废气处理设备的制作方法

本实用新型涉及对包含挥发性有机化合物的废气进行处理的废气处理设备。

背景技术：

在进行涂装、印刷等的工业设施中使用大量的有机溶剂。因此，在从各个工场排出的废气中包含由有机溶剂产生的挥发性有机化合物(VOC：Volatile Organic Compounds)。如果不对这种VOC进行处理而将其排放到大气中，则会形成造成大气污染的物质。由此，作为与VOC排放相关对策的一个环节，行政机关在强制上述工业设施处理制造过程中产生的VOC的同时，还设置了与该排出浓度相关的限制。由此，在各个设施中采取用于在排放前降低废气中的VOC浓度的措施。作为这种技术的具体例子，例如，存在日本特开2011-94861号公报中记载的处理装置。该处理装置加热废气，使该废气中的VOC氧化分解，从而使其无害化。

近几年，随着发展中国家的产业发展，世界各地的大气污染的严重程度增加。由此，基于各国行政的VOC排放限制也逐年地严格化。因此，在特定的国家、地区，即使使用上述专利文献1中记载的处理装置，有时也难以将废气中的VOC浓度降低至规定值以下。因此，渴望进一步提高对包含VOC的废气的处理能力。

技术实现要素：

本实用新型提供一种能够提高对废气中包含的挥发性有机化合物(VOC)的处理能力的废气处理设备。

根据本实用新型的第一种方式，废气处理设备具备：

第一废气处理装置，具有燃烧室，所述燃烧室加热包含挥发性有机化合物的废气，使所述有机化合物氧化分解；第二废气处理装置，具有催化剂，所述催化剂使在所述燃烧室中氧化分解所述有机化合物后的废气即第一处理气体中残留的所述有机化合物氧化分解；以及预热热交换器，使在所述第二废气处理装置中氧化分解所述有机化合物后的废气即第二处理气体与流入所述第一废气处理装置前的所述废气进行热交换，通过所述第二处理气体的热量加热所述废气。

在该废气处理设备中，通过第一废气处理装置加热废气而使废气中的有机化合物(VOC)氧化分解。并且，在该废气处理设备中，通过第二废气处理装置使从第一废气处理装置排出的第一处理气体中残留的VOC进一步氧化分解。由此，在该废气处理设备中，与通过单个处理装置处理废气的情况相比，能够高度处理废气中的VOC。即，能够大幅度降低废气中的VOC浓度。

另外，在该废气处理设备中，在废气流入第一废气处理装置前，通过第二处理气体的热量来加热该废气，因此，能够削减在第一废气处理装置中用于使废气升温所需的热量，其结果，能够抑制燃料等的消耗量。由此，在该废气处理设备中能够抑制废气处理所需的运行成本。

根据本实用新型的第二种方式，在所述第一种方式所涉及的所述废气处理设备中，具有废热回收热交换器，该废热回收热交换器使在所述预热热交换器中通过放热而温度下降的所述第二处理气体与介质进行热交换，通过所述第二处理气体的热量加热所述介质。

在该废气处理设备中，通过废热回收热交换器来回收通过预热热交换器后的第二处理气体的热量，因此，能够有效利用该第二处理气体的热量。

根据本实用新型的第三种方式，在所述第一或第二种方式所涉及的废气处理设备中，具备浓缩装置，该浓缩装置生成提高了包含所述有机化合物的低浓度废气中的有机化合物浓度的废气，并排出所述废气。所述预热热交换器使从所述浓缩装置排出的所述废气与所述第二处理气体进行热交换。

在该废气处理设备中，能够在处理低浓度废气时减少第一废气处理装置以及第二废气处理装置处理的废气量。因此，能够实现第一废气处理装置以及第二废气处理装置的小型化，能够抑制设备成本。并且，在该废气处理设备中，能够使第一废气处理装置以及第二废气处理装置所处理的废气高浓度化，因此，还能够抑制运行成本。

根据本实用新型的第四种方式，在所述第一种方式至所述第三种方式中的任一种方式所涉及的废气处理设备中，所述第一废气处理装置具有蓄热室，所述蓄热室从所述第一处理气体夺取热量，并将所述热量暂时储存，使储存的所述热量对流入所述燃烧室前的所述废气放热。

