利用缺角轮涂布机将上述得到的透镜构件形成用树脂组合物溶液均匀地涂布于支撑膜上，用100°c的热风对流式干燥机干燥3分钟，除去溶剂，形成曲面形状形成用树脂层4。关于本实施例中所使用的曲面形状形成用树脂层4(膜)的厚度，记载于实施例中。实施例中所记载的曲面形状形成用树脂层4的膜厚为涂布干燥后的膜厚。
[0093]接着，在所得曲面形状形成用树脂层4上，进一步贴合25 μ m厚的聚对苯二甲酸乙二醇酯膜作为保护膜，制作曲面形状形成用树脂层4。
[0094]<曲面形状形成用树脂层、柱状构件形成用树脂层的层叠体的制作>
[0095]剥离上述得到的30 μπι厚的曲面形状形成用树脂层4和25μπι厚的柱状构件形成用树脂层2各自的保护膜，使用辊式层压机(日立化成Techno-Plant株式会社制，HLM-1500)，在压力0.4MPa、温度40°C、层压速度0.2m/分钟的条件下将树脂面彼此层压，制成曲面形状形成用树脂层、柱状构件形成用树脂层的层叠体。剥离各自的支撑膜后，层叠体残留在曲面形状形成用树脂层4侧的支撑膜5上。此时将柱状构件形成用树脂层2侧的支撑膜作为曲面形状形成用树脂层4、柱状构件形成用树脂层2的层叠体的保护膜。
[0096][工序A]
[0097]剥离上述得到的曲面形状形成用树脂层4、柱状构件形成用树脂层2的层叠体的保护膜，配置于150mmX 150mm的聚酰亚胺膜(聚酰亚胺:UPILEX RN(宇部日东化成株式会社制(“即11^”为注册商标))，厚度:25μπι)上。然后，使用真空加压式层压机(株式会社名机制作所制，MVLP-500( “MVLP”为注册商标))，抽真空至500Pa以下后，在压力0.4MPa、温度80°C、加压时间30秒钟的条件下加热压接，进行层压(参照图1(b)、图2(b))。
[0098][工序B]
[0099]接着，隔着具有直径210 μπι的圆形开口部的负型光掩模，利用紫外线曝光机(机种名:ΕΧΜ-1172、株式会社0RC制作所制)，从支撑膜5侧照射0.3J/cm2的紫外线(波长365nm)。然后，剥离支撑膜5，使用显影液1.0质量％的碳酸钾水溶液进行蚀刻，在170°C干燥1小时，形成柱状构件3和曲面形状形成用构件6b的层叠体(参照图1(c)、图2(c))。
[0100][工序C]
[0101]然后，在180°C加热1小时，使曲面形状形成用构件6b产生受热下垂，形成柱状构件3上的透镜6a (参照图1 (d)、图2 (d))。
[0102][评价]
[0103]观察透镜6a，结果直径为210 μm，截面形状为30 μπι高且曲率半径为200 μπι。柱状构件3侧的截面形状是距基板平面的高度为25 μπι高并且平坦。使用作为入射部用的GI50的多模用光纤，从柱状构件3侧入射850nm的光信号，对于在透镜6a侧作为受光部用设置的GI62.5的多模光纤，使光纤前端间距为100 μ m时，光传播损耗为0.45dB。使光纤前端间距为200 μ m时，为0.53dB，能够良好地传输光信号。
[0104](实施例2)
[0105]剥离上述得到的25 μπι厚的柱状构件形成用树脂层2的保护膜，使用真空加压式层压机(株式会社名机制作所制、MVLP-500)，抽真空至500Pa以下后，在压力0.4MPa、温度80°C、加压时间30秒钟的条件下加热压接在150mmX 150mm的聚酰亚胺膜(聚酰亚胺:UP ILEX RN (宇部日东化成株式会社制)，厚度:25 μπι)上。接着，剥离30 μ m厚的曲面形状形成用树脂层4的保护膜，使用上述真空层压机抽真空至500Pa以下后，在压力0.4MPa、温度80°C、加压时间30秒钟的条件下加热压接在剥离了支撑膜的柱状构件形成用树脂层2上。
[0106]曝光工序以后与实施例1同样地操作，形成柱状构件3上的透镜6a。
[0107][评价]
