的内表面的单侧表面通过半蚀刻加工实施直至片体11、12的厚度的途中的蚀刻，进而形成蒸汽通道20和芯22。其中，蒸汽通道20将在受热部已蒸发的循环液的蒸汽输送至散热部，芯22将在散热部已凝缩的循环液环流至受热部。另外，除蒸汽通道20和芯22外，在蚀刻加工中未被蚀刻的侧壁23，沿着片体11、12的外周被形成在片体11、12的单侧表面。该侧壁23处于在使相对片体11、12的单侧表面时的能够重叠的位置，且通过最终的扩散接合形成为容器15的外周部的一部分。另外，在图2和图3中，用斜线表示芯22的部位。
[0097]在由光刻加工将蒸汽通道20和芯22形成在片体11、12的情况下，其片体11、12各需要0.05mm以上的厚度t2。另外，若片体11、12的厚度t2超过0.3mm，且容器15乃至片型热管体I的厚度tl超过0.5_，则难以将片型热管体I设置于已被限的移动终端51的形状。因此，通过将蚀刻加工施加在具有0.05mm?0.3mm的厚度t2的片体11、12的表面，且将已完成的片型热管体I的厚度tl控制在0.5mm以下，则能够在容器15的内表面形成具有充分热输送能力的微细的蒸汽通道20和芯22，并且，能够将片型热管体I合理地设置在移动终端51等的薄框体内。
[0098]在第一实施例中的蒸汽通道20，由第一通道部21A和第二通道部21B所构成。其中，第一通道部21A为在已被密闭的容器15的内部，以沿片型热管体I的纵向方向且多数并肩而形成的凹状；第二通道部21B为分别横贯第一通道部21A且与多数的第一通道部21A连通所形成的一个凹状。第一通道部21A和第二通道部21B全部为直线状，且第一通道部21A和第二通道部21B正交在片型热管体I的中央部，但也不妨将第一通道部21A和第二通道部2IB以任何形状以及在任何位置进行连通。本实施例中，在面对且重叠片体11、12的单侧表面时，由于片体11、12的第一通道部21A彼此面对，中空筒状的第一蒸汽通道20A被形成，再通过片体11、12的第二通道部21B彼此面对，中空筒状的第二蒸汽通道20B被形成。这时，通过第一蒸汽通道20A和第二蒸汽通道20B，其蒸汽通道20被配置在容器15的内部。沿片型热管体I的纵向且多数形成的第一蒸汽通道20A与沿片型热管体I的横向方向被形成为一个的第二蒸汽通道20B连通。另外，芯22在容器15的内部被形成在除蒸汽通道20和侧壁23以外的部位。
[0099]图4为将在图2中的第一片体11的A、C以及E的各个部已扩大的部分。另外，图5为将在图3中的第二片体12的B、D以及F的各个部已扩大的部分。在这些的各个图中，芯22由以蚀刻加工所蚀刻的凹状的槽26和未以蚀刻加工蚀刻的壁27所构成，且在芯22的区域内，成为循环液通道的多数的槽26通过壁27被形成为所望的形状。
[0100]槽26位于沿蒸汽通道20的两侧部和端部的位置，且具有第一槽26A和第二槽26B以及第三槽26C。其中，第一槽26A为与其蒸汽通道20的方向正交且被按每一定间隔多数配置；第二槽26B为以比第一槽26A远离蒸汽通道20的方式被配置，且比第一槽26A稍间隔大些按每一定间隔多数配置；第三槽26C为沿蒸汽通道20的方向且相互地连通这些第一槽26A和第二槽26B。另外，槽26的深度为0.1mm?0.13mm，槽26的宽度dl其第一槽26A和第二槽26B以及第三槽26C全部为0.12mm。在此，若槽26的宽度dl在0.05mm?0.3mm的范围内，则能够通过芯22提高毛细管作用。进一步，第一槽26A的数比第二槽26B的数多，且也比第二槽26B微细的第一槽26A位于蒸汽通道20的两侧部的位置，并且与该蒸汽通道20直接连通着。
