空调装置的制作方法

本发明涉及空调装置。

背景技术：

例如在通过光刻形成半导体的电路图案时，下述装置等被使用：旋转涂布机等光致抗蚀剂的涂敷装置；使光致抗蚀剂曝光的曝光装置；使曝光后的光致抗蚀剂显影的显影装置；以及将通过显影而形成的抗蚀剂图案作为掩模来蚀刻基板的蚀刻装置。设置有这样的各种装置的洁净室或各种装置的内部空间的温度被要求严密地控制为所希望的温度，该温度控制一般通过空调装置来进行。

作为能够应对洁净室等的温度控制的空调装置，一直以来提出有各种装置。例如在专利文献1中，公开了本申请的申请人的空调装置。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-108652号公报

技术实现要素：

发明所要解决的课题

专利文献1的空调装置通过冷却、加热以及加湿将取入的空气控制为所希望的温度和湿度，并供给至使用区域。另外，该空调装置具备使取入的空气分支成主流和副流的管道，在该管道中，冷却单元被配置于供主流流通的流路部分。另一方面，在供副流流通的流路部分配置有流量调节部件，该流路部分在冷却单元的下游侧与主流的流路部分连接。由此，能够通过流路调节部件将冷却所需的流量的空气供给至冷却单元进行冷却，从而能够实现节能。

可是，在该空调装置中，管道中的主流的流路部分与副流的流路部分互相独立地构成，且设置有冷却单元、加热单元、加湿单元等比较多的部件，因此存在装置整体变得大型化这样的课题。

另外，近来，对于用于半导体制造设备的这种空调装置，存在如下倾向：除了温度，湿度也被要求严密地进行控制。特别是，对于在光刻中使用的光致抗蚀剂的涂敷装置，光致抗蚀剂的特性不仅根据温度而且还根据湿度而大幅变化，因此，强烈要求提高湿度控制的精度。

本发明是考虑了这样的情况而完成的，其目的在于提供如下的空调装置：通过能够调节作为温度控制对象的空气中的进行冷却的空气和不进行冷却的空气的流量的管道等部件，能够在不使装置整体大型化的情况下实现节能。

用于解决课题的手段

本发明是空调装置，其特征在于，所述空调装置具备：管道，其具有上游侧流路部和下游侧流路部，在所述上游侧流路部设置有将作为温度控制对象的空气取入的取入口，在所述下游侧流路部设置有将所述作为温度控制对象的空气排出的排出口；冷却部，其被配置于所述管道的所述上游侧流路部内，对所述作为温度控制对象的空气进行冷却；以及加热部，其被配置在所述管道的所述下游侧流路部内，对所述作为温度控制对象的空气进行加热，所述上游侧流路部具有将其内部空间分隔成主流用流路和副流用流路的分隔板，所述冷却部被配置于所述主流用流路，在所述上游侧流路部设置有流量调节部件，该流量调节部件覆盖所述副流用流路的至少一部分，调节该副流用流路的开口面积。

根据本发明，利用分隔板将配置有冷却部的管道的上游侧流路部内分隔成主流用流路和副流用流路，通过流量调节部件的设置来调节未配置冷却部的副流用流路的开口面积，由此，能够在不使管道大型化的情况下对进行冷却的空气和不进行冷却的空气的流量进行调节。并且，通过根据进行冷却的空气的流量来调节冷却部的冷却能力，能够实现节能。

所述流量调节部件可以设置成能够装卸。由此，能够灵活地调节进行冷却的空气和不进行冷却的空气的流量。

所述流量调节部件可以设置于所述分隔板。这种情况下，与将流量调节部件直接设置于管道的情况相比，能够简化流量调节部件的设置结构，因此能够提高生产率。

特别优选的是，所述流量调节部件形成为板状，该流量调节部件被设置于所述分隔板，在所述上游侧流路部内沿着与所述作为温度控制对象的空气流动的方向交叉的方向延伸。这种情况下，能够使流量调节部件的设置结构非常简化，因此能够有效地提高生产率。

另外，可以是，所述上游侧流路部和所述下游侧流路部以呈L字状的方式结合在一起。这种情况下，与上游侧流路部和下游侧流路部以直线状结合的情况相比，容易使装置整体小型化。