[0108]观察透镜6a，结果直径为210 μm，截面形状为30 μπι高且曲率半径为200 μπι。柱状构件3侧的截面形状是距基板平面的高度为25 μπι高并且平坦。使用作为入射部用的GI50的多模用光纤，从柱状构件3侧入射850nm的光信号，对于在透镜6a侧作为受光部用设置的GI62.5的多模光纤，使光纤前端间距为100 μ m时，光传播损耗为0.46dB。使光纤前端距离为200 μ m时，为0.51 dB，能够良好地传输光信号。
[0109](比较例1)
[0110]除了在实施例3中没有形成柱状构件3，将曲面形状形成用树脂层4的厚度设为25 μπι以外，用同样的方法制作带透镜基板。
[0111][评价]
[0112]观察透镜6a，结果直径为250 μ m，截面形状为20 μ m高且曲率半径不均一。
[0113]符号说明
[0114]1.基板 2.柱状构件形成用树脂层 3.柱状构件 4.曲面形状形成用树脂层
5.支撑膜6a.透镜6b.曲面形状形成用构件7.曲面形状图案
【主权项】
1.一种透镜构件的制造方法，具有: 工序A，形成包含基板、配置于该基板上的曲面形状形成用树脂层和配置于该基板与该曲面形状形成用树脂层之间的柱状构件形成用树脂层的层叠体； 工序B，对所述柱状构件形成用树脂层和所述曲面形状形成用树脂层进行蚀刻，在所述基板上形成包含柱状构件和曲面形状形成用构件的柱状层叠部；以及 工序C，加热所述曲面形状形成用构件，以使其受热下垂而形成透镜。2.如权利要求1所述的透镜构件的制造方法，所述曲面形状形成用树脂层为感光性的树脂层。3.如权利要求1或2所述的透镜构件的制造方法，所述柱状构件形成用树脂层为感光性的树脂层。4.如权利要求1?3中任一项所述的透镜构件的制造方法，在所述工序B中，通过曝光将所述曲面形状形成用树脂层光固化后，对所述柱状构件形成用树脂层和所述曲面形状形成用树脂层进行蚀刻。5.如权利要求1?4中任一项所述的透镜构件的制造方法，在所述工序B中，在将所述曲面形状形成用树脂层曝光的同时将所述柱状构件形成用树脂层曝光，从而将所述柱状构件形成用树脂层光固化。6.如权利要求1?5中任一项所述的透镜构件的制造方法，所述曲面形状形成用树脂层和/或所述柱状构件形成用树脂层是由干膜形成的树脂层。7.如权利要求1?6中任一项所述的透镜构件的制造方法，所述基板为透明基板。8.一种透镜构件，通过权利要求1?7中任一项所述的制造方法得到。9.一种曲面形状图案的制造方法，具有权利要求1?7中任一项所述的透镜构件的制造方法中的所述工序A和所述工序B，使通过所述工序B形成的所述曲面形状形成用构件受热下垂而对所述曲面形状形成用构件形成曲面。10.一种曲面形状图案形成用树脂膜，包含含有曲面形状形成用树脂层和柱状构件形成用树脂层的层叠体。11.如权利要求10所述的曲面形状图案形成用树脂膜，具有层叠于所述曲面形状形成用树脂层侧的支撑膜、和/或层叠于所述柱状构件形成用树脂层侧的保护膜。
【专利摘要】本发明提供能够在任意的基板上形成所希望的透镜形状的透镜构件的制造方法，以及由此得到的透镜构件和曲面形状图案。进而提供能够形成透镜的曲面形状图案形成用树脂膜。一种透镜的制造方法，其具有：工序A，形成包含基板、配置于基板上的曲面形状形成用树脂层和配置于基板与曲面形状形成用树脂层之间的柱状构件形成用树脂层的层叠体；工序B，将所述柱状构件形成用树脂层和所述曲面形状形成用树脂层蚀刻，在基板上形成包含所述柱状构件和所述曲面形状形成用构件的柱状层叠部；以及工序C，加热所述曲面形状形成用构件，以使其受热下垂而形成透镜。
【IPC分类】G03F7/095, G02B3/00, B29D11/00, G03F7/004, B29C35/02
【公开号】CN105431284
【申请号】CN201480041570
【发明人】酒井大地, 黑田敏裕
【申请人】日立化成株式会社
【公开日】2016年3月23日
【申请日】2014年8月5日
【公告号】US20160170096, WO2015020064A1