一种带有干燥机构的微电子元件表面处理装置的制作方法

本实用新型涉及微电子元件表面处理技术领域，尤其涉及一种带有干燥机构的微电子元件表面处理装置。

背景技术：

微电子元件在使用之前，需进行表面电镀处理，而在电镀之前， 电子元件在电镀前需要水刀机设备用高压水冲去导电引脚上的环氧溢胶，经冲洗后的元件必须干燥后，再流入电镀工序。常用的干燥流程依次为：多级压缩空气风刀吹干、多级热风风刀吹干、冷却。这种装置目前使用比较普遍，需要在5秒钟内达到干燥的要求，所以热风的功率较大，温度通常在140°C-170°C，它的特点为：干燥效果好；但也存在着不足，电子元件上的金属引脚，经高温烘烤后，其表面氧化膜会变的十分牢固，在后续的电镀工序中会增加去除氧化膜的困难，稍有不慎，就会造成次品。

技术实现要素：

本实用新型的目的是为了解决现有微电子元件表面处理装置容易造成金属引脚的氧化膜变的十分牢固，在后续的电镀工序中会增加去除氧化膜的困难的缺点，而提出的一种带有干燥机构的微电子元件表面处理装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种带有干燥机构的微电子元件表面处理装置，包括座板、第一干燥机构和第二干燥机构，第一干燥机构和第二干燥机构固定安装在座板的顶端；

所述第一干燥机构包括第一支撑板和第二支撑板，所述第一支撑板和第二支撑板均有两个，两个第一支撑板和两个第二支撑板之间均转动安装有第一滚筒，两个第一滚筒之间套设有第一传送带，所述座板的顶端还固定安装有四个倒L字形的第一支撑杆和四个倒L字形的第二支撑杆，第二支撑杆的水平部位的端头共同焊接有U字形的安装架，所述安装架的两侧内壁顶端之间通过轴承均转动安装有三个转动轴，且转动轴之间均固定安装有筒体，筒体的圆周外壁均套设有吸水棉套，所述筒体的圆周壁体均开设有多个通孔，所述安装架一侧的三个转动轴均为管状结构，所述安装架一侧外壁均固定安装有固定气管，固定气管的一端穿过管状的转动轴延伸至筒体内，所述固定气管的一端焊接连通有连接管，连接管的顶端焊接连通有弧形空心的分气器，分气器的顶端开设有多个分气孔，所述吸水棉套位于第一传送带的上方；

所述第二干燥机构包括第三支撑板，第三支撑板有两个，且第三支撑板固定安装在座板的顶端，两个第三支撑板和两个第二支撑板之间均通过轴承转动安装有第二滚筒，两个第二滚筒之间套设有第二传送带，且第二支撑板上的第二滚筒位于第一滚筒的下方。

优选的，所述第一支撑杆的水平部位的端头焊接有第一喷气管，第一喷气管位于第一传送带的圈内，且第一喷气管位于安装架远离第二传送带的一侧，且第一支撑杆分别位于第一传送带的两侧，第一喷气管的一侧焊接有连接管头，且第一喷气管的顶端开设有第一开口。

优选的，所述第二支撑杆分别位于第一传送带的两侧，且第一传送带位于第一喷气管顶部的部位穿过安装架的U形口部，且安装架的两侧内壁底端均通过轴承转动安装有多个支撑滚柱，且支撑滚柱位于第一传送带的圈内且与第一传送带接触。

优选的，所述座板的顶端固定安装有四个F字形的第三支撑杆，同一高度的第三支撑杆的水平部位的端头分别共同焊接有第二喷气管和第三喷气管，第二喷气管位于第二传送带上方，第三喷气管位于第二传送带的圈内，第二喷气管和第三喷气管相对的部位均开设有第二开口，第二喷气管和第三喷气管的管体均焊接连通有固定管头，第三支撑杆分别位于第二传送带的两侧。

优选的，所述安装架的另一侧外壁通过螺钉固定安装有保护罩，保护罩的一侧内壁固定安装有第一电机，所述安装架另一侧的转动轴安装有单槽带轮和双槽带轮，且单槽带轮有两个，双槽带轮与安装架另一侧中间部位的转动轴固定安装，第一电机的输出轴与其中一个单槽带轮固定安装，单槽带轮与双槽带轮之间通过皮带连接，且皮带穿过保护罩。

