伞状点火装置制造方法
【专利摘要】本实用新型提供一种伞状点火装置，包括一座体，内部形成一连通至外界呈管状的燃气槽；一感应电极，穿设于座体的燃气槽内，该感应电极形成有一电极端头接触外界；一点火棒，穿设于感应电极内，且点火棒形成有一点火端头接触外界；以及一绝缘管，穿设于感应电极与点火棒之间，且绝缘管形成有一绝缘端部间隔该点火端头与电极端头，其中该点火端头与电极端头之间构成同心圆配置，且点火端头经由外界接触电极端头。依此，解决传统点火器因电弧火花与燃气接触的范围有限所造成的燃气触燃效率较低的问题。
【专利说明】伞状点火装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及点火器的结构技术，特别是有关于一种伞状点火装置，以及一种设于半导体废气处理槽内的伞状点火装置。
【背景技术】
[0002]众所周知，传统的点火器具备有相互绝缘间隔的点火棒与感应电极，且点火棒一端形成有点火端头，感应电极的相对端上形成有电极端头，点火端头与电极端头之间对应间隔形成一点火间距。依此，可于传导高频率的点火电压至该点火棒，令点火端头于该点火间距处投射电弧火花至该电极端头，以便于点火棒与感应电极之间构成一高压导电回路。
[0003]上述形成于点火间距处的电弧火花，其目的，一般而言，大都是作为触燃例如是瓦斯混合气或氢氧混合气等燃气形成火焰之用。
[0004]且知,例如是火花塞(Sparking Plug)等传统的点火器,其点火端头所能投射生成的电弧火花都仅为单点形式或多点形式，导致电弧火花与燃气接触的范围极为有限，造成燃气触燃效率较低，特别地，当供应的燃气较为强旺时，传统单点式或多点式点火器所能提供的电弧火花的点火触燃效率也相对的较为拙劣。
[0005]进一步的说，例如在半导体产业的废气处理程序中，是以点火器触燃注入废气处理槽内的燃气，如此来烧除废气中有害的物质。然而，由于废气处理槽内是气流变化剧烈的负压环境，一般传统的点火器在此 环境中所能生成的电弧火花的点火触燃燃气效率并不理
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【发明内容】
[0006]有鉴于此，本实用新型的目的旨在提供一种伞状点火装置，凭借增加电弧火花形成的分布面积，进而提增电弧火花与燃气之间的触燃效率，以解决传统单点式或多点式点火器所能投射形成的电弧火花的分布面积相对受限而影响其触燃燃气的效率的问题。
[0007]为能实现上述目的并解决问题，本实用新型提供的一种伞状点火装置，其包括:
[0008]一座体，内部形成一管状的燃气槽，该燃气槽连通至外界；
[0009]一感应电极，穿设于座体的燃气槽内，该感应电极形成有一呈环状的电极端头，该电极端头接触外界；
[0010]—点火棒，穿设于感应电极内，且点火棒形成有一点火端头,该点火端头接触外界；以及
[0011]—绝缘管,穿设于感应电极与点火棒之间，且绝缘管形成有一绝缘端部,该绝缘端部间隔该点火端头与电极端头，其中该点火端头与电极端头之间构成同心圆配置，且点火端头经由外界接触电极端头。
[0012]在实施上，本实用新型还包括:
[0013]该感应电极呈管状，且该绝缘管、感应电极及燃气槽依序同心配置于点火棒的外围。依此，电极端头及点火端头是凭借上述配置来形成等圆周相同的点火间距，进而增加点火端头投射电弧火花于电极端头时的分布范围，以提升电弧火花与燃气的触燃效率。
[0014]该座体上锁组有一绝缘套,该感应电极是固定于绝缘套上,进而穿设于座体的燃气槽内。其中该座体上形成有一燃气入口连通燃气槽。依此，燃气槽是形成于座体与绝缘套之间，燃气能经由燃气入口进入燃气槽内。
