一种抽真空装置的制作方法

文档序号:17952956发布日期:2019-06-19 00:11阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种抽真空装置,其特征在于,包括:

真空腔部,具有第一腔体及第二腔体,所述第一腔体的开口端与所述第二腔体的开口端可通过第一密封件贴合,所述真空腔部在其腔壁上设置有若干真空接头和若干真空插头;

第一驱动部,其具有:

第一动力部及与所述第一动力部连接的第一输出部,所述第一输出部至少部分容置在所述真空腔部内,所述第一输出部容置在所述真空腔部内的一端上设置有第一安装部,

第二动力部及与所述第二动力部连接的第二输出部,所述第二输出部至少部分容置在所述真空腔部内,所述第二输出部容置在所述真空腔部内的一端上设置有第二安装部;

第二驱动部,其包括驱动所述第一腔体及所述第二腔体闭合或打开的第三驱动部。

2.根据权利要求1所述的一种抽真空装置,其特征在于:所述第一输出部包括若干设置在所述真空腔部的腔壁上的导向衬套,所述导向衬套内嵌设有可在其内滑动自由的导向轴;所述第一输出部与所述第一腔体之间,通过第二密封件密封。

3.根据权利要求2所述的一种抽真空装置,其特征在于:所述第一驱动部还包括第一电机及通过所述第一电机驱动的第一丝杆传动机构,所述导向轴与所述第一丝杆传动机构的丝杆螺母通过第一连接板连接,并在所述第一电机的驱动下,经由所述第一丝杆传动机构的传动而在所述导向衬套内滑动自由。

4.根据权利要求3所述的一种抽真空装置,其特征在于:还包括第一台架,所述第一电机及所述第一丝杆传动机构的丝杆安装在所述第一台架上,所述第一连接板上还设置有力检测部,所述导向轴朝向所述第一腔体的开口滑动时,所述力检测部抵接至所述第一台架。

5.根据权利要求1所述的一种抽真空装置,其特征在于:所述第一腔体设置在所述第二腔体的下部。

6.根据权利要求5所述的一种抽真空装置,其特征在于:所述第三驱动部包括设置在所述第一腔体的第一侧部的外侧的第四驱动部,及设置在所述第一腔体的第二侧部的第五驱动部,所述第一侧部与所述第二侧部平行。

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