三甲基铟接收装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种接收装置，具体地，涉及一种三甲基铟接收装置。
【背景技术】
[0002]三甲基铟是LED外延生长中非常重要的一种金属有机化合物，三甲基铟在常温常压下为无色透明具有特殊臭味的升华性无色结晶，其化学性质非常活泼，遇水爆炸，遇空气燃烧，且三甲基铟为固体高纯金属有机源(Mo源)，因此按常规装置与方法接收使得三甲基铟极易暴露于空气中，导致起火等安全隐患，又由于三甲基铟在常温常压下为无色的结晶，使得在接收时容易造成接收管道堵塞。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的是提供一种三甲基铟接收装置，该三甲基铟接收装置避免料管堵塞，实现三甲基铟的安全接收。
[0004]为了实现上述目的，根据本实用新型的一方面，提供了一种三甲基铟接收装置，该三甲基铟接收装置包括解配釜、真空缓冲罐和手套箱，所述手套箱中设有密闭的粗品接收罐和顶部开口的冷阱，所述粗品接收罐设置在所述冷阱中，所述粗品接收罐通过料管连接所述解配釜并通过抽气管连接所述真空缓冲罐，所述料管的靠近所述粗品接收罐的一端设有接收阀，所述料管的靠近所述解配釜的一端设有出料阀，所述抽气管与所述粗品接收罐之间设有抽气阀，并且所述料管和所述抽气管中均设有加热丝。
[0005]优选地，所述三甲基铟接收装置还包括液氮罐，所述冷阱的底部设有液氮阀，所述液氮罐通过所述液氮阀连接所述冷阱，所述手套箱的顶部设有用于排出氮气的排气阀。
[0006]优选地，所述液氮阀和所述排气阀为电磁阀。
[0007]优选地，所述冷阱的一侧设有液位感应器，所述液氮阀和所述排气阀配置为根据所述液位感应器的感应液位进行开关切换。
[0008]优选地，所述三甲基铟接收装置还包括真空栗，所述真空栗连接所述真空缓冲罐以抽吸所述粗品接收罐内的尾气。
[0009]优选地，所述真空缓冲罐为多个，多个所述真空缓冲罐相互串联在所述粗品接收罐与所述真空栗之间。
[0010]优选地，所述真空缓冲罐设置在冷却装置中。
[0011 ] 优选地，所述手套箱为透明且密封的箱体。
[0012]优选地，所述冷阱内的底部设有平台支架，所述粗品接收罐设置在所述平台支架上。
[0013]优选地，所述接收阀与料管之间以及所述抽气阀与所述抽气管之间通过金属软管相连。
[0014]通过上述技术方案，本实用新型通过在粗品接收罐与解配釜之间的料管和粗品接收罐与真空缓冲罐之间的抽气管中设有加热丝，可以将料管中的三甲基铟气化至粗品接收罐中，而不冷却在料管中以堵塞料管；又由于粗品接收罐连接真空缓冲罐，通过控制接收阀、出料阀和抽气阀，真空缓冲罐能够抽吸粗品接收罐内的尾气，使得粗品接收罐与真空缓冲罐之间形成压差，从而使得料管中残留的三甲基铟抽吸至粗品接收罐中，因此避免了料管的堵塞。三甲基铟的接收在手套箱中操作，尤其是粗品接收罐的拆装过程也在手套箱中进行，使得有效地与空气隔绝，从而避免发生泄漏燃烧，造成重大事故的隐患，实现了三甲基铟的安全接收。
[0015]本实用新型的其它特征和优点将在随后的【具体实施方式】部分予以详细说明。
【附图说明】
[0016]附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的【具体实施方式】一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中:
[0017]图1是根据本实用新型的优选实施方式中三甲基铟接收装置的结构示意图。
[0018]附图标记说明
[0019]1解配釜2粗品接收罐
[0020]3真空缓冲罐4液氮罐
[0021]5手套箱6加热丝
[0022]7冷阱8液氮阀
[0023]9排气阀10液位感应器
[0024]11出料阀12接收阀
[0025]13 抽气阀14冷却装置
[0026]15 真空栗16平台支架
[0027]17 料管18抽气管
[0028]19 金属软管
【具体实施方式】