根据本实用新型的第五种方式，在所述第四种方式所涉及的所述废气处理设备中，具备：第一处理气体管道，将所述第一废气处理装置与所述第二废气处理装置连接，使得在所述蓄热室被夺取热量的所述第一处理气体被引导至所述第二废气处理装置；第一中间处理气体管道，将所述第一废气处理装置的所述燃烧室与所述第一处理气体管道连接，使得所述燃烧室内的废气即第一中间处理气体被引导至所述第二废气处理装置；温度调节计，检测从所述第一处理气体管道以及所述第一中间处理气体管道流入到所述第二废气处理装置的废气的温度；以及热旁通阀，根据所述温度调节计检测到的温度，调节流入所述第一中间处理气体管道的所述第一中间处理气体的流量。

在该废气处理设备中，使在蓄热室被夺取热量的第一处理气体与燃烧室内的高温废气即第一中间处理气体合流，然后，使该混合气体流入至第二废气处理装置。因此，在该废气处理设备中，即使不燃烧燃料等来加热第一处理气体，也能够将流入第二废气处理装置的废气温度设置在催化剂的活性温度范围内。由此，在该废气处理设备中，从消耗的方面来看，还能够抑制废气处理所需的运行成本。

根据本实用新型的第六种方式，在所述第一种方式至所述第五种方式的任一种方式所涉及的所述废气处理设备中，所述第二废气处理装置具有形成有气体入口以及气体出口的壳体、配置在所述壳体内的所述催化剂、位于所述壳体内且配置得比所述催化剂更靠近所述气体入口侧的前处理部。所述前处理部去除流入所述第二废气处理装置的废气中包含的降低所述催化剂性能的物质。

在该废气处理设备中，能够抑制催化剂的性能降低。

根据本实用新型的其他方式，废气处理设备具备：

第一废气处理装置，具有燃烧室和蓄热室，该燃烧室加热包含挥发性有机化合物的废气，使所述有机化合物氧化分解，该蓄热室将在所述燃烧室中氧化分解所述有机化合物后的废气即第一处理气体的热量给予流入所述燃烧室前的所述废气；第二废气处理装置，具有催化剂，该催化剂使从所述第一废气处理装置排出的气体中残留的所述有机化合物氧化分解；第一处理气体管道，将所述第一废气处理装置与所述第二废气处理装置连接，使得在所述蓄热室中被夺取热量后的所述第一处理气体被引导至所述第二废气处理装置；第一中间处理气体管道，将所述第一废气处理装置的所述燃烧室与所述第一处理气体管道连接，使得所述燃烧室内的气体即第一中间处理气体被引导至所述第二废气处理装置；温度调节计，检测从所述第一处理气体管道以及所述第一中间处理气体管道流入到所述第二废气处理装置的气体温度；以及热旁通阀，根据所述温度调节计检测到的温度，调节流入所述第一中间处理气体管道的所述第一中间处理气体的流量。

根据本实用新型的实施方式所涉及的废气处理装置，能够高度处理废气中包含的VOC。即，能够大幅度地降低废气中的VOC浓度。

另外，根据本实用新型的实施方式所涉及的废气处理装置，在废气流入前加热该废气。因此，能够削减升温废气所需的热量，其结果，能够抑制燃料等的消耗量。由此，能够抑制废气处理所需的运行成本。

附图说明

图1是本实用新型所涉及的第一实施方式中的废气处理设备的系统图；

图2是表示本实用新型所涉及的第一实施方式中的废气处理方法步骤的流程图；

图3是本实用新型所涉及的第二实施方式中的废气处理设备的系统图；

图4是表示本实用新型所涉及的第二实施方式中的废气处理方法步骤的流程图。

具体实施方式

以下，参照附图，对本实用新型所涉及的废气处理设备的各个实施方式进行说明。

“第一实施方式”

参照图1以及图2，对本实用新型所涉及的废气处理设备的第一实施方式进行说明。

本实施方式的废气处理设备是对包含VOC的废气G0进行处理的设备。该废气处理设备如图1所示，具备加热废气G0而使废气G0中的VOC氧化分解的第一废气处理装置10、使用催化剂36而使VOC氧化分解的第二废气处理装置30、加热流入第一废气处理装置10的废气G0的预热热交换器55。

