压缩成形模具、压缩成形模具的制造方法、及压缩成形体的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及压缩成形模具、压缩成形模具的制造方法、及压缩成形体的制造方法。
【背景技术】
[0002]以往，采用在压缩成形模具的成形室内填充粉末材料并以冲头进行压缩而成形的方法。
[0003]此外，近年来，研究了将电子设备等中使用的有机材料的粉末材料进行压缩成形的方法。这样的有机电子材料元件的一对电极间设置的有机层通常通过真空加热蒸镀来形成。这是由于，加入蒸镀源中的有机元件用材料通常为粉末状，但若为粉末状，则产生填充效率低、此外处理性差、粉末飞散的问题。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1:韩国公开专利10-2009-0097318号公报
[0007]专利文献2:日本特开平2-297411号公报
[0008]专利文献3:实用新型注册第3163163号公报
【发明内容】
[0009]发明所要解决的课题
[0010]本发明的目的是提供能够抑制在粉末材料的压缩成形后材料从成形体部分地剥离、或者粉末从成形体表面飞散的压缩成形模具、压缩成形模具的制造方法及压缩成形体的制造方法。
[0011]用于解决课题的方案
[0012]根据本发明的一个方式，提供一种压缩成形模具，其是用于将有机EL元件用材料进行加压及压缩而将压缩成形体成形的压缩成形模具，在压缩时与上述有机EL元件用材料接触的压缩成形模具的金属面上层叠有含有氮化物的氮化物膜，在上述氮化物膜上层叠有通过浸渍法形成的含有氟化物的氟化物膜。
[0013]根据本发明的另一方式，提供一种压缩成形模具，其具备具有贯通孔的主体、和第1冲头及第2冲头，所述第1冲头及第2冲头分别设置有加压面，所述加压面用于分别从上述贯通孔的彼此不同的贯通孔入口插入来对在上述主体的内部的成形室中填充的有机EL元件用材料进行加压，在上述加压面层叠有含有氮化物的氮化物膜及通过浸渍法形成的含有氟化物的氟化物膜。
[0014]根据本发明的另一方式，提供一种压缩成形模具的制造方法，其是用于将有机EL元件用材料进行加压及压缩而将压缩成形体成形的压缩成形模具的制造方法，其具有以下工序:在压缩时与上述有机EL元件用材料接触的压缩成形模具的金属面上形成氮化物膜的工序；将形成有上述氮化物膜的面浸渍到含有氟化物的含氟化物溶液中的工序；和使上述含氟化物溶液干燥而形成氟化物膜的工序。
[0015]根据本发明的另一方式，提供一种压缩成形体的制造方法，其是将有机EL元件用材料进行加压及压缩来制造压缩成形体的压缩成形体的制造方法，在压缩时与上述有机EL元件用材料接触的压缩成形模具的金属面上层叠有含有氮化物的氮化物膜，在上述氮化物膜上层叠有通过浸渍法形成的含有氟化物的氟化物膜。
[0016]根据本发明的压缩成形模具、压缩成形模具的制造方法及压缩成形体的制造方法，能够抑制在粉末材料的压缩成形后材料从成形体部分地剥离、或者粉末从成形体表面飞散。
【附图说明】
[0017]图1是表示一个实施方式所述的压缩成形装置的构成的局部截面示意图。
[0018]图2是将上述实施方式所述的压缩成形模具的表面放大表示的放大截面示意图。
[0019]图3A是对使用上述实施方式所述的压缩成形模具而实施的压缩成形体的制造方法进行说明的图。
[0020]图3B是对使用上述实施方式所述的压缩成形模具而实施的压缩成形体的制造方法进行说明的图。
[0021]图3C是对使用上述实施方式所述的压缩成形模具而实施的压缩成形体的制造方法进行说明的图。
[0022]图3D是对使用上述实施方式所述的压缩成形模具而实施的压缩成形体的制造方法进行说明的图。
[0023]图3E是对使用上述实施方式所述的压缩成形模具而实施的压缩成形体的制造方法进行说明的图。
[0024]图4A是对与图3A?图3E中说明的压缩成形体的制造方法不同的压缩成形体的制造方法进行说明的图。
[0025]图4B是对与图3A?图3E中说明的压缩成形体的制造方法不同的压缩成形体的制造方法进行说明的图。
[0026]图4C是对与图3A?图3E中说明的压缩成形体的制造方法不同的压缩成形体的制造方法进行说明的图。
【具体实施方式】
[0027]<第一实施方式>
[0028](1)压缩成形装置的构成
[0029]图1中示出本实施方式所述的压缩成形装置1的示意图。
[0030]本实施方式中，将有机EL元件用材料进行加压及压缩来制造压缩成形体。
