上的被动方式使用或以向内伸向门内部且向外伸向门的主动方式使用。图22-26中示出了实现这种动作的一个机构。参照图23，第五凸轮引导件440与作为滑杆476一部分的凸轮从动件474配合。滑杆476与和门封闭件104整体形成的引导件479配合。滑杆476背面的引导件482与封闭件上的引导件479接合。
滑杆476包括凸轮引导件486，它与固定到活塞494上的凸轮从动件490接合，该活塞494穿过门封闭件404上的孔500，并且具体地说是与衬套504配合，且进一步由O形环506密封。滑杆476进一步由门224的面向外的左板285限制。
当凸轮件310从图23所示的位置顺时针转动时，滑杆相对于“x”方向被推向左面，它使凸轮从动件490沿箭头509所示方向向下滑动凸轮引导件486。这相应于活塞朝向容器部分内部的运动且因此当门固定在容器部分上时，这相应于与活塞接合的晶片限制件移向晶片且与之接合的运动。滑杆476、凸轮引导件486和凸轮从动件490是运动转换机构514的一部分。
或者，如先前实施例中所讨论的曲柄设置也同样适用。
本发明在不脱离其精神和基本特征的条件下可以以其它具体形式体现，因此希望本实施例的所有方面都是示意性的而不是限制性的，参考附属的权利要求书而不是前面描述来确定本发明的范围。
权利要求
1．一种晶片运输组件，它包括a)以水平设置盛装晶片的容器部分(222)，该容器部分具有门框架和前部开口(240)，该门框架(260)具有锁座(272)；以及b)安装在门框架上的门(224)，该门包括i)具有闩锁部分(306)的闩锁连杆机构(311)，该闩锁部分(306)沿第一方向向外伸向锁座(272)；以及ii)邻近于闩锁连杆机构(311)且沿基本上平行于第一方向的方向移动的提升连杆机构(319)，至少提升连杆机构和提升部分中的一个具有斜面(394)，从而当提升连杆机构相对于提升部分移动时，斜面使得提升连杆机构(319)沿基本上垂直于第一方向的第二方向移动。
2．一种晶片运输组件，它包括a)具有前部开口(240)的容器部分(222)，以便以轴向对齐的水平取向保持所述晶片，该容器部分具有用于插入和取出晶片的前部开口；b)用于封闭前部开口的门(224)，该门(224)包括用于将门固定于容器部分的闩锁机构(300)；以及c)可移动离开和移向门(224)的晶片接合臂(112)，由此当门处于封闭前部开口(240)的位置时，该晶片接合臂移动成与晶片接合和与晶片脱离接合。
3．一种晶片运输组件(20)，它包括a)盛装晶片的容器部分(222)，该容器部分具有限定门前部开口(240)的大体上为矩形的门框架(260)，该门框架具有锁座(272)；b)安装在门框架(260)上以覆盖门前部开口(240)的门(224)，该门包括i)外支座部分(295)，其尺寸定成与大体上矩形的门框架(260)接合，当将门安装在门框架中时，外支座部分(295)具有相应于锁座(272)的开口；ii)位于敞开内部的至少局部旋转的凸轮件(310)，该凸轮件从门的外部局部旋转并具有第一凸轮引导件(314)和第二凸轮引导件(315)；iii)具有两端部(361，362)的闩锁连杆机构(311)，一端具有与第一凸轮引导件(314)接合的凸轮从动件(366)，另一端具有延伸到外支座部分(295)开口中的闩锁部分(306)，闩锁连杆机构(318)具有位于两端部之间的第一提升部分(368)，第一凸轮引导件构造成相对于门沿第一方向将闩锁部分向外延伸到锁座中；以及iv)具有凸轮端(390)的提升连杆机构(319)，该凸轮端具有与第二凸轮引导件(315)接合的凸轮从动件(382)，该提升连杆机构与第一提升部分接合，第一提升部分和第二提升部分(394)相互叠置，所述第一提升部分和第二提升部分中的至少一个具有斜面(394)，另一个具有与斜面接合的表面(368)，第二凸轮引导件构造成相对于闩锁连杆机构(311)移动提升连杆机构(319)，由此，与斜面接合的部分支承在上述斜面上以便当闩锁部分位于锁座中时沿基本上垂直于第一方向的第二方向移动闩锁连杆机构。