优选的，所述第一传送带的外圈面为绒棉材质，且第一传送带为多孔结构，所述吸水棉套也为多孔结构，所述第二传送带也为多孔结构。

优选的，其中一个所述第一支撑板的一侧固定安装有第二电机，第二电机的输出轴与第一滚筒固定安装，其中一个第三支撑板的一侧固定安装有第三电机，第三电机的输出轴与第二滚筒固定安装。

优选的，所述固定气管均焊接有固定片，且固定片均通过螺钉与安装架的一侧壁体固定安装。

本实用新型的有益效果是：

1、通过第一干燥机构，放置在第一传送带的微电子元件经过传送，输送到吸水棉套处进行吸水干燥，并且第一传送带也具有吸水功能，从而第一次对微电子元件表面的水珠进行去除，避免热风对微电子元件直接吹，造成金属引脚的氧化膜变硬，而且是通过第一喷气管对第一传送带高速吹热风干燥和分气器高速吹热风干燥来实现整个装置正常持续运行，分阶段干燥，避免一次性高温风急速干燥造成金属引脚的氧化膜变硬；

2、通过第二干燥机构能够实现对第一干燥机构干燥后微电子元件表面剩余水分进一步吹风干燥，而且在两个第二喷气管作用下从微电子元件的上下一起吹风干燥提高效率；

两种干燥机构一起配合干燥，比传统的高温急速吹风干燥安全性更高，保证后续加工可靠方便。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种带有干燥机构的微电子元件表面处理装置的主视结构示意图；

图2为图1的A处局部放大结构示意图。

图3为本实用新型提出的一种带有干燥机构的微电子元件表面处理装置的安装架俯视局部结构示意图。

图4为本实用新型提出的一种带有干燥机构的微电子元件表面处理装置的第一喷气管仰视结构示意图。

图5为本实用新型提出的一种带有干燥机构的微电子元件表面处理装置的第二传送带局部俯视结构示意图。

图6为本实用新型提出的一种带有干燥机构的微电子元件表面处理装置的第一喷气管与第一支撑杆安装结构示意图。

图7为本实用新型提出的一种带有干燥机构的微电子元件表面处理装置的第二喷气管、第三喷气管与第三支撑杆安装结构示意图。

图8为本实用新型提出的一种带有干燥机构的微电子元件表面处理装置的第一支撑板和第二电机安装侧视结构示意图。

图中标记：1座板、2第一支撑板、3第二电机、4第一传送带、5连接管头、6第一喷气管、7支撑滚柱、8安装架、9第二支撑板、10第二喷气管、11第三支撑杆、12第三喷气管、13第二传送带、14第三电机、15第三支撑板、16第一支撑杆、17筒体、18吸水棉套、19分气器、20固定气管、21连接管、22保护罩、23第一电机、24单槽带轮、25双槽带轮、26第二支撑杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-8，一种带有干燥机构的微电子元件表面处理装置，包括座板1、第一干燥机构和第二干燥机构，第一干燥机构和第二干燥机构固定安装在座板1的顶端；

第一干燥机构包括第一支撑板2和第二支撑板9，第一支撑板2和第二支撑板9均有两个，两个第一支撑板2和两个第二支撑板9之间均转动安装有第一滚筒，两个第一滚筒之间套设有第一传送带4，座板1的顶端还固定安装有四个倒L字形的第一支撑杆16和四个倒L字形的第二支撑杆26，第二支撑杆26的水平部位的端头共同焊接有U字形的安装架8，安装架8的两侧内壁顶端之间通过轴承均转动安装有三个转动轴，且转动轴之间均固定安装有筒体17，筒体17的圆周外壁均套设有吸水棉套18，筒体17的圆周壁体均开设有多个通孔，安装架8一侧的三个转动轴均为管状结构，安装架8一侧外壁均固定安装有固定气管20，固定气管20的一端穿过管状的转动轴延伸至筒体17内，固定气管20的一端焊接连通有连接管21，连接管21的顶端焊接连通有弧形空心的分气器19，分气器19的顶端开设有多个分气孔，吸水棉套18位于第一传送带4的上方；

第二干燥机构包括第三支撑板15，第三支撑板15有两个，且第三支撑板15固定安装在座板1的顶端，两个第三支撑板15和两个第二支撑板9之间均通过轴承转动安装有第二滚筒，两个第二滚筒之间套设有第二传送带13，且第二支撑板9上的第二滚筒位于第一滚筒的下方。