[0029]以下结合附图对本实用新型的【具体实施方式】进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的【具体实施方式】仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。
[0030]在本实用新型中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下”通常是针对附图所示的方向而言的或者是针对竖直、垂直或重力方向上而言的各部件相互位置关系描述用词。
[0031]如图1显示了一种三甲基铟接收装置，该三甲基铟接收装置包括解配釜1、真空缓冲罐3和手套箱5，手套箱5中设有密闭的粗品接收罐2和顶部开口的冷阱7，粗品接收罐2设置在冷阱7中，粗品接收罐2通过料管17连接解配釜1并通过抽气管18连接真空缓冲罐3，料管17的靠近粗品接收罐2的一端设有接收阀12，料管17的靠近解配釜1的一端设有出料阀11，抽气管18与粗品接收罐2之间设有抽气阀13，并且料管17和抽气管18中均设有加热丝6。
[0032]通过在粗品接收罐2与解配釜1之间的料管17和粗品接收罐2与真空缓冲罐3之间的抽气管18中设有加热丝6，可以将料管17中的三甲基铟气化至粗品接收罐2中，而不会冷却在料管17中以堵塞料管17，并且粗品接收罐2设置在冷阱7中，通过冷阱7的冷却能够将从料管17中抽吸至粗品接收罐2中的三甲基铟由气态冷凝成固态结晶；又由于粗品接收罐2连接真空缓冲罐3，通过控制接收阀12、出料阀11和抽气阀13，真空缓冲罐3能够抽吸粗品接收罐2内的尾气，使得粗品接收罐2与真空缓冲罐3之间形成压差，使得料管17中残留的三甲基铟抽吸至粗品接收罐2中，因此避免了料管17的堵塞。三甲基铟的接收在手套箱5中操作，尤其是粗品接收罐2的拆装过程均在手套箱5中进行，使得有效地与空气隔绝，从而避免发生泄漏燃烧，造成重大事故的隐患，实现了三甲基铟的安全接收。
[0033]需要注意的是，由于三甲基铟的化学性质活泼，遇空气自燃，因此密闭的粗品接收罐2以及密封的手套箱5在进行接收三甲基铟的操作之前，需要将其中的空气排出，充入惰性气体或与三甲基铟不发生化学反应的气体，例如氮气，从而使得三甲基铟的接收操作更加安全可靠，避免造成重大事故。
[0034]其中，由于粗品接收罐2的重量较大，很难将其放置在冷阱7中，因此可使用起吊装置将粗品接收罐2放置在冷阱7中。具体地，该起吊装置可以设置在手套箱5中，使得三甲基铟的接收操作完全与空气隔离。该起吊装置可以包括电机、滚轮、钢丝绳和用于控制电机的开关，钢丝绳缠绕于滚轮上，钢丝绳的底端连接有挂钩，粗品接收罐2上设有挂耳。首先将挂钩固定在钢丝绳的底端上，再将挂钩扣在粗品接收罐2的挂耳上，启动开关，通过电机驱动滚轮旋转，钢丝绳缠绕于滚轮上，使得粗品接收罐2向上升起，直到升至粗品接收罐2的高度高于冷阱7的高度时，开关关闭，通过手套箱5内的手套移动冷阱7，将冷阱7调整好位置，再将粗品接收罐2缓缓降落至冷阱7内，以完成粗品接收罐2放置冷阱7内的操作。但本实用新型并不局限于此，也可以使用其他形式的起吊装置。
[0035]将粗品接收罐2放置冷阱7中之后，需要将粗品接收罐2的接收阀12和抽气阀13分别与连接解配釜1的料管17和连接真空缓冲罐3的抽气管18连接。特别地，接收阀12与料管17之间以及抽气阀13与抽气管18之间通过金属软管19相连。由于金属软管19具有较好的伸缩性和柔软性，方便了接收阀12与料管17之间以及抽气阀13与抽气管18之间的连接。具体地，可以通过上述的起吊装置微调粗品接收罐2的高度，以更加简单方便地完成接收阀12与料管17之间以及抽气阀13与抽气管18之间的连接。
[0036]三甲基铟接收装置的具体操作过程为:当解配釜1温度升至三甲基铟的沸点温度时，打开出料阀11，解配釜1开始通过料管7出料，随后打开接收阀12，气态的三甲基铟进入粗品接收罐2中。当粗品接收罐2中的压力大于解配釜1的压力时，打开抽气阀13，通过真空缓冲罐3抽吸粗品接收罐2中的尾气(即在进行接收三甲基铟的操作之前，向粗品接收罐2中充入的惰性气体或与三甲基铟不发生化学反应的气体，例如氮气)，使得粗品接收罐2与解配釜1之间形成压力差，从而粗品接收罐2继续接收三甲基铟。当接收结束时，关闭出料阀11