一种多孔式风刀装置的制作方法

本实用新型涉及湿式制程设备领域，尤其涉及一种多孔式风刀装置。

背景技术：

湿式制程机台在封装、光伏、面板产业使用目前属于成熟型机种设计，但在部分机构设计，使用上有维修困难、切水不良、药液耗用量大等等问题。其中切水不良及药液耗用量大的问题，是目前比较常见的问题，针对这一问题，目前的设计大多在机构段设计上采用安装风刀的方式进行解决，风刀一般采用斜置的方式，占用空间大，通过风刀切水及药液风刀回切，增加对象表面切水及减少药液带出耗用量，但通过这种方式增加风刀，必须具备高流量及压力的输出条件，在高流量或压力条件下，容易造成对象商服逶迤及抖动，因此需要在机构设计上设计上压制滚轮克服因风压造成对象的上浮位移及抖动。

技术实现要素：

本实用新型正是针对现有技术存在的不足，提供了一种多孔式风刀装置。

为解决上述问题，本实用新型所采取的技术方案如下：

一种多孔式风刀装置，包括风刀本体，所述风刀本体水平安装在湿式制程设备的挂架上，且风刀本体对称安装在基板两侧，风刀本体为一体成型式结构，风刀本体包括刀身、刀面和连接头，所述刀身为梯形柱状，刀身的梯形上下底面不封口，且内部中空，刀面为矩形板状，连接头为上下两端面不封口的长方体柱腔，刀身的梯形大端底面不封口端与刀面连接一体，刀身的梯形小端上端面不封口端与连接头的柱腔连接一体，刀面与刀身的连接端中部设有均匀水平线性排列的通孔和盲孔，通孔竖直位于连接头的柱腔下方，盲孔分别位于通孔两侧，且一侧盲孔竖直位于刀身一侧内腔上壁下方，另一侧盲孔倾斜指向刀身另一侧内腔侧壁。

进一步的，所述盲孔指向侧的刀身侧壁壁厚比另一侧刀身侧壁的壁厚大。

进一步的，所述刀面的竖直盲孔侧端部设有向上的斜坡口。

进一步的，所述刀身外壁上设有便于挂持的连接件。

进一步的，所述连接头段设有高效空气空滤器。

所述刀面与基板表面的间距在125～150mils。

进一步的，所述风刀本体安装在湿式制程机台上，其外部设有隔音罩。

本实用新型与现有技术相比较，本实用新型的有益效果如下：

本实用新型所述的一种多孔式风刀装置，风刀本体内腔体结构，刀面中部设有通孔和盲孔，一侧盲孔竖直位于刀身一侧内壁下方，另一侧盲孔倾斜指向另一侧刀身内壁，有别于一般以高压等方式的风刀进行孔内处理，运用白努利原理，在基板表面造成一诱导流场(层流)，引导残留在基板表面及孔内之流体流出，与处理流体置换，实现对孔内的处理，如风刀将孔内(盲孔及通孔)液体带出以达到孔内干燥之目的，或风刀内通入液体，可将药液或水送入孔内,达到药液彻底反应或洗净之效果，风刀本体水平安装，占用空间小，便于更换维护，成本低廉，能够处理超薄或小板件。

附图说明

图1为本实用新型所述的一种多孔式风刀装置结构示意图；

图2为风刀本体在湿式制程机台上的组装结构示意图。

具体实施方式

下面将结合具体的实施例来说明本实用新型的内容。

如图1和图2所示，所述的一种多孔式风刀装置，包括风刀本体10，所述风刀本体10水平安装在湿式制程设备的挂架上，且风刀本体10对称安装在基板两侧，风刀本体10为一体成型式结构，风刀本体10包括刀身 11、刀面12和连接头13，所述刀身11为梯形柱状，刀身11的梯形上下底面不封口，且内部中空，刀面12为矩形板状，连接头13为上下两端面不封口的长方体柱腔，刀身11的梯形大端底面不封口端与刀面12连接一体，刀身11的梯形小端上端面不封口端与连接头13的柱腔连接一体，刀面12 与刀身11的连接端中部设有均匀水平线性排列的通孔14和盲孔15，通孔 14竖直位于连接头13的柱腔下方，盲孔15分别位于通孔14两侧，且一侧盲孔15竖直位于刀身11一侧内腔上壁下方，另一侧盲孔15倾斜指向刀身 11另一侧内腔侧壁。

所述的一种多孔式风刀装置，风刀本体10内腔体结构，刀面12中部设有通孔14和盲孔15，一侧盲孔15竖直位于刀身11一侧内壁下方，另一侧盲孔15倾斜指向另一侧刀身11一侧内壁，有别于一般以高压等方式的风刀进行孔内处理，运用白努利原理，在基板表面造成一诱导流场(层流)，引导残留在基板表面及孔内之流体流出，与处理流体置换，实现对孔内的处理，如风刀通入气体，可将孔内液体带出以达到孔内干燥的目的，或风刀内通入液体，可将药液或水送入孔内,达到药液彻底反应或洗净的效果，风刀本体10水平安装，占用空间小，便于更换维护，成本低廉，能够处理超薄或小板件。

所述盲孔15指向侧的刀身11侧壁壁厚比另一侧刀身11侧壁的壁厚大，增强倾斜盲孔15的冲击力，延长风刀的使用寿命。

所述刀面12的竖直盲孔15侧端部设有向上的斜坡口16，便于气体或液体排出，减少对基板面孔的影响，确保风刀本体10对基板表面的处理效果。

所述刀身11外壁上设有便于挂持的连接件，便于风刀本体10安装或拆卸，便于湿式制程机台的安装，调试和维护。

所述连接头13段设有高效空气空滤器17，半导体湿式制程过程中对清洁度的要求较高，高效空气过滤器17能够有效滤除细小的颗粒，减少污染源，为湿式制程提高良好的工作环境。

所述风刀本体10安装在湿式制程机台上，其外部设有隔音罩，风刀本体10工作时的噪声值一般在70dB，加隔音罩后能够将噪声值控制在60以下。

所述刀面12与基板表面的间距在125～150mils，在此间距范围内，风刀本体10的处理效果较佳。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。