第一废气处理装置10具有壳体11、燃烧器21以及旋转分配阀23。在壳体11中形成有燃烧室15、蓄热室17以及出入室12。

燃烧室15加热废气G0而使废气G0中的VOC氧化分解。

蓄热室17从废气G0在燃烧室15中氧化分解VOC后的废气即第一废气G1中夺取热量，并暂时储存该热量，使储存的热量对废气G0放热。出入室12使废气G0从外部流入，并且使第一处理气体G1向外部流出。蓄热室17在壳体11内形成在燃烧室15与出入室12之间。作为壳体11的一部分且出入室12划分的部分中形成有气体入口13以及气体出口14。在蓄热室17中形成有使燃烧室15与出入室12连通的多个蓄热流路18。多个蓄热流路18例如由陶瓷等蓄热体形成。作为壳体11的一部分且划定燃烧室15的部分中形成有使燃烧室15内的废气即第一中间处理气体G1i向外部流出的中间处理气体出口16。

燃烧器21是壳体11的一部分，并且设置在划定燃烧室15的部分。该燃烧器21接受来自外部的燃料，并使该燃料在燃烧室15的外部与空气混合并燃烧，在燃烧室15内形成火焰，从而加热流入到燃烧室15的废气G0。即，该燃烧器21作为用于加热流入到燃烧室15的废气G0的加热器而发挥作用。

在出入室12中配置有旋转分配阀23。在旋转分配阀23形成有与形成在蓄热室17中的多个蓄热流路18的数量相同的分配流路25。在旋转分配阀23处于静止的状态下，多个分配流路25分别与形成在蓄热室17中的多个蓄热流路18中的某一个蓄热流路连通。

从壳体11的气体入口13流入到出入室12的废气G0经由形成于旋转分配阀23的多个分配流路25中的一部分分配流路25而流入到蓄热室17的一部分蓄热流路18中。流入到蓄热室17的一部分蓄热流路18中的废气G0经由该一部分蓄热流路18而流入到燃烧室15中。燃烧室15内的废气流入到蓄热室17的另一部分蓄热流路18中。该废气作为前述的第一处理气体G1，经由另一部分蓄热流路18而流入到形成于旋转分配阀23的多个分配流路25中的另一部分分配流路25中。流入到另一部分分配流路25的第一处理气体G1从气体出口14向外部流出。所述第一处理气体G1的热量储存到形成该蓄热流路18的蓄热体中。

如果旋转分配阀23旋转，则蓄热室17中的多个蓄热流路18中的流过废气G0的蓄热流路18与其他蓄热流路18切换，并且，流过第一处理气体G1的蓄热流路18与其他蓄热流路18切换。其结果，使得在蓄热室17的多个蓄热流路18中的之前流过第一处理气体G1的蓄热流路18中流过废气G0。因此，可以使此前流过第一处理气体G1而储存在蓄热体中的热量向废气G0放热。即，在蓄热室17中，加热废气G0，冷却第一处理气体G1。

如上所述，如果旋转分配阀23旋转，则蓄热室17的多个蓄热流路18中的流过废气G0的蓄热流路18以及流过第一处理气体G1的蓄热流路18依次切换，在形成蓄热室17的多个蓄热流路18的蓄热体中，蓄热的区域以及放热的区域依次移动。

如上所述，在第一废气处理装置10中，加热废气G0而使该废气G0中的VOC氧化分解，并且，将加热废气G0而生成第一处理气体G1中的热量一次储存到蓄热体中，并将该热量用于加热废气G0。此外，如果第一废气处理装置10具有加热废气G0的功能，则可以是任何结构。

第二废气处理装置30具有壳体31、配置在壳体31内的催化剂36以及配置在壳体31内的前处理部35。在壳体31中形成有气体入口33和气体出口34。

催化剂36例如由铂或钯等形成。该催化剂36具有在活性温度下促进VOC的分解反应的功能。该VOC的分解反应伴随着VOC的氧化反应。即，催化剂36促进反应，使得VOC氧化分解而变为CO₂和H₂O。该催化剂36的活性温度例如为200～380℃。

在从第二废气处理装置30的气体入口33流入的废气中，有时包含降低催化剂性能的物质即催化剂毒物。作为这种物质，例如灰尘、碳、焦油、有机金属化合物以及有机硅化合物等。这些物质均会附着在催化剂36的表面，从而降低催化剂36的功能。