4．根据权利要求3所述的运输组件，其特征在于，该门还包括安装于其上以便接合并限制晶片的晶片保持装置(470)。
5．根据权利要求4所述的运输组件，其特征在于，凸轮件还包括与晶片接合的凸轮引导件(314)；并且晶片保持装置可移动地安装在门上并可移向和离开敞开内部，运动转换连杆机构(514)在晶片保持装置和与晶片接合的凸轮引导件之间延伸，该运动转换连杆机构(514)构造成使得凸轮件的转动能使晶片保持装置向外伸出。
6．根据权利要求3所述的运输组件，它还包括晶片保持机构(102)，该晶片保持机构(102)包括向内和向外移动的晶片接合臂(112)以及连接到该晶片接合臂的驱动连杆(120)，该驱动连杆具有与和晶片接合的凸轮引导件配合的凸轮从动件(196)，从而当凸轮件转动时，驱动连杆使晶片接合臂(112)向外伸出，以便与晶片的边缘部分接合，由此保持所述晶片。
7．根据权利要求3所述的运输组件，它还包括门上的主动晶片保持机构(102)。
8．根据权利要求3所述的运输组件，它还包括门上的主动晶片保持装置(102)，该保持装置与凸轮件(310)接合。
9．一种用于晶片的运输组件，它包括具有门开口(240)的容器部分(222)和门(224)，该门(224)的尺寸确定成可封闭所述门开口并由此可安装在该门开口上，该容器部分具有邻近于门开口的锁槽(275)，该门包括a)具有周边(295)、敞开内部和位于其周边(295)的槽(299)的门封闭件，该槽(299)的位置邻近门的安装槽；b)从封闭件(404)的外部进行控制并可旋转地安装在封闭件内部的局部可转动件(310)；c)位于封闭件(404)内部的闩锁连杆机构(318)，其第一端(361)与可转动件连接，当转动件局部转动时，其第二端(362)沿第一方向经所述槽(299)向外伸出，该闩锁连杆机构具有位于第一端和第二端之间的第一提升部分(368)；以及d)提升连杆机构(319)，其近端(380)与可转动件连接，其协同操作的第二提升部分(394)定位于第一提升部分的附近，第二提升部分(394)沿平行于第一方向的方向移动，第一提升部分(368)和第二提升部分(394)中的一个具有斜面(394)，而另一个具有与斜面接合的部分(368)，从而当第二提升部分相对于第一提升部分移动时，与斜面接合的部分支承在上述斜面上，并且该提升连杆机构沿基本上垂直于第一方向的第二方向移动。
10．根据权利要求9所述的运输组件(20)，其特征在于，该门(224)还包括安装于其上以便接合并限制晶片的晶片保持装置(470，112)。
11．根据权利要求10所述的运输组件，其特征在于，凸轮件(310)还包括与晶片接合的凸轮引导件(314)；并且晶片保持装置(112)可移动地安装在门(224)上并可移向和离开敞开内部，运动转换连杆机构(514)在晶片保持装置和与晶片接合的凸轮引导件之间延伸，该运动转换连杆机构构造成使得凸轮件的转动能使晶片保持装置(112)向外伸出。