[0015]该绝缘套上锁组有一金属接头，该感应电极是接受金属接头的束紧而固定于绝缘套上。其中该感应电极与绝缘管之间形成有一环状的空气气缝，该空气气缝延伸至电极端头与点火端头之间连通燃气槽，且该金属接头形成有一空气进气口连通该空气气缝。依此，空气能经由空气进气口进入空气气缝内，并朝点火端头的位置喷出，利用空气喷出时所生成的风压，来吹除附着于点火端头上的灰尘或粉末，以避免影响到点火端头投射电弧火花于电极端头上。
[0016]该金属接头上固定有一绝缘接头来定位绝缘管及点火棒。其中该绝缘接头上设有一第一螺栓固定一第一高压导线电连接点火棒,该金属接头上设有一第二螺栓固定一第二高压导线电连接感应电极，该第一高压导线与第二高压导线构成由点火端头投射电弧火花至电极端头的高压导电回路。依此，凭借传导高频率的点火电压至点火端头，使点火端头投射电弧火花至电极端头，以便于点火棒与感应电极之间构成一高压导电回路。
[0017]该座体是固定于一废气处理槽上，且所述外界为该废气处理槽的燃气腔室其中该废气处理槽是一半导体废气处理槽。依此，凭借点火端头投射至电极端头上的电弧火花以触燃燃气形成火焰，来燃烧废气处理槽内的废气，迫使废气中所含的有害物质接受高温催化，进而分解成无害的物质。
[0018]与现有技术相比较，采用上述技术方案的本实用新型具有的优点在于:本实用新型利用该点火端头与电极端头之间因同心圆配置而形成等圆周相同的点火间距，当高频率的点火电压传导至该点火端头时，点火端头因等圆周相同的点火间距而投射电弧火花至该电极端头上的任一处，促使电弧火花如伞状般的分布形成于该点火端头与电极端头之间，进而增加电弧火花的分布面积，据以提升电弧火花触燃燃气的效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0019]图1是本实用新型的一实施例的立体示意图；
[0020]图2是图1的剖示图；
[0021]图3是图2的局部放大剖示图；
[0022]图4是图2的仰视图；
[0023]图5是图2的局部放大剖示图；
[0024]图6是本实用新型的另一实施例的配置示意图。
[0025]附图标记说明:10、100座体；11、110燃气槽；12、120燃气入口 ；13燃气输送管；20感应电极；21电极端头；30点火棒；31点火端头；40绝缘管；41绝缘端部；42空气气缝；50,500绝缘套；60金属接头；61第二螺栓；62第二高压导线；63空气进气口 ；64空气输送管；70绝缘接头；71第一螺栓；72第一高压导线；73第三螺栓；80废气处理槽；81燃烧室；82废气进气管；83废气；84燃气输送管；85燃气；86燃气腔室；87隔板；871出气孔；90外界出点火间距。【具体实施方式】
[0026]请合并参阅图1、图2、图3及图4，说明本实用新型的一实施例，其中，图1揭示出本实用新型的一实施例的立体示意图，图2揭示出图1的剖示图，图3揭示出图2的局部放大剖示图，图4揭示出图2的仰视图。上述图式说明本实用新型提供一种伞状点火装置，包括一座体10、一感应电极20、一点火棒30及一绝缘管40。其中:
[0027]座体10为陶瓷制成，其内部形成有连通外界90呈管状的燃气槽11，在实施上，夕卜界90是指燃气槽11内的燃气与空气接触的区域，当燃气燃烧时可由空气中取得所需要的氧气。将感应电极20穿设于座体10的燃气槽11内，在实施上，感应电极20为金属制成的圆形管体，而感应电极20 —端形成呈环状的电极端头21接触外界90。另外，将点火棒30穿设于感应电极20内，且点火棒30 —端形成点火端头31接触外界90。再来，将绝缘管40穿设于金属电极20与点火棒30之间，在实施上，绝缘管40为陶瓷制成的圆形管体，以避免感应电极20与点火棒30在电极端头21与点火端头31的外的位置形成电弧火花，进而增加电弧火花于点火端头31投射至电极端头21时的密度，以提高电弧火花触燃燃气的效率，并且绝缘管40 —端形成有绝缘端部41呈环状间隔点火端头31与电极端头21，使点火端头31以弧线的型式通过外界90投射电弧火花至电极端头21 (如图3所示)，以增加电弧火花与燃气的接触范围，进而提升电弧火花的触燃效率。