另外，也可以是，本发明的空调装置还具备：送风机，其被设置于所述排出口的下游侧，使所述作为温度控制对象的空气从所述取入口向所述排出口流通；和加湿器，其被配置于所述下游侧流路部内，所述加湿器具有：贮留槽，其朝向上方敞开，贮留水；加热器，其对所述贮留槽内的水进行加热；以及罩，其从上方覆盖所述贮留槽，在所述罩上部分地设置有在上下方向上贯通的开口部。这种情况下，抑制了贮留槽内的水的水面由于通过加湿器的空气的影响而发生紊乱的情况，因此能够提高加湿控制的精度。

特别优选的是，在所述开口部的周缘设置有围绕部，所述围绕部向所述贮留槽的底部侧突出，并且遍及所述周缘的至少一部分而延伸。这种情况下，即使在开口部的周缘附着有水滴，水滴也会因与成长相伴的自重而被围绕部引导从而容易向贮留槽侧返回。由此，下述情况得到了抑制：附着于开口部的周缘的水滴由于空气的影响而向管道侧飞散，从而，能够提高加湿控制的精度。

另外，可以是，所述加湿器被配置于所述加热部的下游侧，所述加热部、所述加湿器以及所述送风机在水平方向上排列，所述开口部被设置于比所述罩的所述送风机侧的端部靠所述加热部侧的位置处。这种情况下，虽然送风机的附近容易产生旋涡，但由于开口部远离容易产生旋涡的区域，因此，抑制了加湿控制因旋涡的影响而发生紊乱的情况。即，在来自加湿器的蒸气被供给至旋涡的产生区域的情况下，蒸气没有被供给到空气中，或者在旋涡崩溃的情况下，蒸气被过量地供给到空气中，从而，由于旋涡的影响而可能导致加湿控制紊乱。与此相对，在本结构中，由于旋涡的影响而导致加湿控制紊乱的情况得到了抑制，因此，能够提高加湿控制的精度。

另外，可以是，所述开口部是俯视时的面积为所述罩的整体面积的20％～60％的单一开口部。根据本案的发明者的研究发现，通过在罩上设置相对于俯视图中的罩的整体面积的面积为20％～60％的单一的开口部，能够提高加湿控制的精度。

发明的效果

根据本发明，通过能够对作为温度控制对象的空气中的进行冷却的空气和不进行冷却的空气的流量进行调节的管道等部件，能够在不使装置整体大型化的情况下实现节能。

附图说明

图1是本发明的一个实施方式的空调装置的概要图。

图2是示出在图1所示的空调装置中设置的管道的上游侧流路部的图。

图3的(A)、(B)是说明如下情况的图：对在图2所示的管道的上游侧流路部设置的流量调节部件的位置进行变更。

图4是示出在图1所示的空调装置中设置的加湿器的侧截面和送风机的图。

图5是图4所示的加湿器的重要部位的放大图。

图6是示出一般的加湿器的图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的一个实施方式详细进行说明。图1是本发明的一个实施方式的空调装置1的概要图。空调装置1用于如下用途：例如针对进行光致抗蚀剂的涂敷的涂敷装置，供给被进行了温度控制的空气，将装置内的温度维持为固定。

如图1所示，本实施方式的空调装置1具备：管道10，其具有上游侧流路部10U和下游侧流路部10D，其中，在所述上游侧流路部10U设有取入作为温度控制对象的空气的取入口21，在所述下游侧流路部10D设有将作为温度控制对象的空气排出的排出口22；冷却部31，其被配置在上游侧流路部10U内，对作为温度控制对象的空气进行冷却；加热部41，其被配置在下游侧流路部10D内，对作为温度控制对象的空气进行加热；送风机50，其被设置于排出口22的下游侧，使作为温度控制对象的空气从取入口21向排出口22流通；以及控制部60，其控制冷却部31和加热部41等。

在图1中，示出有多个的箭头A表示空气的流动。如箭头A所示，在该空调装置1中，通过驱动送风机50，由此，从管道10的取入口21取入的作为温度控制对象的空气在通过上游侧流路部10U和下游侧流路部10D后从排出口22排出。然后，来自排出口22的空气被送风机50经由连接流路51供给至使用区域U。使用区域U是例如进行光致抗蚀剂的涂敷的涂敷装置(涂布机等)的内部空间等。