前处理部35具有去除这种物质的功能。由此，前处理部35位于壳体31内，并且配置得比催化剂36更靠近气体入口33侧。前处理部35由以氧化铝、氧化锰等为母材形成的前处理剂或者捕捉灰尘等的过滤器构成。前处理剂的活性温度例如为350～400℃。此外，前处理部35也可以具有前处理剂和过滤器。

本实施方式的废气处理设备还具备废气管道45、第一处理气体管道41、第一中间处理气体管道42、温度调节计43、热旁通阀44、第二处理气体管道46以及吸气口47。

废气管道45与第一废气处理装置10的气体入口13连接。废气管道45将废气G0引导至第一废气处理装置10内。在该废气管道45中，可以根据需要设置用于形成废气G0流动的废气风扇59。另外，在该废气管道45中，可以根据需要设置吸气口47。吸气口47在启动本实施方式所涉及的废气处理装置时或紧急情况时将外部气体导入至废气管道45。

第一处理气体管道41将第一废气处理装置10的气体出口14与第二废气处理装置30的气体入口33连接。第一处理气体管道41将由第一废气处理装置10的蓄热室17夺取热量的第一处理气体G1引导至第二废气处理装置30。第一中间处理气体管道42将第一废气处理装置10的中间处理气体出口16与第一处理气体管道41连接。第一中间处理气体管道42将第一废气处理装置10的燃烧室15内的废气即第一中间处理气体G1i引导至第二废气处理装置30。温度调节计43位于第一处理气体管道41中，并且设置得比与第一中间处理气体管道42的连接位置更靠近第二废气处理装置30侧。由此，该温度调节计43可以检测流过第一处理气体管道41的第一处理气体G1与流过第一中间处理气体管道42的第一中间处理气体G1i混合的混合气体Gm的温度。

热旁通阀44设置于第一中间处理气体管道42。该热旁通阀44基于温度调节计43检测到的温度来调节流入第一中间处理气体管道42的第一中间处理气体G1i的流量。

第二处理气体管道46与第二废气处理装置30的气体出口34连接。预热热交换器55是以跨越该第二处理气体管道46和废气管道45的方式设置的热交换器。该预热热交换器55使流入废气管道45的废气G0与流入第二处理气体管道46的第二处理气体G2进行热交换，冷却第二处理气体G2，另一方面，加热废气G0。

下面，根据图2所示的流程图，对本实施方式中的废气处理设备的废气处理步骤进行说明。

如上所述，流入废气管道45的废气G0在预热热交换器55内与第二处理气体G2进行热交换而被加热(S11：预热工序)。从第二废气处理装置30刚刚流出后的第二处理气体G2的温度例如为355℃。通过预热热交换器55加热前的废气G0的温度例如为60℃。通过预热热交换器55加热后的废气G0的温度例如为160℃。

通过预热热交换器55加热的废气G0从第一废气处理装置10的气体入口13流入到壳体11内。该废气G0经由蓄热室17的多个蓄热流路18中的一部分蓄热流路18而流入到燃烧室15内。如上所述，废气G0在流过蓄热室17的蓄热流路18的过程中，被形成蓄热流路18的蓄热体储存的热量加热(S2：蓄热/放热工序)。通过蓄热体加热的废气G0在燃烧室15中进一步被加热，废气G0中的大部分VOC氧化分解(S3：氧化分解工序)。通过该氧化分解工序(S3)，废气G0中的大部分VOC变为CO₂和H₂O，从而使其无毒化。燃烧室15内的大部分废气作为第一处理气体G1向蓄热室17的多个蓄热流路18中的另一部分蓄热流路18流入，并流入该蓄热流路18内。从燃烧室15刚刚流入蓄热室17前的废气的温度例如为850℃。如上所述，第一处理气体G1在流过蓄热室17的蓄热流路18的过程中，被形成蓄热流路18的蓄热体夺取热量而冷却(S2：蓄热/放热工序)。

在流过蓄热流路18过程中被冷却的第一处理气体G1从第一废气处理装置10的气体出口14流出，并流入第一处理气体管道41。从第一废气处理装置10刚刚流出后的第一处理气体G1的温度例如为200℃。在第一废气处理装置10中执行包含如上所述的蓄热/放热工序(S2)以及氧化分解工序(S3)的第一废气处理工序(S1)。