[0028]更进一步的说，如图4所示，该点火端头31与电极端头21之间为同心圆配置，使电极端头21与点火端头31形成等圆周相同的点火间距h，在实施上，是凭借绝缘管40、感应电极20及燃气槽11依序同心配置于点火棒30的外围所构成，由于点火端头31通电后会投射电弧火花在与电极端头21最接近的位置，当上述二者之间的点火间距h相同时，点火端头31会投射电弧火花于电极端头21上的任一点,造成电弧火花如伞状般的放射分布于电极端头21与点火端头31之间,相较传统点火器所生成的电弧火花来说，具有分布范围大的优点，进而提升与燃气触燃的效率。
[0029]接着，将绝缘套50螺组于座体10上，而感应电极20是固定于绝缘套50上，进而穿设于座体10的燃气槽11内，实施上,绝缘套50为陶瓷或塑胶等绝缘材制成。其中，座体10上形成有燃气入口 12连通燃气槽11，而燃气入口 12连接燃气输送管13，燃气经由燃气输送管13通过燃气入口 12进入燃气槽11内，以提供本实用新型的点火装置燃烧的需。
[0030]再来，请参阅图5，揭示出图2的局部放大剖示图，说明绝缘套50上以螺组的方式锁组有金属接头60，而感应电极20是接受金属接头60的束紧而固定于绝缘套50上。并且，感应电极20与绝缘管40之间形成有环状的空气气缝42，而空气气缝42延伸至电极端头21与点火端头31之间并连通燃气槽11，且该金属接头60形成有空气进气口 63连通空气气缝42，空气进气口 63连接有空气输送管64，空气经由空气输送管64通过空气进气口63进入空气气缝42，然后，空气朝点火端头31的位置喷出，利用空气喷出时所生成的风压，来吹除附着于点火端头31上的灰尘或粉末，以避免影响到点火端头31投射电弧火花于电极立而头21上。
[0031]此外，还包含绝缘接头70是用来定位绝缘管40及点火棒30，并经由第三螺栓73固定感应电极20而连接金属接头60，实施上，绝缘接头70为陶瓷或塑胶等绝缘材制成。其中该绝缘接头70上设有第一螺栓71固定第一高压导线72而电连接点火棒30，该金属接头60上则设有第二螺栓61固定第二高压导线62来电连接感应电极20，当第一高压导线72与第二高压导线62通电后，凭借点火端头31投射电弧火花至电极端头21来构成一高压导电回路。
[0032]接着，请参阅图6，揭示出本实用新型的另一实施例的配置示意图，说明在本实施例中座体100可以是利用废气处理槽80的槽壁延伸形成，而伞状点火装置则凭借绝缘套500螺组于座体100而固定于废气处理槽80上；在进一步实施上，废气处理槽80是指用以处理半导体制程所生成的废气83的设备，在废气处理槽80内形成有燃烧室81及燃气腔室86，废气83经由设置于废气处理槽80顶端的废气进气管82进入燃烧室81内，而燃气85则是经由设置于废气处理槽80的燃气输送管84进入燃气腔室86内，燃气腔室86与燃烧室81之间设置有一隔板87，该隔板87上形成有多个出气孔871，燃气腔室86内的燃气85是通过所述出气孔871而进入燃烧室81内，而座体100上形成有多个燃气入口 120，座体100内的燃气槽110是经由所述燃气入口 120连通燃气腔室86，如此燃气腔室86内的燃气85能够通过所述燃气入口 120进入燃气槽110内，以提供伞状点火装置触燃进而形成火焰，以点燃位于燃烧室81内的燃气85，迫使废气83中所含的有害物质接受高温催化，进而分解成无害的物质，当废气83降温后，则会流向燃烧室81的底部，然后通过排气口(未绘示)排放至外界大气中。