在该空调装置1中，如上述那样流通的空气被冷却部31冷却，且被加热部41加热，从而将使用区域U的温度朝向预先设定的目标使用温度控制。另外，在本实施方式中，在下游侧流路部10D中的加热部41下游侧设有加湿器70，作为温度控制对象的空气也被朝向预先设定的目标使用湿度控制。为了使使用区域U成为所希望的温度和湿度，控制部60对冷却部31的冷却能力、加热部41的加热能力以及加湿器70的加湿量进行控制。

冷却部31与压缩机32、冷凝器33以及膨胀阀34协作，构成了冷却回路30。冷却回路30是通过配管35将冷却部31、压缩机32、冷凝器33以及膨胀阀34按照该順序连接而构成的，以使热介质循环。冷却部31是冷却线圈，使来自膨胀阀34的低温的热介质流通，并流出至压缩机32。

压缩机32对从冷却部31流出的低温且低压的气体状态的热介质进行压缩，使该热介质成为高温(例如80℃)且高压的气体状态，并供给至冷凝器33。压缩机32是以可变运转频率运转且能够对应于运转频率调节转速的变频压缩机。对于压缩机32，运转频率越高，则向冷凝器33供给越多的热介质。作为压缩机32，优选采用涡旋式压缩机。但是，如果能够通过变频器对运转频率的调节来调节转速从而调节热介质的供给量(流量)，则压缩机32形式不特别限定。

冷凝器33利用冷却水对被压缩机32压缩后的热介质进行冷却并使其冷凝，使其成为规定的冷却温度(例如，40℃)的高压的液体状态，并供给至膨胀阀34。对于冷凝器33的冷却水，可以使用水，也可以使用其它制冷剂。另外，膨胀阀34使从冷凝器33供给的热介质膨胀而使其减压，成为低温(例如，2℃)且低压的气液混合状态，并供给给冷却部31。冷却部31使所供给的热介质与作为温度控制对象的空气进行热交换来冷却空气。与空气进行热交换后的热介质成为低温且低压的气体状态而从冷却部31流出，并再次被压缩机32压缩。

在该冷却回路30中，通过使压缩机32的运转频率变化来调节转速，由此能够调节供给至冷凝器33的热介质的供给量，并且，能够调节膨胀阀34的开度，由此能够调节供给至冷却部31的热介质的供给量。通过这样的调节，使得冷却能力可变。

另一方面，加热部41例如是电加热器。更具体来说，作为加热部41，可以采用铠装加热器或翅片加热器、或者由它们的组合所构成的电加热器等。

在本实施方式的管道10中，上游侧流路部10U和下游侧流路部10D以呈L字状的方式结合在一起。在该例中，上游侧流路部10U以沿着上下方向延伸的方式配置，下游侧流路部10D以沿着水平方向延伸的方式配置。并且，管道10的形状不限于L字状，例如也可以形成为直线状。

图2是示出管道10的上游侧流路部10U的图，本实施方式的管道10的上游侧流路部10U具有将其内部空间分隔成主流用流路S1和副流用流路S2的分隔板11，冷却部31被配置于主流用流路S1。在此，在上游侧流路部10U设置有流量调节部件12，该流量调节部件12覆盖副流用流路S2的至少一部分，来调节副流用流路S2的开口面积(流路面积)。本实施方式的流量调节部件12被设置于分隔板11，且形成为板状。

本实施方式的流量调节部件12被设置于分隔板11，在上游侧流路部10U内沿着与作为温度控制对象的空气所流动的方向相交叉的方向延伸。在图示的例子中，上游侧流路部10U呈直线状延伸，且分隔板11也沿着上游侧流路部10U呈直线状延伸，由此，作为温度控制对象的空气在上游侧流路部10U内的主流用流路S1和副流用流路S2双方中以直线状流动。流量调节部件12如上述那样以在上游侧流路部10U内沿着与空气呈直线状流动的方向(即上游侧流路部10U的延伸方向)垂直的方向延伸的方式，设置于分隔板11。

在本实施方式中，流量调节部件12通过螺栓13以能够装卸的方式固定于固定板部11A，所述固定板部11A以从分隔板11的下游侧的端部弯折的方式形成于该端部。在卸下该螺栓13并变更了流量调节部件12的位置之后，或者，在准备了供螺栓13贯通的螺栓孔的位置不同的其它流量调节部件12之后，通过螺栓13再次将同一流量调节部件12或其它流量调节部件12固定于分隔板11，由此能够调节副流用流路S2的开口面积。并且，在将同一流量调节部件12以能够变更位置的方式设置于分隔板11的情况下，在流量调节部件12形成有多个螺栓孔，但优选使螺栓13不贯通的螺栓孔闭合。