第一废气处理装置10的燃烧室15内的一部分废气作为第一中间处理气体G1i从第一废气处理装置10的中间处理气体出口16流出，并流入第一中间处理气体管道42。该第一中间处理气体G1i从第一中间处理气体管道42流入到第一处理气体管道41，从而与第一处理气体G1合流(S4：混合工序)。该第一中间处理气体G1i的温度例如为850℃。第一处理气体G1与第一中间处理气体G1i合流后的废气即混合气体Gm经由第一处理气体管道41，从第二废气处理装置30的气体入口33流入第二废气处理装置30内。在该混合工序(S4)中，混合气体Gm的温度可以通过温度调节计43检测(S5：温度检测工序)。设置于第一中间处理气体管道42的热旁通阀44基于温度调节计43检测到的混合气体Gm的温度来调节流入第一中间处理气体管道42的第一中间处理气体G1i的流量(S6：流量调节工序)。

如上所述，第二废气处理装置30的催化剂36的活性温度例如为200～380℃。另外，如上所述，从第一废气处理装置10刚刚流出后的第一处理气体G1的温度例如为180℃。因此，在流量调节工序(S6)中，调节混合到180℃的第一处理气体G1中的850℃的第一中间处理气体G1i的流量，以使得混合气体Gm的温度为280～380℃。此外，例如，在使用活性温度为350～400℃的前处理剂来作为第二废气处理装置30的前处理部35的情况下，可以在流量调节工序(S6)中调节混合到第一处理气体G1中的第一中间处理气体G1i的流量，以使得混合气体Gm的温度为350～400℃。350～400℃是催化剂36和前处理剂均处于活性温度的温度范围。

流入第二废气处理装置30内的混合气体Gm首先通过前处理部35。在混合气体Gm通过该前处理部35的过程中，从该混合气体Gm中去除该混合气体Gm中降低催化剂性能的物质(S8：前处理工序)。通过了前处理部35的混合气体Gm接下来通过催化剂36。在混合气体Gm通过该催化剂36的过程中，残留在混合气体Gm中的VOC氧化分解，变为CO₂和H₂O(S9：氧化分解工序)。

通过了催化剂36的废气作为第二处理气体G2从第二废气处理装置30的气体出口34流出，并流入至第二处理气体管道46。在第二废气处理装置30中执行包含如上所述的前处理工序(S8)以及氧化分解工序(S9)的第二处理工序(S7)。

如上所述，流入第二处理气体管道46的第二处理气体G2在预热热交换器55内中与流入废气管道45的废气G0进行热交换，从而被冷却(S11：预热工序)。从第二废气处理装置30刚刚流出后的第二处理气体G2的温度例如为355℃。通过预热热交换器55冷却后的第二处理气体G2的温度例如为250℃。

如上所述，在本实施方式中，在通过第一废气处理装置10使废气G0中的VOC氧化分解后，使用第二废气处理装置30使通过第一废气处理装置10的第一处理气体G1中存留的VOC中进一步氧化分解。由此，本实施方式与通过单个处理装置处理废气G0中的VOC的情况相比，能够大幅度降低废气G0中的VOC浓度。即，在本实施方式中，能够大幅度提高对废气G0中包含的VOC的处理能力。

另外，在本实施方式中，废气G0在流入第一废气处理装置10前，在预热热交换器55中通过第二处理气体G2的热量被加热，因此，能够抑制用于加热流入到燃烧室15的废气G0所需的燃料等的流量。另外，在本实施方式中，使被蓄热室17夺取热量的第一处理气体G1与燃烧室15内的高温废气即第一中间处理气体G1i合流，然后，使该混合气体Gm流入到第二废气处理装置30。因此，在本实施方式中，即使不燃烧燃料等来加热第一处理气体G1，也能够使流入到第二废气处理装置30的废气的温度处于催化剂36的活性温度范围内。由此，在本实施方式中，能够抑制废气所需的运行成本。

“第二实施方式”

