专利名称：冷却水循环铜管的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种半导体集成电路制造设备，特别是涉及一种冷却水循环铜管。
背景技术：
传统的冷却水运用于高密度等离子设备中，传统的冷却水循环铜管(coolingcoil)材质为铜，它使用焊接的方式将固定脚12焊接到铜管11上，固定脚12与高密度等离子设备(未标出)之间再使用螺丝13固定，如
图1所示。固定脚12与铜管11之间因采用焊接方式进行连接，焊接处会对铜管有损伤，相对比较薄弱，使用一段时间后焊接处会因为腐蚀导致裂缝，出现渗漏，所以一般使用寿命为2年左右。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种冷却水循环铜管，能在不影响设备散热冷却的前提下，冷却水管的寿命大大提高。为解决上述技术问题，本实用新型提供的一种冷却水循环铜管，包括固件脚、铜管及固定件，所述固定脚包括上下两个铜块，形状设计贴合铜管，采用所述上下两个铜块夹紧铜管，并使用至少2个固定件进行固定。进一步的，所述固定件为螺丝。进一步的，有一所述固定件的底部穿过所述固定脚，用于将所述冷却水循环铜管，固定在高密度等离子设备上。进一步的，所述铜管用其他金属管代替。进一步的，所述铜块用其他金属块代替。本实用新型冷却水循环铜管，在不影响散热的基础上，大大增加了使用寿命，减低设备故障时间，提高设备使用率。
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型作进一步详细的说明:
图1是公知的冷却水循环铜管结构示意图；图2是本实用新型冷却水循环铜管第一实施例结构示意图；图3是本实用新型冷却水循环铜管第二实施例结构示意图。主要附图标记说明:铜管11固定脚12螺丝I3铜管21固定脚22固定件23铜管31固定脚32[0020]固定件33固定件3具体实施方式
为使贵审查员对本实用新型的目的、特征及功效能够有更进一步的了解与认识，以下配合附图详述如后。如图2所示，为本实用新型冷却水循环铜管第一实施例结构示意图，对固定脚22进行重新设计，包括上下两个铜块，形状设计贴合铜管21，使用至少2个固定件23进行固定，如图所示，固定脚22采用上下两个铜块夹紧铜管21的方式固定，即不影响散热，又不会损伤铜管21，大大增加了使用寿命，将其使用寿命提高至5年以上，并且提高了使用寿命，大大减少由于铜管漏水导致的设备故障时间，提高设备使用率。所述固定件可以为螺丝。所述铜管可以用其他金属管代替，所述铜块可以用其他金属块代替。
·[0023]如图3所示，为本实用新型冷却水循环铜管第二实施例结构示意图，其与第一实施例的不同点在于，第二实施例的固定件33中有一个固定件331的底部穿过固定脚32，用于将本实用新型冷却水循环铜管，固定在高密度等离子设备(图中为标出)上。所述固定件33、固定件331可以为螺丝。以上通过具体实施例对本实用新型进行了详细的说明，但这些并非构成对本实用新型的限制。在不脱离本实用新型原理的情况下，本领域的技术人员还可做出许多变形和改进，这些也应视为本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种冷却水循环铜管，其特征在于，包括固件脚、铜管及固定件，所述固定脚包括上下两个铜块，形状设计贴合铜管，采用所述上下两个铜块夹紧铜管，并使用至少2个固定件进行固定。
2.如权利要求1所述的冷却水循环铜管，其特征在于，所述固定件为螺丝。
3.如权利要求1所述的冷却水循环铜管，其特征在于，有一所述固定件的底部穿过所述固定脚，用于将所述冷却水循环铜管，固定在高密度等离子设备上。
4.如权利要求1-3任一项所述的冷却水循环铜管，其特征在于，所述铜管用除铜管以外的其他金属管代替。
5.如权利要求1-3任一项所述的冷却水循环铜管，其特征在于，所述铜块用除铜块以外的其他金属块代替。
专利摘要本实用新型公开了一种冷却水循环铜管，包括固件脚、铜管及固定件，所述固定脚包括上下两个铜块，形状设计贴合铜管，采用所述上下两个铜块夹紧铜管，并使用至少2个固定件进行固定。本实用新型能在不影响散热的基础上，大大增加了使用寿命，减低设备故障时间，提高设备使用率。
文档编号F28F9/26GK202996795SQ20122063274
公开日2013年6月12日 申请日期2012年11月26日 优先权日2012年11月26日
发明者王炜, 谢伟皓, 许国清 申请人:上海华虹Nec电子有限公司