[0031]压缩成形装置1具备压缩成形模具2、基底部10、互相平行地架设于基底部10上的2根导柱11、与导柱11的上端连接的上部框架12、和在基底部10及上部框架12之间被支撑的下部可动板13、中部可动板14及上部可动板15。如图1所示的那样，下部可动板
13、中部可动板14及上部可动板15从基底部10侧起依次互相平行地设置。此外，下部可动板13、中部可动板14及上部可动板15以能够沿着导柱11在上下方向上分别独立地移动的方式设置。另外，下部可动板13、中部可动板14及上部可动板15按照可以借助未图示的液压缸等液压式驱动机构、气缸等气压式驱动机构、或者凸轮或曲柄机构等机械式驱动机构进行移动的方式构成。
[0032]压缩成形模具2具备主体20、第1冲头23和与该第1冲头23相对设置的第2冲头24。主体20以可更换的方式安装于中部可动板14的大致中央部。主体20如图1所示的那样具有上下贯通的贯通孔21。在该贯通孔21中插入第1冲头23及第2冲头24，在压缩成形模具2的内部形成用于填充有机EL元件用材料的成形室22。成形室22呈待成形的压缩成形体的形状。成形室22的形状、即压缩成形体的形状可以为圆柱状、或者楕圆柱状，横截面可以为半圆形、扇形、三角形、四边形等多边形、或者椭圆形。此外，压缩成形体可以是实心体也可以是空心体。
[0033]第1冲头23及第2冲头24将填充于成形室22中的有机EL元件用材料从彼此相反的方向加压而进行压缩。第1冲头23及第2冲头24能够插入贯通孔21地设置。
[0034]第1冲头23固定于下部可动板13的上表面。第1冲头23按照通过下部可动板13沿上下方向移动从而沿贯通孔21的轴向移动的方式构成。第1冲头23从贯通孔21的另一个贯通孔入口 21b插入。第2冲头24固定于上部可动板15的下表面。第2冲头24按照通过上部可动板15沿上下方向移动从而沿贯通孔21的轴向移动的方式构成。第2冲头24从贯通孔21的一个贯通孔入口 21a插入。第1冲头23及第2冲头24优选稍小于贯通孔21地形成。优选在所插入的第1冲头23的侧面与贯通孔21的内周面21c之间、以及第2冲头24的侧面与贯通孔21的内周面21c之间形成间隙，从成形室22内的粉末材料脱气的气体通过该间隙排出。
[0035]在第1冲头23及第2冲头24各自的端部，设置有对有机EL元件用材料进行加压的第1加压面231及第2加压面241。本实施方式中，第1冲头23的第1加压面231及第2冲头24的第2加压面241为平坦的面。由第1冲头23的第1加压面231、第2冲头24的第2加压面241和主体20的贯通孔21的内周面21c形成成形室22。通过在成形室22中填充有机EL元件用材料，并以第1冲头23及第2冲头24从上下方向进行加压，从而在第1加压面231与第2加压面241之间压缩而得到压缩成形体。
[0036]在图2中，作为本实施方式所述的压缩成形模具2的表面的一部分，示出将第1冲头23的一部分放大表示的截面示意图。
[0037]第1冲头23的第1加压面231为在加压及压缩时与有机EL元件用材料接触的金属面。如图2所示的那样，在第1加压面231上层叠有含有氮化物的氮化物膜25。进而，在氮化物膜25上层叠有含有氟化物的氟化物膜26。
[0038]第2冲头24的第2加压面241、及主体20的贯通孔21的内周面21c也为在加压及压缩时与有机EL元件用材料接触的金属面。在第2加压面241、及内周面21c上也与第1加压面231同样地层叠有氮化物膜25及氟化物膜26。本实施方式中，层叠于第1加压面231、第2加压面241、及内周面21c上的氟化物膜26通过浸渍法而形成。
[0039]在本实施方式中，作为氮化物膜25，优选由选自氮化钛铝、碳氮化钛、氮化铬、氮化钛、氮化钛硅、及氮化钛铝硅中的氮化物构成，更优选由氮化钛铝构成。本实施方式中，氮化物膜25由通过物理气相沉积法成膜的氮化钛铝构成。
[0040]氟化物膜26优选由氟碳系化合物构成。氟碳系化合物由以氟碳形成的链状部位和与其他物质键合的反应基构成。作为氟碳系化合物，可列举出例如全氟烷基硅烷类、含有全氟聚醚基的硅烷化合物类等。
[0041]作为全氟烷基硅烷类，可列举出下述式(1)或式(2)所表示的化合物。
[0042]CF3 (CF2) nCH2CH2Si (OMe) η...(1)
[0043]CF3 (CF2) nCH2CH2Si (OR) n...(2)
[0044]其中，在上述式(1)中，n为1、3、5或7，m为2或3，Me为甲基或乙基。
[0045]此外，