图3的(A)示出了以副流用流路S2的开口面积比图2所示的状态变小的方式变更了流量调节部件12的位置的情况。图3的(B)示出了以副流用流路S2的开口面积比图2所示的状态变大的方式变更了流量调节部件12的位置的情况。在该例子中，在图2、图3的(A)、(B)中示出了使用同一流量调节部件12的例子。这种情况下，在使流量调节部件12的位置向减小副流用流路S2的开口面积的方向变更时，主流用流路S1的开口面积变大。相反，在使流量调节部件12的位置向增大副流用流路S2的开口面积的方向变更时，主流用流路S1的开口面积变小。

在这样的管道10中，利用分隔板11将配置有冷却部31的管道10的上游侧流路部10U内分隔成主流用流路S1和副流用流路S2，利用流量调节部件12来调节未配置冷却部31的副流用流路S2的开口面积，由此能够调节进行冷却的空气和不进行冷却的空气的流量。并且，通过根据进行冷却的空气的流量来调节冷却部31的冷却能力，能够实现节能。并且，本实施方式的流量调节部件12是板状，但是，只要能够调节副流用流路S2的开口面积，则其形状和结构并不特别限定。例如，流量调节部件12也可以是蝶形阀等。但是，在如本实施方式这样将流量调节部件12以板状设置于分隔板11的情况下，其结构变得容易，由此能够提高生产率。

接下来，对加湿器70进行说明。图4示出了本实施方式的加湿器70。加湿器70具有：贮留槽71，其朝向上方敞开，贮留水W；加热器72，其对贮留槽71内的水W进行加热；以及罩73，其从上方覆盖贮留槽71，在罩73上，部分地设置有沿上下方向贯通的开口部74。在图4中，标号75表示与贮留槽71的侧面连接的供给槽。贮留槽71和供给槽75通过未图示的连通路连通。在加湿器70中，供给到供给槽75中的水通过上述的连通路被供给至贮留槽71。

罩73形成为板状，从上方覆盖贮留槽71。图5示出了由图4的标号Z表示的罩73的重要部位的放大图。如图5所示，在本实施方式中，在开口部74的周缘设置有围绕部76，该围绕部76向贮留槽71的底部侧突出，并且遍及所述周缘的整周延伸。并且，在该例子中，围绕部76遍及开口部74的周缘的整周延伸，但围绕部76也可以是遍及开口部74的周缘的一部分延伸的结构。

另外，如图1和图4所示，在本实施方式中，加热部41、加湿器70和送风机50沿水平方向排列。在此，开口部74被设置于比罩73的送风机50侧的端部靠加热部41侧的位置处。另外，图示的开口部74是相对于俯视图中的罩73的整体面积的面积为20％～60％的单一的开口部。“俯视图中的罩73的整体面积”是指在俯视图中由罩73的外缘所围绕的区域的面积。本案的发明者发现：在开口部74是相对于俯视图中的罩73的整体面积的面积为上述的范围的单一的开口部的情况下，能够提高加湿控制的精度，从而，将开口部74的面积设定为该范围。并且，更优选的是，开口部74的面积相对于俯视图中的罩73的整体面积为35％～45％。另外，也可以设置多个开口部74。

在这样的加湿器70中，通过利用部分地形成有开口部74的罩73来覆盖贮留槽71，由此，减小了贮留槽71内的水W的水面的暴露于空气的流动中的部分，从而如图4所示，水面的紊乱被抑制。与此相对，图6示出了一般的加湿器，在如该加湿器这样使贮留槽710朝向上方整体敞开的情况下，贮留槽710内的水的水面大幅地暴露于空气的流动中，因此水面的紊乱变大。在水面的紊乱较大的情况下，由于水面的表面积增加而使得供给到空气中的蒸气预料之外地增加，由此，可能损害加湿控制的稳定性。与此相对，根据本实施方式的结构，贮留槽71内的水的水面的紊乱被抑制，因此能够提高加湿控制的精度。

接下来，对控制部60进行说明。本实施方式的控制部60根据各种传感器的检测值，对冷却部31的冷却能力、加热部41的加热能力以及加湿器70的加湿量等进行控制。在本实施方式中，与控制部60连接有环境温度传感器81、环境湿度传感器82、冷却温度传感器83、源温度传感器84、源湿度传感器85、使用温度传感器86以及使用湿度传感器87。