本实施例中，第一支撑杆16的水平部位的端头焊接有第一喷气管6，第一喷气管6位于第一传送带4的圈内，且第一喷气管6位于安装架8远离第二传送带13的一侧，且第一支撑杆16分别位于第一传送带4的两侧，第一喷气管6的一侧焊接有连接管头5，且第一喷气管6的顶端开设有第一开口。

第二支撑杆26分别位于第一传送带4的两侧，且第一传送带4位于第一喷气管6顶部的部位穿过安装架8的U形口部，且安装架8的两侧内壁底端均通过轴承转动安装有多个支撑滚柱7，且支撑滚柱7位于第一传送带4的圈内且与第一传送带4接触。

座板1的顶端固定安装有四个F字形的第三支撑杆11，同一高度的第三支撑杆11的水平部位的端头分别共同焊接有第二喷气管10和第三喷气管12，第二喷气管10位于第二传送带13上方，第三喷气管12位于第二传送带13的圈内，第二喷气管10和第三喷气管12相对的部位均开设有第二开口，第二喷气管10和第三喷气管12的管体均焊接连通有固定管头，第三支撑杆11分别位于第二传送带13的两侧。

安装架8的另一侧外壁通过螺钉固定安装有保护罩22，保护罩22的一侧内壁固定安装有第一电机23，安装架8另一侧的转动轴安装有单槽带轮24和双槽带轮25，且单槽带轮24有两个，双槽带轮25与安装架8另一侧中间部位的转动轴固定安装，第一电机23的输出轴与其中一个单槽带轮24固定安装，单槽带轮24与双槽带轮25之间通过皮带连接，且皮带穿过保护罩22。

第一传送带4的外圈面为绒棉材质，且第一传送带4为多孔结构，吸水棉套18也为多孔结构，第二传送带13也为多孔结构。

其中一个第一支撑板2的一侧固定安装有第二电机3，第二电机3的输出轴与第一滚筒固定安装，其中一个第三支撑板15的一侧固定安装有第三电机14，第三电机14的输出轴与第二滚筒固定安装。

固定气管20均焊接有固定片，且固定片均通过螺钉与安装架8的一侧壁体固定安装。

工作原理如下：

第一电机23、第二电机3和第三电机14均采用市场常见的类型，具体型号无限定，且第一电机23、第二电机3和第三电机14通过导线与外设的电源连接，且保证第一传送带4输送速度与吸水棉套18转动速度相同和转动方向相反。

第一传送带4和第二传送带13采用市场常见类型，并且只是开设有多个孔，且第一传送带4圈外壁包覆有疏松的绒棉，吸水棉套18也为疏松结构，保证透风，分气器19的长度比筒体17的长度短一厘米，支撑滚柱7与第一传送带4接触，保证第一传送带4在此处运动时处于平整状态，在吸水棉套18与微电子元件接触时不会凹陷。

第一喷气管6、第二喷气管10和第三喷气管12结构相似，且开口均为了吹风，连接管头5、固定管头和固定气管20均与外设的热风机安装，使得热风吹进到管道中，固定片用于将固定气管20固定，且保证吸水棉套18转动时不与其转动。

使用时，启动第一电机23、第二电机3和第三电机14，以及启动外设的热风机，将微电子元件放置在第一传送带4上，使得微电子元件输送到吸水棉套18的下方，在单槽带轮24、双槽带轮25和皮带的作用下使得三个吸水棉套18一起转动，从而对微电子元件压覆吸收表面附着的小水珠，第一传送带4的绒棉也吸收水珠，类似于毛巾擦除表面肉眼可见的水，由于绒棉软不会造成管脚弯曲；热风进入到固定气管20，并且经过连接管21进入到分气器19，从而喷出，通过筒体17的孔经过吸水棉套18，对吸水棉套18吹风降低水分达到一定的干燥功能，这样能够避免高温急速的风造成管脚氧化膜变硬，并且在第一喷气管6吹风作用下对第一传送带4干燥，第一次去水干燥后微电子元件在第一传送带4输送作用下掉落在第二传送带13上，第二传送带13输送到第二喷气管10和第三喷气管12之间进行吹风干燥，由于此时表面为肉眼不可见的水分，从而干燥的温度要求低，直接吹风就可以达到干燥的目的；运用分级干燥，避免高温急速风造成管脚氧化膜变硬，保证后续加工的方便可靠。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。