技术特征：
技术总结
本发明提供了一种真空干燥装置，包括：真空腔室；及，设置在所述真空腔室内，用于承载待处理物的承载台；所述承载台包括：承载平台；设置在所述承载平台上的多个支撑部件；以及，能够移动所述支撑部件的移动机构。本发明提供的真空干燥装置，其承载台上设置的支撑部件可移动，从而可以改变与基板的接触位置，解决现有技术中显示基板与支撑部柱接触点形成不良的问题。
技术研发人员：向琛;邸阳;渠谦;徐钟国
受保护的技术使用者：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
技术研发日：2017.06.09
技术公布日：2017.08.18