环境温度传感器81被配置于上游侧流路部10U的副流用流路S2，对被从取入口21取入且未被冷却部31冷却的空气的温度进行检测。环境湿度传感器82被配置于上游侧流路部10U的副流用流路S2，对被从取入口21取入且未被冷却部31冷却的空气的湿度进行检测。冷却温度传感器83对被冷却部31冷却之后且被加热部41加热之前的空气的温度进行检测。源温度传感器84被配置于连接流路51，对通过连接流路51的空气的温度进行检测，其中，该连接流路51供被送风机50排出的空气通过。源湿度传感器85被配置于连接流路51，对通过连接流路51的空气的湿度进行检测。使用温度传感器86被配置于使用区域U，对使用区域U内的空气的温度进行检测。使用湿度传感器87被配置于使用区域U，对使用区域U内的空气的湿度进行检测。

对控制部60的具体的处理进行说明，本实施方式的控制部60根据环境温度传感器81所检测出的环境温度、环境湿度传感器82所检测出的环境湿度、风量(在本例中，根据送风机50的驱动状态来计算)、由流量调节部件12的设置状态所决定的主流用流路S1与副流用流路S2的流量比例、冷却温度传感器83所检测出的温度等，来计算使冷却温度传感器83所检测出的温度成为目标温度的冷却部31的冷却能力，并控制压缩机32的运转频率，以成为该计算出的冷却能力。另外，本实施方式的控制部60通过脉冲转换器52控制膨胀阀34的开度，以使冷却回路30内的热介质维持固定的压力。通过像这样将热介质的压力维持为固定，由此，冷却部31的冷却能力稳定。

另外，控制部60根据使用温度传感器86所检测出的温度与对使用区域U预先设定的目标使用温度之差、和使用湿度传感器87所检测出的湿度与对使用区域U预先设定的目标使用湿度之差，来设定通过连接流路51的作为温度控制对象的空气的目标源温度和目标源湿度。并且，控制部60根据源温度传感器84所检测出的温度与所述目标源温度之差、和源湿度传感器85所检测出的湿度与所述目标湿度之差，来计算用于使源温度传感器84所检测出的温度与所述目标源温度一致的加热部41的加热能力，并控制加热部41以成为该计算出的加热能力，并且，计算用于使源湿度传感器85所检测出的湿度与所述目标源湿度一致的加湿器70的加湿量，并控制加湿器70以成为该计算出的加湿量。

接下来，对本实施方式的空调装置1的动作进行说明。

在空调装置1中，首先，对控制部60输入作为使用区域U的目标温度的目标使用温度、和作为使用区域U的目标湿度的目标使用湿度。另外，通过驱动送风机50，由此使管道10内的空气向排出口22侧流动，从而，从管道10的取入口21取入作为温度控制对象的空气。进而，也驱动冷却回路30的压缩机32。

从管道10的取入口21取入的空气按照由流量调节部件12的设置状态决定的主流用流路S1与副流用流路S2的流量比例，在主流用流路S1和副流用流路S2中流动。主流用流路S1与副流用流路S2的流量比例根据使用空调装置1的环境来选择并设定。具体来说，该比例被设定为能够对应于使用空调装置1的环境来尽可能抑制冷却部31的冷却能力的值，该值是能够实现节能的值。

例如，在使用空调装置1的环境的温度是比较低的温度的情况下，优选的是，将副流用流路S2的开口面积设定得比较大，以使在副流用流路S2中流通的空气比在主流用流路S1中流通的空气多。由此，能够减少由冷却部31冷却的空气量，抑制冷却部31的冷却能力而实现节能。另一方面，在使用空调装置1的环境的温度是比较高的温度的情况下，优选的是，将副流用流路S2的开口面积设定得比较小或者闭合该副流用流路，以使在副流用流路S2中流通的空气比在主流用流路S1中流通的空气少。由此，在需要大幅降低所取入的空气的温度的情况下，能够高效地冷却空气。