参照图3以及图4，对本实用新型所涉及的废气处理设备的第二实施方式进行说明。

本实施方式的废气处理设备如图3所示，是在第一实施方式的废气处理设备中追加有浓缩装置50以及废热回收热交换器56的设备。

在本实施方式的废气处理设备中，处理比第一实施方式的废气处理设备所处理的废气G0的VOC浓度低的低浓度废气GL。浓缩装置50将该低浓度废气GL浓缩成高浓度低风量的废气。浓缩装置50具有旋转的圆筒形转子、承载在转子表面的吸附剂、覆盖转子的壳体。吸附剂例如通过沸石来吸附VOC。在壳体内存在吸附区域、再生区域以及冷却区域。壳体内的再生区域内通过热风。承载在转子表面的吸附剂中的位于吸附区域内的吸附剂吸附低浓度废气GL中的VOC。如果位于吸附区域内并吸附有VOC的吸附剂通过转子的旋转而位于再生区域内，则使VOC脱离到少风量的热风中。由此，生成提高了低浓度废气GL中的VOC浓度的小风量废气。

浓缩装置50将提高了VOC浓度的废气作为废气G0排出。浓缩装置50的气体出口54与第一废气处理装置10的气体入口13通过废气管道45连接。在该废气管道45中，可以根据需要设置用于形成在废气管道45中流动的废气G0的气体流动的废气风扇59。

预热热交换器55与第一实施方式同样地以跨越第二处理气体管道46和废气管道45的方式设置。废热回收热交换器56位于第二处理气体管道46中，并且配置得比预热热交换器55更靠近第二处理气体G2的流动的下游侧。该废热回收热交换器56通过热交换器使流过第二处理气体管道46的第二处理气体G2与外部气体A进行热交换，冷第二处理气体G2，另一方面，加热外部气体A。此外，废热回收热交换器56使外部气体A与第二处理气体G2进行热交换，也可以使外部气体A以外的介质与第二处理气体G2进行热交换。

下面，根据图4所示的流程图，对本实施方式所涉及的废气处理设备的废气处理步骤进行说明。

如上所述，浓缩装置50将低浓度废气GL浓缩成小风量且高VOC浓度的废气G0，然后将该废气G0排出。即，浓缩装置50将低浓度废气GL中的VOC浓缩(S10：浓缩工序)。在此，从浓缩装置50刚刚流出后的废气G0的温度例如为60℃。如上所述，该废气G0在预热热交换器55内与第二处理气体G2进行热交换(S11：预热工序)。从第二废气处理装置30刚刚流出后的第二处理气体G2的温度例如为355℃。通过第二处理气体G2与废气G0之间的热交换，冷却第二处理气体G2，加热废气G0。通过与第二处理气体G2的热交换而预热的废气G0的温度例如为160℃。

通过预热热交换器55预热的废气G0与第一实施方式同样地通过第一废气处理装置10以及第二废气处理装置30。因此，在包含第一废气处理装置10以及第二废气处理装置30的设备中，与第一实施方式同样地执行第一废气处理工序(S1)、混合工序(S4)以及第二废气处理工序(S7)。

来自第二废气处理装置30的第二处理气体G2经由第二处理气体管道46流入预热热交换器55。如上所述。第二处理气体G2在流入预热热交换器55内的过程中，通过与废气G0的热交换被冷却(S11：预热工序)。通过预热热交换器55冷却后的第二处理气体G2的温度例如与第一实施方式同样地为250℃。

通过预热热交换器55的第二处理气体G2流入废热回收热交换器56。

在该废热回收热交换器56中，外部气体A等介质与第二处理气体G2进行热交换，加热外部气体A等，另一方面，冷却第二处理气体G2(S12：废热回收工序)。

如上所述，在本实施方式中，将低浓度废气GL浓缩成小风量且高VOC浓度的废气G0，然后通过第一废气处理装置10以及第二废气处理装置30处理废气G0。由此，在本实施方式中，能够在处理低浓度废气GL时减少第一废气处理装置10以及第二废气处理装置30处理的废气量，因此，能够实现第一废气处理装置10以及第二废气处理装置30的小型化，能够抑制设备成本。并且，在本实施方式中，能够使第一废气处理装置10以及第二废气处理装置30处理的废气量高浓度化，还能够抑制运行成本。

另外，在本实施方式中，通过预热热交换器55后的第二处理气体G2的热量被废热回收热交换器56回收，因此，能够有效利用该第二处理气体G2的热量。

此外，如上所述，本实施方式是在第一实施方式的废气处理设备中追加有浓缩装置50以及废热回收热交换器56的设备。但是，也可以在第一实施方式的废气处理设备中仅追加浓缩装置50和废热回收热交换器56中的任意一个。