专利名称：坩埚内加热加热炉料装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及坩埚内加热加热炉料装置。
技术背景现在，由MgR或Si02制备镀膜材料的制备镀膜材料的老式制备 装置结构的剖面示意图，如图1所示，其由炉体及保温层15、坩埚6、 加热体7和上盖8构成；所述的加热体7置于坩埚6和保温层15的 内层之间，上盖8置于炉体及保温层15的上部。所述的加热体7与 和坩埚6的外层及保温层15的内层之间要有较大的空隙以免造成连 电，加热体7与和坩埚6的外层及保温层15的内层之间均要有20mm 以上较大的空隙。其存在的问题是加热体7对装料坩埚6加热的同 时也对保温层15的内层加热，加热炉料的热利用率低，造成热损耗 大，浪费能源；由于加热体使用时占用空间大，加热炉料装置的体积 也会大，或者，为了保持一定体积就必须把坩埚6的体积縮小，于是 就减少装料，也造成制备材料的效率降低。所以每炉只能制备镀膜材 料20kg-50 kg ，恒温耗电功率在3万瓦左右。发明内容为了解决上述技术问题，本实用新型提供了柑埚内加热加热炉料 装置。本实用新型的坩埚内加热加热炉料装置可以使用粉末或颗粒状 的材料，尤其是用MgK或Si02制备镀膜材料。该加热炉料装置构成 的结构剖面示意图如图2所示，该装置由保温筒l、坩埚2、加热体3和上盖4和埘埚盖5构成；坩埚2置于保温筒1的里面，所述的坩 埚2的底部中间为向内凹进的一个中空的圆柱，该中空的圆柱内置有加热体3，坩埚盖5置于坩埚2上部，上盖4置于保温筒1的上部并与保温筒1紧密接触。使用时，把原料加入坩埚2里，盖上坩埚盖5，再把上盖4置于 保温筒1的上部并与保温筒1紧密接触；通电加温。得到目标材料后 取出即可。有益效果本实用新型提供的坩埚内加热加热炉料装置，用MgR 或Si02制备镀膜材料。本实用新型采用坩埚内加热的技术方案，由 于加热体几乎只对坩埚加热，热损耗小，热用率高，升温速度快；由 于加热体在坩埚的内部，加热体只对坩埚的内层加热，热用率提高了， 而且大大降低了加热体所占用的空间，坩埚容量增大了，装料量也增 加了。在恒温耗电功率只有3万瓦左右的条件下，每炉制备的镀膜材 料达100余kg ，产量提高两倍。
图1是老式制备装置的结构剖面示意图。图2是本实用新型提供的坩埚内加热加热炉料装置的结构剖面 示意图。其也是摘要附图。
具体实施方式
实施例1如图2所示，该装置由保温筒l、坩埚2、加热体3和上盖4和 柑埚盖5构成；所述的坩埚2置于保温筒1的里面支座13、 14上，所述的坩埚2的底部中间为向内凹进的一个中空的圆柱，该中空的圆柱内置有加热体3，所述的柑埚盖5置于柑埚2上，所述的上盖4置于保温筒1的上部并与保温筒1紧密接触。使用时，把原料加入坩埚2里，盖上坩埚盖5，再把上盖4置于 保温筒1的上部并与保温筒1紧密接触；通电加温。得到目标材料后取出即可。所述的坩埚2的几何尺寸为cj)400mm，高600mm，上盖4的几 何尺寸为小400腿，加热体3为3相加热体，几何尺寸为4)90X 600mm。本实用新型采用坩埚内加热的技术方案，由于加热体几乎只对坩 埚加热，热损耗小，热用率高，升温速度快；由于加热体在坩埚的内 部，大大降低了加热体所占用的炉内空间，坩埚容量可以增大，装料 量增加，在恒温耗电功率只有3万瓦左右的条件下，每炉制备镀膜材 料达100 kg ，产量提高两倍。
权利要求1、坩埚内加热加热炉料装置，其特征在于，其构成包括保温筒(1)、坩埚(2)、加热体(3)、上盖(4)、坩埚盖(5)和支座(13、14)；所述的坩埚(2)置于保温筒(1)的里面支座(13、14)上，所述的坩埚(2)的底部中间为向内凹进的一个中空的圆柱，该中空的圆柱内置有加热体(3)，所述的坩埚盖(5)置于坩埚(2)上部，所述的上盖(4)置于保温筒(1)的上部并与保温筒(1)紧密接触。
专利摘要坩埚内加热加热炉料装置，其构成包括保温筒(1)、坩埚(2)、加热体(3)、上盖(4)和坩埚盖(5)构成；坩埚(2)置于保温筒(1)的里面支座(13、14)上，所述的坩埚(2)的底部中间为向内凹进的一个中空的圆柱，该中空的圆柱内置有加热体(3)，所述的坩埚盖(5)置于坩埚(2)上部，所述的上盖(4)置于保温筒(1)的上部并与保温筒(1)紧密接触。由于坩埚内加热的技术方案，加热体几乎只对坩埚加热，热损耗小，热用率高，升温速度快；加热体在坩埚的内部，降低了加热体所占用的炉内空间，坩埚容量增大，装料量增加，每炉制备镀膜材料达100余kg，产量提高两倍，恒温耗电功率只有3万瓦。
文档编号F27B14/00GK201289302SQ20082007269
公开日2009年8月12日 申请日期2008年11月3日 优先权日2008年11月3日
发明者兵 任, 硕 刘, 刘占国 申请人:长春晶科光电有限公司