12．根据权利要求9所述的运输组件，它还包括晶片保持机构(102)，该晶片保持机构包括向内和向外移动的晶片接合臂(112)以及连接到该晶片接合臂(112)的驱动连杆(120)，该驱动连杆具有与和晶片接合的凸轮引导件配合的凸轮从动件，从而当凸轮件转动时，驱动臂使晶片接合臂(112)向外伸出，以便与晶片的边缘部分接合，由此保持所述晶片。
13．根据权利要求11所述的运输组件，它还包括门上的主动晶片保持机构(102)。
14．根据权利要求11所述的运输组件，它还包括门上的主动晶片保持装置(102)，该保持装置与凸轮件接合。
15．一种包括门(224)和容器部分(222)的运输组件，该容器部分具有前部开口(240)、封闭的左侧(244)、封闭的右侧(248)、封闭的顶部(242)、具有设备界面(252)的封闭的底部(250)、封闭的后侧(246)、位于内部以便以轴向对准的层叠方式安放晶片的多个晶片支承架(36)、以及位于前侧的门框架(60，260)，该门框架(60，260)具有四个锁座(272)，该门具有尺寸定成所述门框架的周边、具有敞开内部的左侧(304)以及具有敞开内部的右侧(307)，该左侧具有一对与门框架上的相应锁座对准的锁槽(299)，右侧具有另外一对与门框架上的相应锁座对准的锁槽(299)，该门还在其每个左侧和右侧包括一旋转凸轮件(310)和位于各相应敞开内部的两套闩锁连杆机构(311)，各转动凸轮件(310)具有两套凸轮引导件(314，315)，其中一套闩锁连杆机构(311)相应于一套凸轮引导件并与之接合，每套闩锁连杆机构包括与第一凸轮引导件接合并伸到其中一个锁槽的第一闩锁连杆机构(318)；以及平行于该第一闩锁连杆机构延伸的协同操作的提升连杆机构(319)，该提升连杆机构具有斜面部分(394)，该闩锁连杆机构具有与斜面接合的部分(366)，该凸轮引导件构造成使得当门处于门框架中且转动部分转过第一个弧度时，该提升连杆机构沿第一方向向外移动通过锁槽进入相应的锁座，并且提升连杆机构基本上沿其移动，从而当转动部分转过第二个相邻的弧度时，闩锁连杆机构相对于上述第一方向保持相对静止，而提升连杆机构相对于所述闩锁连杆机构移动，从而斜面楔合在与斜面接合的部分下面并且闩锁臂沿基本上垂直于第一方向的第二方向被推动。
16．一种晶片运输组件(20)，它包括容器部分(222)，该容器部分(222)具有限定开口(240)的门框架(260)，门框架具有锁座(272)，容器部分(222)还包括门(224)，门包括可延伸的以便与锁座(272)接合的闩锁部分(306)，偏转所述闩锁部分的闩锁偏转装置(394，368)使得当门位于门框架中且闩锁部分处于其延伸位置时，该门被推向关闭位置。
17．根据权利要求16所述的运输组件，其特征在于，该门还包括安装于其上以便接合并限制晶片的晶片保持装置(102)。
18．根据权利要求17所述的运输组件，其特征在于，晶片保持装置可移动地安装在门上并可移向和离开敞开内部，并且该晶片保持装置可操纵地与闩锁部分连接。
全文摘要
一种晶片容器,它具有由门框架限定的前部开口和门。该门框架在相对侧上具有槽且利用闩锁连杆和提升连杆将闩锁部分从门伸出、提升、下降和缩回到门框架的锁座中。门具有被动晶片软垫或主动晶片接合臂,当门就位时,该晶片接合壁向内伸向晶片以固定晶片。闩锁连杆、提升连杆及保持臂连接到门内部的转动凸轮件。凸轮件的凸轮表面构形成沿第一方向使闩锁部分伸入锁座且沿垂直于第一方向的第二方向移动闩锁部分以向内推门并将门密封于容器部分。
文档编号B65D6/40GK1205299SQ98115699
公开日1999年1月20日 申请日期1998年7月10日 优先权日1997年7月11日
发明者D·L·奈瑟斯, D·J·克拉马波迪 申请人:氟器皿有限公司