并且，在主流用流路S1中流通的空气被冷却部31冷却，并在刚刚冷却后被冷却温度传感器83检测温度。另一方面，在副流用流路S2中流通的空气不进行任何温度控制，在通过副流用流路S2后，与冷却后的通过了主流用流路S1的空气汇合。然后，汇合的空气在被加热部41加热后被加湿器70加湿，最终到达使用区域U。此时，被加湿器70加湿后的空气被源温度传感器84检测温度，且被源湿度传感器85检测湿度。另外，到达使用区域U的空气被使用温度传感器86检测温度，且被使用湿度传感器87检测湿度。并且，控制部60执行基于各种传感器的控制，由此将使用区域U的温度和湿度朝向所设定的目标使用温度和目标使用湿度控制。

根据以上说明的本实施方式的空调装置1，利用分隔板11将配置有冷却部31的管道10的上游侧流路部10U内分隔成主流用流路S1和副流用流路S2，利用流量调节部件12调节未配置冷却部31的副流用流路S2的开口面积，由此，能够在不使管道10大型化的情况下对进行冷却的空气和不进行冷却的空气的流量进行调节。并且，通过根据进行冷却的空气的流量来调节冷却部31的冷却能力，能够实现节能。由此，通过能够对进行冷却的空气和不进行冷却的空气的流量进行调节的管道10等部件，能够在不使装置整体大型化的情况下实现节能。

另外，由于流量调节部件12被设置成能够装卸，因此能够灵活地调节进行冷却的空气和不进行冷却的空气的流量。另外，由于流量调节部件12被设置于分隔板11，因此，与将流量调节部件12直接设置于管道10的情况相比，能够简化流量调节部件12的设置结构，因此能够提高生产率。特别是，由于流量调节部件12形成为板状，流量调节部件12被设置于分隔板11，且在上游侧流路部10U内沿着与作为温度控制对象的空气流动的方向交叉的方向延伸，因此，能够使流量调节部件12的设置结构非常简化，从而能够有效地提高生产率。

另外，上游侧流路部10U和下游侧流路部10D以呈L字状的方式结合在一起，因此，与上游侧流路部和下游侧流路部以直线状结合的情况相比较，容易使装置整体小型化。

另外，空调装置1还具备：送风机50，其设置于排出口22的下游侧，使作为温度控制对象的空气从取入口21向排出口22流通；和加湿器70，其配置在下游侧流路部10D内。加湿器70具有：贮留槽71，其朝向上方敞开，贮留水；加热器72，其对贮留槽71内的水进行加热；以及罩73，其从上方覆盖贮留槽71，在罩73上，部分地设置有沿上下方向贯通的开口部74。由此，抑制了贮留槽71内的水的水面由于通过加湿器70的空气的影响而发生紊乱的情况，因此能够提高加湿控制的精度。

而且，在开口部74的周缘设置有围绕部76，该围绕部76向贮留槽71的底部侧突出，且遍及所述周缘的至少一部分延伸。由此，如图5所示，即使在开口部74的周缘附着有水滴Wa，水滴Wa也会因与成长相伴的自重而被围绕部76引导从而容易向贮留槽71侧返回。由此，下述情况得到了抑制：附着于开口部74的周缘的水滴由于空气的影响而向管道10侧飞散，从而，能够提高加湿控制的精度。

另外，加湿器70被配置于加热部41的下游侧，加热部41、加湿器70以及送风机50在水平方向上排列，开口部74被设置于比罩73的送风机50侧的端部靠加热部41侧的位置处。虽然送风机50的附近容易产生旋涡，但根据该结构，开口部74远离容易产生旋涡的区域，因此，抑制了加湿控制因旋涡的影响而发生紊乱的情况。由此能够提高加湿控制的精度。

以上，对本发明的一个实施方式进行了说明，但本发明不受上述的实施方式限定。

标号说明

1：空调装置；

10：管道；

10U：上游侧流路部；

10D：下游侧流路部；

11：分隔板；

12：流量调节部件；

21：取入口；

22：排出口；

30：冷却回路；

31：冷却部；

32：压缩机；

33：冷凝器；

34：膨胀阀；

41：加热部；

50：送风机；

51：连接流路；

60：控制部；

70：加湿器；

71：贮留槽；

72：加热器；

73：罩；

74：开口部；

75：供给槽；

76：围绕部；

81：环境温度传感器；

82：环境湿度传感器；

83：冷却温度传感器；

84：源温度传感器；

85：源湿度传感器；

86：使用温度传感器；

87：使用湿度传感器；

S1：主流用流路；

S2：副流用流路。