[0033]根据以上实施例的说明，本实用新型的伞状点火装置是利用形成于电极端头与点火端头之间等圆周相同的点火间距，使点火端头于通电后投射至电极端头的电弧火花，会如伞状般的放射分布于电极端头与点火端头之间，相较于传统点火器来说，电弧火花与燃气的接触范围增加，进而提高电弧火花触燃燃气的效率。此外，可将伞状点火装置运用于处理半导体制程所生成的废气的废气处理槽内，以克服废气处理槽内负压且气流变化剧烈的环境，导致点火不易的现象。
[0034]以上说明对本实用新型而言只是说明性的，而非限制性的，本领域普通技术人员理解，在不脱离权利要求所限定的精神和范围的情况下，可作出许多修改、变化或等效，但都将落入本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种伞状点火装置，其特征在于，包括: 一座体，内部形成一管状的燃气槽，该燃气槽连通至外界； 一感应电极，穿设于座体的燃气槽内，该感应电极形成有一呈环状的电极端头，该电极端头接触外界； 一点火棒，穿设于感应电极内，且点火棒形成有一点火端头，该点火端头接触外界；以及 一绝缘管，穿设于感应电极与点火棒之间，且绝缘管形成有一绝缘端部，该绝缘端部间隔该点火端头与电极端头，其中该点火端头与电极端头之间构成同心圆配置，且点火端头经由外界接触电极端头。
2.根据权利要求1所述的伞状点火装置，其特征在于:该感应电极呈管状，且该绝缘管、感应电极及燃气槽依序同心配置于点火棒的外围。
3.根据权利要求1所述的伞状点火装置，其特征在于:该座体上锁组有一绝缘套，该感应电极固定于绝缘套上，进而穿设于座体的燃气槽内。
4.根据权利要求1或3所述的伞状点火装置，其特征在于:该座体上形成有一连通燃气槽的燃气入口。
5.根据权利要求3所述的伞状点火装置，其特征在于:该绝缘套上锁组有一金属接头，该感应电极接受金属接头的束紧而固定于绝缘套上。
6.根据权利要求5所述的伞状点火装置，其特征在于:该感应电极与绝缘管之间形成有一环状的空气气缝，该空气气缝延伸至电极端头与点火端头之间并连通燃气槽，且该金属接头形成有一连通该空气气缝的空气进气口。
7.根据权利要求1所述的伞状点火装置，其特征在于:该感应电极与绝缘管之间形成有一环状的空气气缝，该空气气缝延伸至电极端头与点火端头之间并连通燃气槽。
8.根据权利要求5所述的伞状点火装置，其特征在于:该金属接头上固定有一绝缘接头来定位绝缘管及点火棒。
9.根据权利要求8所述的伞状点火装置，其特征在于:该绝缘接头上设有一第一螺栓来固定一第一高压导线，该第一高压导线电连接点火棒，该金属接头上设有一第二螺栓来固定一第二高压导线，该第二高压导线电连接感应电极，该第一高压导线与第二高压导线构成由点火端头投射电弧火花至电极端头的高压导电回路。
10.根据权利要求1所述的伞状点火装置，其特征在于:该点火棒电连接一第一高压导线，该感应电极电连接一第二高压导线，该第一高压导线与第二高压导线构成由点火端头投射电弧火花至电极端头的高压导电回路。
11.根据权利要求1所述的伞状点火装置，其特征在于:该座体固定于一废气处理槽上，且所述外界为该废气处理槽的燃气腔室。
12.根据权利要求11所述的伞状点火装置，其特征在于:该废气处理槽是一半导体废气处理槽。
【文档编号】F23G7/06GK203454204SQ201320392561
【公开日】2014年2月26日 申请日期:2013年7月3日 优先权日:2013年6月20日
【发明者】冯五良 申请人:东服企业股份有限公司