[0101]一方面，已被形成在槽26之间的壁27，至少具有多数的第一壁27A和多数第二壁27B。其中，第一壁27A为了也以比第二槽26B细小的间隔形成第一槽26A，因此，已沿与蒸汽通道20正交的方向的宽度d2被形成为0.1mm ;第二壁27B为了形成第二槽26B，则为与第一壁27A相异的形状。第二壁27B的一部分，其沿与蒸汽通道20正交的方向的宽度d3被形成为比第一壁27A的宽度d2宽的0.3mm。在本实施例中，并行设置与蒸汽通道20正交，且为多数的第一壁27A和多数的第二壁27B。另外，通过将侧壁23设置在芯22的外侧，进而多数的第三槽26C以一定的间隔被形成在这些的之间。其优选为，通过将第一壁27A的宽度d2设置为小于0.25mm，且将第二壁27B的宽度d3设置为0.25mm以上，利用重叠片体11、12的第二壁27B，进而在芯22的部分的扩散接合成为可能。
[0102]侧壁23的宽度d4被沿片体11、12的全周连续形成为1mm。最终成为容器15的外周部的片体11、12的侧壁23的宽度d4其优选为至少被设置为0.3mm以上。通过这些能够将片体11、12良好地扩散接合在侧壁23的部分，进而得到涉及容器15的密闭其信赖性高的片型热管体I。
[0103]图6为将在图2和图3中的片体11、12的G部已扩大的部分。另外，图7为将在图2和图3中的片体11、12的H部已扩大的部分。在这些各个图中，于片型热管体I的倒角部16和封闭部17的附近，上述的芯22的结构也同样被设置在蒸汽通道20和侧壁23之间，在此，槽26的宽度dl被形成为0.12mm。
[0104]实施例2
[0105]图8?图12表示为在本发明的第二实施例中的片型热管体2。在这些的各个图中，本实施例的片型热管体2，与第一实施例同样，由扩散接合2枚为铜箔片的第I片体11和第2片体12的容器15所构成。且如图8所示那样，其被流线型化为比第一实施例的片型热管体I细长的平板棒状，另外，考虑到移动终端51的框体内部的结构，根据需要形成位于两个部位的弯曲部18。该弯曲部18的数量和弯曲角度不受限定，另外，也可将片型热管体2形成为不设置弯曲部18的直线状。另外，筒状的封闭部17被形成在容器15的一端，进而成为能够在真空状态将纯水等的循环液封入在容器15的内部的结构。通过封闭部17所密闭的容器15乃至片型热管体2的厚度tl为0.4_。
[0106]图9和图10分别表示为第I片体11和第2片体12。片体11和12的厚度t2全部为0.2mm。在此也通过半蚀刻加工，仅在片体11和12的单侧面分别形成蒸汽通道20和芯22以及侧壁23。在本实施例中，芯22被设置在沿片型热管体2的外形形状且于单向延长的蒸汽通道20的两侧，且侧壁23被配置在其芯22的外侧。侧壁23位于，在使片体11和片体12的单侧表面彼此面对时重叠的位置，进而通过最终性的扩散接合形成容器15的外周部。再者，在图9和图10用斜线表示着芯22的部位。
[0107]在通过光蚀刻加工将蒸汽通道20和芯22形成在片体11、12的情况下，将蚀刻加工施加在具有0.05mm?0.3mm的厚度t2的片体11、12的表面，且通过将已完成的片型热管体I的厚度tl控制在0.5mm以下，进而能够在容器15的内表面形成具有充分的热输送能力的微细的蒸汽通道20和芯22，并且能够将片型热管体2合理地设置在移动终端51等的薄框体内。
[0108]在第二实施例中的蒸汽通道20，其在已被密闭的容器15的内部，由沿片型热管体2的纵向方向而形成的凹状的通道部21所构成。而且，在使片体11、12的单侧表面彼此面对且重叠时，由于片体11、12的通道部21彼此面对，一个中空筒状的蒸汽通道20被形成。另外，芯22在容器15的内部被形成在除蒸汽通道20和侧壁23以外的部位。
[0109]图11为将在图9中的第一片体11的A部和在图10的第二片体12的B部为分别已扩大的部分。在此，芯22由以蚀刻加工所蚀刻的凹状的槽26和，未以蚀刻加工蚀刻的壁27所构成，且在芯22的区域内，成为循环液的通道的多数的槽26通过壁27被形成为所望的形状。
[0110]槽26位于沿蒸汽通道20的两侧部和端部的位置，且与第一实施例同样，其结构为具有第一槽26A和第二槽26B以及第三槽26C。槽26的深度为0.1mm?0.13mm，槽26的宽度dl其第一槽26A和第二槽26B以及第三槽26C全部为0.12mm。第一槽26A的槽数比第二槽26B的槽数多，且也比第二槽26B微细的第一槽26A位于蒸汽通道20的两侧部的位置，且与该蒸汽通道20直接连通着。
