洁净天车避障控制系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体加工设备技术，尤其涉及一种洁净天车避障控制系统。
【背景技术】
[0002]在半导体行业中，自动化物料搬运系统(Automatic Material Handling System ；AMHS)是业界最灵活的集合储存、运输和管控FAB厂不同制程区域之间以及制程设备，量测机台和stockers之间的制品搬运解决方案。而洁净天车(Overhead Hoist Transfer ；0ΗΤ)则是该系统中最主要的执行部件。
[0003]当多台洁净天车在运行过程中，会与工作人员、生产设备有直接交互，这就需要OHT具有完善的避障功能，确保工作人员人身安全及天车与生产设备的完好。现有OHT的避障系统比较复杂，有天车间的避障，也有天车与轨道周围环境间的避障，还有天车与下方设备与人之间的避障，而不同厂家间的避障传感器与控制系统间的控制方式有多种形式，相互间不兼容，并且为了将这些传感器集成到控制系统里需要增加许多接口模块，而这种方式造成控制结构比较分散，不利于天车控制系统的整体控制，并且使天车核心控制器的功能复杂化。
【发明内容】
[0004]本发明提供一种开放式的集成多种接口功能的、可自主完成洁净天车避障控制的控制系统。
[0005]一种洁净天车避障控制系统，包括:
[0006]避障传感模块，包括所述洁净天车的全部避障传感器，用于检测所述洁净天车工作区域的避障信息；
[0007]避障接口模块，包括控制接口电路，所述避障接口模块通过所述控制接口电路信号连接于所述避障传感模块，所述避障接口模块用于获取所述避障传感模块检测到的避障信息；
[0008]主控逻辑模块，信号连接于所述避障接口模块，用于采集所述避障接口模块获取的避障信息；
[0009]中央处理模块，信号连接于所述主控逻辑模块，用于实时采集所述主控逻辑模块获取的避障信息，并结合所述洁净天车当前所处位置值发送相应的控制指令；及
[0010]上位通讯模块，信号连接于所述中央处理模块，用于接收所述控制指令，并将所述控制指令发送给所述洁净天车的核心控制器，所述核心控制器根据所述控制指令对所述洁净天车的运行状态进行调整。
[0011]优选地，还包括参数存储模块，所述参数存储模块信号连接于所述中央处理模块，所述中央处理模块还用于接收所述核心控制器发送的天车位置值，并根据所述天车位置值实时调整保护区域工作范围，并将避障参数存储到所述参数存储模块中。
[0012]优选地，所述避障传感器为车间避障传感器、轨道区域避障传感器及下视区域避障传感器中的至少一种。
[0013]优选地，所述车间避障传感器的控制接口为RS232，用于检测所述洁净天车前方及后方的天车是否在该洁净天车的避障区域内。
[0014]优选地，所述轨道区域避障传感器的控制接口为RS232或以太网，用于检测所述洁净天车运行前方轨道区域外的空间是否有障碍物。
[0015]优选地，所述下视区域避障传感器的控制接口为1或RS232，用于检测天车在向下抓取或放置晶圆盒时天车下方区域是否有障碍物。
[0016]优选地，所述避障接口模块的控制接口电路为以太网、RS232或1接口电路。
[0017]优选地，所述主控逻辑模块包含FPGA器件，所述主控逻辑模块将采集到的避障信息转换成并行总线控制信号。
[0018]优选地，所述中央处理模块为嵌入式CPU。
[0019]优选地，所述参数存储模块通过SPI串行总线存储所述避障参数。
[0020]本发明提供的一种洁净天车避障控制系统，通过避障传感模块检测所述洁净天车工作区域的避障信息，所述避障接口模块获取所述避障传感模块检测到的避障信息，主控逻辑模块采集所述避障接口模块获取的避障信息，中央处理模块实时采集所述避障接口模块获取的避障信息，并结合所述洁净天车当前所处位置值发送相应的控制指令，上位通讯模块接收所述控制指令，并将所述控制指令发送给所述洁净天车的核心控制器，所述核心控制器根据所述控制指令对所述洁净天车的运行状态进行调整，由于，避障控制系统集中控制全部避障传感器，洁净天车的核心控制器只需要通过通讯总线发送控制指令及天车当前位置值即可，不需要再对避障系统做任何操作，控制结构更加简单，降低了天车核心控制器的控制复杂度，并且省略了很多接口模块，节约了成本和节省了空间。
【附图说明】
[0021]图1为一实施方式的洁净天车避障控制系统的结构示意图。
【具体实施方式】
[0022]为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清晰，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
[0023]请参阅图1，图1为本发明提供的洁净天车避障控制系统的结构示意图100，包括避障传感模块110、避障接口模块120、主控逻辑模块130、中央处理模块140、上位通讯模块150。
[0024]避障传感模块110包括洁净天车的全部避障传感器。避障传感模块110用于检测洁净天车工作区域的避障信息。其中，避障传感器为车间避障传感器111、轨道区域避障传感器112及下视区域避障传感器113中的至少一种。车间避障传感器111的控制接口优选为RS232，用于检测洁净天车前方及后方的天车是否在该洁净天车的避障区域内；轨道区域避障传感器112的控制接口优选为RS232或以太网，用于检测所述洁净天车运行前方轨道区域外的空间是否有障碍物；下视区域避障传感器113的控制接口优选为1或RS232，用于检测天车在向下抓取或放置晶圆盒时天车下方区域是否有障碍物。
[0025]避障接口模块120包括控制接口电路。避障接口模块120通过控制接口电路信号连接于避障传感模块110，避障接口模块120用于获取避障传感模块110检测到的避障信息。其中，避障接口模块的控制接口电路为以太网、RS232或1接口电路。具体地，采用RS232的控制接口电路实现车间避障传感器111与避障接口模块120之间的信号连接，采用以太网或RS232的控制接口电路实现轨道区域避障传感器112与避障接口模块120之间的信号连接，采用RS232或1的接口控制电路实现下视区域避障传感器113与避障接口模块120之间的信号连接。可以理解，通过采用以太网、RS232或1的控制接口电路，避障接口模块120能够获取车间避障传感器111、轨道区域避障传感器112及下视区域避障传感器113采集的障碍信息。
[0026]主控逻辑模块130信号连接于避障接口模块120，用于采集避障接口模块120获取的避障信息。其中，主控