[0111]侧壁23的宽度d4，被沿片体11、12的全周连续形成为0.4mm。因此，能够将片体
11、12良好地扩散接合在侧壁23的部分，进而得到涉及容器15的密闭其信赖性高的片型热管体2。
[0112]图12为将在图9、10中的片体11、12的C部已扩大的部分。在同图中，在片型热管体2的弯曲部18，其上述的芯22的结构也同样地被设置在蒸汽通道20和侧壁23之间，在此，槽26的宽度dl被形成为0.12mm。
[0113]实施例3
[0114]图13?图18为表示着在本发明的第3实施例中的片型热管体3。在这些的各个图中，本实施例的片型热管体3与第2实施例同样，由扩散接合2枚为铜箔片的第I片体11和第2片体12的容器15所构成。虽被流线型化为比第一实施例的片型热管体I细长的平板棒状，但为了将成为热源的例如来自CPU的受热性能最优化，符合其CPU的外形形状的受热部19被形成在片型热管体3的另一端。在此的受热部19具有以俯视看去比片型热管体3的其它部位宽的宽度。另外，在容器15的途中仅在一处形成弯曲部18，且片型热管体3被形成为以俯视看去大致L字形。该弯曲部18的数量和弯曲角度不受限定，另外，也可将片型热管体3形成为不设置弯曲部18的直线状。同样，受热部19的数量和弯曲角度也不受限定。筒状的封闭部17被形成在容器15的一端，进而成为能够在真空状态下将纯水等的循环液封入在容器15的内部的结构。通过封闭部17所密闭的容器15乃至片型热管体3的厚度tl为0.4_。
[0115]图14和图15分别表示着第I片体11和第2片体12。第I片体11和第2片体12的厚度t2各为0.2_，且在此通过半蚀刻加工，仅于片体11、12的单侧表面分别形成蒸汽通道20和芯22以及侧壁23。在本实施例中，芯22被设置在沿片型热管体3的外形形状且于单向延长的蒸汽通道20的两侧，且侧壁23被配置在其芯22的外侧。侧壁23位于，在使片体11和片体12的单侧表面彼此面对时能够重叠的位置，进而通过最终性的扩散接合形成容器15的外周部。再者，在图14和图15用斜线表示着芯22的部位。
[0116]在通过光蚀刻加工将蒸汽通道20和芯22形成在片体11、12的情况下，将蚀刻加工施加在具有0.05mm?0.3mm的厚度t2的片体11、12的表面，且通过将已完成的片型热管体3的厚度tl控制在0.5mm以下，进而能够在容器15的内表面形成具有充分的热输送能力的微细的蒸汽通道20和芯22，并且能够将片型热管体3合理地设置在移动终端51等的薄框体内。
[0117]在第三实施例中的蒸汽通道20，由第一通道部21A和第二通道部21B以及第三通道部21C所构成。其中，第一通道部21A为在已被密闭的容器15的内部，以沿宽幅的受热部19的单向且多数且并排而形成的凹状；第二通道部21B为在其受热部19中，分别横贯第一通道部21A且与多数的第一通道部21A连通所形成的一个凹状；第三通道部21C为被形成在受热部19和封闭部17之间的线状部，且连通于第二通道部21B的一个凹状。第一通道部21A和第二通道部21B全部为直线状，且第一通道部21A和第二通道部21B正交在受热部19的一端侧，但也不妨将第一通道部21A和第二通道部21B以任何形状以及在任何位置进行连通。本实施例中，在使片体11、12的单侧表面彼此面对且重叠时，由于片体11、12的第一通道部21A彼此面对，进而中空筒状的第一蒸汽通道20A被形成；由于片体11、12的第二通道部21B彼此面对，中空筒状的第二蒸汽通道20B被形成；并且由于片体11、12的第三通道部21C彼此面对，中空筒状的第三蒸汽通道20C被形成。这时，通过已相互连通的第一蒸汽通道20A和第二蒸汽通道20B以及第三蒸汽通道部21C，其蒸汽通道20被配置在容器15的内部。另外，芯22在容器15的内部被形成在除蒸汽通道20和侧壁23以外的部位。
[0118]图16为将在图14中的第一片体11的A、C的各部分别已扩大的图。另外，图17为将在图